Описание
Описание продукта AMAT 0190-19203
AMAT 0190-19203 — высокопроизводительный модуль т emperatурного контроля (Temperature Control Module) для систем автоматизации в высокотехнологичных производственных процессах, разработанный исключительно для оборудования Applied Materials. Эта модель AMAT 0190-19203 сочетает в себе высокую точность измерения, плавную régulación температуры и совместимость спроизводственными условиями, making it ideal для контроля и регулирования температуры в плазменных реакторах, печах для кристаллизации и вакуумных камерах в производстве полупроводников, микроэлектроники и фотоvoltaики. AMAT 0190-19203 предназначен для обеспечения стабильности температурных режимов, что критично для повторяемости технологических процессов и Qualität produkции. [Введите здесь ссылку на продукт, enwrapping it в brand и model: AMAT 0190-19203]
Параметры продукта AMAT 0190-19203
- Тип модуля: Т emperatурный контроллер с 8 каналами входа (RTD) и 4 каналами выхода (регулятор).
- Поддерживаемые датчики:
- (Типы K, J, T, E, R, S),
- RTD (Pt100, Pt1000, Ni1000),
- Thermistor (NTC, PTC).
- Диапазон измерения:
- 热电偶: от -200°C до +1800°C,
- RTD: от -200°C до +650°C,
- Точность: ±0,5°C (Rt d) / ±1°C
- Выходные сигналы управления:
- 4–20 mA, 0–10 VDC ( для регулировочных_valves),
- PWM，для нагреваторов),
- SSR
- Алгоритмы регулирования:
- ПИД с адаптивной калибровкой, ON/OFF, fuzzy logic.
- Материал корпуса: Al-Mg с электромагнитной экранировкой, resistant к коррозии и механическим нагрузкам.
- Рабочая температура: От [0°C] до [55°C],ความ влажность: [5%–95%] (без конденсации), protection class: IP20.
Преимущества и особенности AMAT 0190-19203
- Высокая точность и стабильность: Модель AMAT 0190-19203 оснащена 16-битными ADC-конверторами и адаптивными ПИД-алгоритмами, обеспечивающими стабильность температуры ±0,1°C в критических процессах, таких как deposition тонких слоев на wafer.
- Совместимость с экосистемой AMAT: Seamless integration с контроллерами AMAT, программным обеспечением EquipmentCommander и SCADA-системами, позволяя zentralно настраивать температурные профили, мониторить данные в реальном времени и получать алерты о отклонениях.
- Гибкость конфигурации каналов: Каждый канал можно indépенно настроить на тип датчика, диапазон температуры и режим регулирования, адаптируясь к разным технологиям (от_High-Temp вакуумных печей до низкотемпературных процессов очистки).
- Реaltime-диагностика: LCD-дисплей и LED-индикаторы показывают текущую температуру, состояние регулирования и аварийные условия (_overtemp, сбой датчика), а встроенные функции самодиагностики감щивают.anomalies в электропитании и сигналах датчиков.
- Энергоэффективный дизайн: Умная логика регулирования снижает энергопотребление на [15%] по сравнению с предыдущими поколениями, экономя ресурсы в непрерывно работающих установках.
Применение AMAT 0190-19203 в отраслях
- Полупроводниковая промышленность:
- Контроль температуры в плазменных реакторах during процессах CVD (химическое пароотложение) и PVD (физическое пароотложение) для ensuring равномерности слоев.
- Регулирование температуры в печах дляア退火 wafer, что влияет на электронные свойства полупроводников.
- Мониторинг температуры в移送механизмах wafer для предотвращения деформации при высоких температурах.
- Фотоvoltaика:
- Контроль температуры в печах для кристаллизации кремния на солнечных панелях, ensuring estructuralную целостность.
- Регулирование температуры при нанесении антиотра反射ных слоев для оптимизации 광опод吸收 properties.
- Микроэлектроника и OLED-производство:
- Точный контроль температуры в камерах для нанесения люминофорных слоев, чтобы предотвратить деградацию материалов.
- Регулирование температуры в вакуумных системах для герметизации микросхем с точностью ≤1°C.
- Химическая и медицинская промышленность:
- Использование в химических реакторах для контроля экзотермических и эндотермических процессов.
- Регулирование температуры в лабораторных шкафах для биологических исследований.
Сравнение с конкурентами
По сравнению с аналогичными т emperatурными контроллерами, AMAT 0190-19203 обладает следующими преимуществами:
- Вышея точность и большее число каналов: 8 входных каналов с ±0,5°C точностью на [25%] выше, чем у конкурентных моделей, making it suitable для комплексных установок с множеством контрольных точек.
- Расширенный набор поддерживаемых датчиков: Поддержка 6 типов и 3 типа RTD на [40%] больше, чем у конкурентов, eliminating need дополнительных адаптеров.
- Улучшеннаяэлектромагнитных помех: Двойная экранировка и специальные фильтры снижают влияние помех на [30%], обеспечивая стабильность readings в высокоэлектромагнитных условиях полупроводниковых fab’ов.
Советы по выбору и предостережения
- Выбор: AMAT 0190-19203 подходит для проектов, требующих высокоточной температурной regulation в системах автоматизации AMAT. Убедитесь, что количество каналов, тип датчиков и диапазон температуры соответствуют требованиям вашей технологии.
- Предостережения:
- При установке используйте специализированные кабели для датчиков (например, дл), соблюдая расстояние от высоковольтных линий не менее 20 см.
- Немодуль превышать максимальную мощность выходных сигналов (10 А для SSR-выходов).
- Для модели AMAT 0190-19203 рекомендуется ежеквартально проверять калибровку датчиков, выполнять тест алгоритмов регулирования и обновлять firmware через EquipmentCommander.
- Установите модуль в вентилируемом industriальном шкафу, избегая температур выше +55°C и прямого солнечного освещения.
- При работе с высокими температурами (от +500°C) датчик правильно монтируется и охлаждается, чтобы избежать искажения readings.
AMAT 0190-19203
