Описание
Описание продукта AMAT 4060-00960
AMAT 4060-00960 — это высокоточный вакуумный клапан для систем обработки кремниевых пластин в микроэлектронике, разработанный для контроля давления в реакторах химического парообразования (CVD) и физического парообразования (PVD). Этот клапан 4060-00960 сочетает в себе быстрый отклик с герметичностью класса 10⁻⁹ Па·м³/с, что делает его незаменимым для фабрик полупроводников (производство чипов 5–7 нм), центров нанотехнологий (синтез тонких пленок) и лабораторий микроэлектроники (эксперименты с вакуумными процессами). AMAT 4060-00960 подтверждает качество бренда AMAT, сочетая надежность с соответствием стандартами SEMI F20 и ISO 14644-1 (класс чистоты 3), а также сертификатом на герметичность ISO 16256. AMAT 4060-00960 оснащен функцией Ultra-Seal Control, где пневматический привод с сервоуправлением открывает/закрывает клапан за 50 мс, а сенсоры давления с разрешением 0.1 Па поддерживают стабильность в диапазоне 10⁻³–10³ Па. Например, в фабрике полупроводников 4060-00960 регулирует давление в CVD-реакторе при нанесении слоя диоксида кремния на 5 нм чипе: при отклонении давления на 1 Па от заданного значения клапан мгновенно корректирует поток газа, гарантируя равномерность слоя. В лаборатории нанотехнологий AMAT 4060-00960 поддерживает вакуум в камере для синтеза нанотрубок: его герметичность предотвращает проникновение атмосферного воздуха, что критично для чистоты синтеза. AMAT 4060-00960 совместим с системами обработки AMAT Centura и Endura, а также интегрируется с программным обеспечением AMAT Vacuum Manager Pro. [Ссылка на продукт AMAT 4060-00960]
Технические параметры AMAT 4060-00960
- Тип устройства: Вакуумный клапан для систем обработки кремниевых пластин AMAT
- Характеристики работы:
- Тип привода: Пневматический с сервоуправлением
- Диапазон регулируемого давления: 10⁻³–10³ Па
- герметичность: ≤10⁻⁹ Па·м³/с (по ISO 16256)
- Время открытия/закрытия: ≤50 мс
- Максимальный диаметр канала: 50 мм
- Тип сенсора давления: Капиллярный Baratron (разрешение 0.1 Па)
- Протоколы связи: Profibus DP, Ethernet/IP
- Питание: 24 В ДС (для электроники) + 6 бар сжатый воздух (для привода)
- Температурный диапазон: -10–150 °C
Преимущества и особенности AMAT 4060-00960
AMAT 4060-00960 выделяется ультрагерметичностью, быстрым откликом и совместимостью с вакуумными системами:
- Герметичность класса 10⁻⁹ Па·м³/с: Это критично для процессов CVD/PVD на чипах 5–7 нм, где любое проникновение атмосферного газа (в частности, кислорода) приводит к искажению структуры тонких пленок и браку продукции.
- Быстрый отклик (≤50 мс): Позволяет мгновенно корректировать давление в реакторе при всплесках потока газа, что важно для стабильности синтеза слоев с толщиной менее 1 нм.
- Тепловая стойкость до 150 °C: Клапан выдерживает высокие температуры в реакторах PVD (например, при напылении металлических слоев расплавленными сплавами), что исключает деформацию корпуса и потери герметичности.
- Интеграция с системами AMAT: Оптимизирован для работы с установками Centura и Endura, что сокращает время наладки и гарантирует синхронизацию с другими компонентами (пульсными насосами, газовыми распределителями).
Применение в отраслях
- Микроэлектроника: Производство полупроводниковых чипов 5–7 нм (CVD/PVD процессы)
- Нанотехнологии: Синтез тонких пленок, нанотрубок и нанокристаллов
- Оптика: Изготовление высокоточных антибликовых покрытий для линз
- Медицинская техника: Производство вакуумных камер для анализа биоматериалов
Сравнение с конкурентами
| Параметр | AMAT 4060-00960 | Конкуренты |
|---|---|---|
| герметичность | ≤10⁻⁹ Па·м³/с | ≤10⁻⁷ Па·м³/с |
| Время отклика | ≤50 мс | 100–200 мс |
| Температурный диапазон | -10–150 °C | 0–100 °C |
| Совместимость с AMAT системами | Полная | Ограниченная |
Советы по выбору и предостережению
-
Выбор: Выбирайте AMAT 4060-00960 для процессов CVD/PVD на чипах 5–7 нм или в системах с требованием к герметичности ≤10⁻⁸ Па·м³/с. Оптимально для интеграции в линии AMAT Centura/Endura.
-
Установка:
- Монтируйте клапан с использованием фланцев ISO-KF 50 (чистые, без следов масла) — контamination поверхности破坏ет герметичность.
- Проверяйте сжатый воздух на наличие влаги и масла (используйте фильтры класса 1 微米) — примеси вызывают слеживание привода и замедляют отклик.
-
Обслуживание:
- Проводите проверку герметичности раз в 500 часов работы с помощью эталонного вакуумного стенда AMAT Leak Detector — сохраняет уровень герметичности.
- Замените уплотнительные кольца из фторкаучука раз в 1000 часов — старение материала снижает герметичность.
- Обновляйте прошивку через сервис AMAT Service Portal — новые версии улучшают алгоритмы регулировки давления для новых газовых смесей.
-
Безопасность:
- Осуществляйте обслуживание только при разряженной камере и отключенном пневматическом приводе — предотвращает травмы от внезапного открытия/закрытия клапана.
- Используйте защитные очки и перчатки при контакте с клапаном после работы — поверхность может быть горячей (до 150 °C).
AMAT 4060-00960 — это ключевой компонент для вакуумных процессов микроэлектроники, сочетающий уникальную герметичность AMAT с быстрым откликом, что делает его незаменимым для производства современных чипов.
4060-00960
