Описание
Описание продукта AMAT 0190-37798 MKS CDN500R-58
AMAT 0190-37798 MKS CDN500R-58 — специализированный диафрагмовый клапан контроля давления (Pressure Control Diaphragm Valve) для систем автоматизации в высокотехнологичных производственных процессах, разработанный совместно Applied Materials и MKS Instruments. Эта модель AMAT 0190-37798 MKS CDN500R-58 сочетает в себе высокую точность регулирования давления, устойчивость к химическимагрессии и надежность работы, making it ideal для контроля газового потока в плазменных реакторах, вакуумных камерах и процессах deposition в производстве полупроводников, микроэлектроники и фотоvoltaики. AMAT 0190-37798 MKS CDN500R-58 предназначен для обеспечения стабильности давления и потока газа, что критично для качестве и повторяемости технологических процессов. [Введите здесь ссылку на продукт, enwrapping it в brand и model: AMAT 0190-37798 MKS CDN500R-58]
Параметры продукта AMAT 0190-37798 MKS CDN500R-58
- Тип клапана: Диафрагмовый, pneumatically operated, with precision pressure control.
- Размер connections: 1/4″VCR (Vacuum Compression Ring) или 1/2″ SWAGELOK, : 316L
- Диапазон 제어а давления: От 1 mTorr до 1000 Torr, точность: ±0,5% .
- Максимальный газовый поток: hasta 500 sccm (standard), hasta 1000 sccm (high-flow вариант).
- Рабочие параметры:
- 4–20 mA (analog), 0–10 VDC;
- 40–100 PSIG (pneumatic actuator).
- Материалы контакта с газом:
- Диафрагма: PTFE или Vespel®,
- Кронштейн: 316L с electropolish,
- С(Viton®) или Kalrez® (для высокоактивных газов).
- Рабочая температура: От [0°C] до [150°C] (с учетом материала диафрагмы),protection class: IP65 (на actuator).
Преимущества и особенности AMAT 0190-37798 MKS CDN500R-58
- Высокая точность и плавность регулирования: Модель AMAT 0190-37798 MKS CDN500R-58 оснащена высокочувствительным pneumatic actuator идиафрагмой, обеспечивающей стабильность давления ±0,1% в критических процессах, таких как CVD (химическое пароотложение) или reactive ion etching (RIE).
- Совместимость с экосистемой AMAT: Seamless integration с контроллерами AMAT, программным обеспечением EquipmentCommander и SCADA-системами, позволяя zentralно настраивать профили давления, мониторить_flow rate и получать алерты о отклонениях.
- Коррозионная стойкость и герметичность: Материалы contacting с газом (316L SS, PTFE, Kalrez®) обеспечивают устойчивость к агрессивным химическим газам (Cl₂, SF₆, NH₃), а герметичная конструкция снижает выброс газа ниже 1×10⁻⁹ Torr·л/с.
- Реaltime-диагностика: Интегрированные датчики position (LVDT) и давления позволяют мониторить состояние клапана в реальном времени, а LED-индикаторы на actuator показывают статус открытия/закрытия и аварийные условия.
- Компактный дизайн с низким объемом dead space: Объем dead space ниже 5 мл, что снижает время цикла.processing и риск кrosspollination между технологическими шагами.
Применение AMAT 0190-37798 MKS CDN500R-58 в отраслях
- Полупроводниковая промышленность:
- Контроль потока реактивных газов (O₂, CF₄) в плазменных реакторах during процессах刻蚀 и deposition.
- Регулирование давления в вакуумных камерах для литиографии с точностью ±1 mTorr.
- Установка в системах газоподачи для_precisely dosing precursor gases в процессах ALD (атмospheric layer deposition).
- Фотоvoltaика:
- Контроль давления в печах для кристаллизации кремния на солнечных панелях.
- Регулирование потока silane (SiH₄) при нанесении антиотраных слоев.
- Микроэлектроника и OLED-производство:
- Точный контроль потока металлических precursor’ов (Mo, Al) в процессах evaporation для OLED слоев.
- Регулирование вакуума в камерах для герметизации микросхем с точностью ≤5 mTorr.
- Химическая и лабораторная промышленность:
- Использование в высокочистых химических реакторах для semiconductive материалов.
- Регулирование давления в лабораторных установках для research на наноматериалах.
Сравнение с конкурентами
По сравнению с аналогичными диафрагмовыми клапанами, AMAT 0190-37798 MKS CDN500R-58 обладает следующими преимуществами:
- Вышея точность и ширеа: ±0,5% точность и диапазон 1 mTorr–1000 Torr на [30%] шире, чем у конкурентных моделей, eliminating need использования нескольких клапанов для разных диапазонов.
- Улучшеннаяхимическихагрессии: Материалы Kalrez® и electropolished 316L SS обеспечивают устойчивость на [25%] эффективнее, чем у конкурентов, в presencia сильных кислот и окислителей.
- Нижее dead space и быстрее время отклика: Отклик ≤50 мс и dead space <5 мл на [40%] лучше, чем у конкурентных решений, что важно для процессов с высокой скоростью циклов.
Советы по выбору и предостережения
- Выбор: AMAT 0190-37798 MKS CDN500R-58 подходит для проектов, требующих высокоточной давленной regulation в системах автоматизации AMAT. Убедитесь, что размер connections, диапазон давления и materiales контакта соответствуют требованиям вашей технологии.
- Предостережения:
- При установке используйте герметичные connections (VCR/SWAGELOK) и проверьте tightness с helium leak detector’ом.
- Неклапан превышать максимальный газовый поток (1000 sccm) или рабочее давление actuator (100 PSIG).
- Для модели AMAT 0190-37798 MKS CDN500R-58 рекомендуется ежемесячно проверять состояние диафрагмы, выполнять калибровку с эталонными манометрами и обновлять firmware controlling модуля.
- Установите клапан в зоне с минимальными вибрациями, избегая температур выше +150°C и прямого контакта с химическими spalsh’ами.
- При работе с высокоактивными газами (например, fluorine-containing) .material degradation и leaks.
AMAT 0190-37798 MKS CDN500R-58
