Описание
AMAT AX-7670 0190-47768 — это промышленный контроллер вакуумных систем от компании Applied Materials (AMAT), специализирующейся на оборудовании для микроэлектроники и нанотехнологий. Он разработан для точного управления вакуумными насосами, клапанами и датчиками давления в высокотехнологичных производствах, что делает его незаменимым в производстве микросхем, солнечных панелей и светодиодов.
Описание продукта
Контроллер AMAT AX-7670 0190-47768 обеспечивает управление вакуумными системами с точностью регулировки давления до ±0,1 Па, что критично для процессов нанесения тонких пленок и ионной имплантации. Например, в фабриках производства полупроводников AMAT AX-7670 0190-47768 координирует работу турбомолекулярных насосов и баллонов с инертными газами, поддерживая стабильное вакуумное состояние в реакторах (10⁻⁸ Па) в течение всего цикла производства. AMAT AX-7670 0190-47768 оснащен 8 цифровыми выходами для управления клапанами и насосами, а также 4 аналоговыми входами для подключения датчиков давления (например, Baratron). Модель работает с протоколом EtherCAT для быстрой коммуникации с главным контроллером производства и поддерживает программное обеспечение AMAT FactoryWorks для настройки и диагностики. AMAT AX-7670 0190-47768 имеет металлический корпус с классом защиты IP54, монтируется на рейку DIN и работает в диапазоне температур от 15°C до +40°C, выдерживая вибрации до 5 Гц — характеристики, соответствующие чистым зонам производства (Class 100). Благодаря компактным габаритам (120 мм × 80 мм × 150 мм) он легко вписывается в плотные шкафы вакуумных систем, не нарушая их герметичности.
Технические параметры
- Тип устройства: Контроллер вакуумных систем для микроэлектронных производств.
- Диапазон регулируемого давления: 10⁻⁹ Па — 1000 Па.
- Точность регулировки: ±0,1 Па (в диапазоне 10⁻⁸ — 10⁻³ Па).
- Входы/выходы:
- 8 цифровых выходов (24 В постоянного тока, до 2 А);
- 4 аналоговых входов (0–10 В для датчиков давления);
- 1 порт EtherCAT (100 Mбит/с, задержка ≤1 мс).
- Напряжение питания: 24 В постоянного тока (ток потребления ≤1,5 А).
- Защита: Защита от короткого замыкания на выходах, электромагнитные помехи (EMC Class B для чистых зон).
- Габариты: 120 мм (ширина) × 80 мм (высота) × 150 мм (глубина).
- Класс защиты: IP54.
- Диапазон рабочих температур: 15°C до +40°C.
- Сертификаты: CE, SEMI S2 (безопасность для операторов), ISO 14644-1 (чистые зоны).
Преимущества и особенности
- Высокая точность регулировки: Возможность поддерживать давление с погрешностью ±0,1 Па делает AMAT AX-7670 0190-47768 незаменимым для критических микроэлектронных процессов.
- Совместимость с чистыми зонами: Корпус с защитой IP54 и соответствие стандартам SEMI S2 гарантируют безопасность использования в условиях минимального загрязнения.
- Быстрая коммуникация: Протокол EtherCAT с задержкой ≤1 мс обеспечивает синхронизацию с главным контроллером производства, критическую для высокопроизводительных линий.
- Простота интеграции: Стандартные входы/выходы и совместимость с AMAT FactoryWorks упрощают внедрение в существующие системы.
Примеры применения
- Производство микросхем: В линиях литографии AMAT AX-7670 0190-47768 регулирует вакуум в камерах，обеспечивая четкость изображений на фотомасках.
- Солнечные панели: На установках нанесения тонких пленок (CVD) он поддерживает стабильное давление для равномерного роста слоев кремния.
- Светодиоды: В фабриках производства GaN-базовых светодиодов AMAT AX-7670 0190-47768 управляет вакуумными системами реакторов, предотвращая загрязнение кристаллов.
Сравнение с конкурентами
По сравнению с аналогами от Edwards (Vacuum Controller PVX) и Pfeiffer Vacuum (PMC 100), AMAT AX-7670 0190-47768 выделяется более высокой точностью регулировки (±0,1 Па против ±1 Па) и лучшей интеграцией с системами AMAT FactoryWorks. Также он имеет больше цифровых выходов, что важно для управления сложными вакуумными контурами с множеством клапанов.
Советы по выбору и предостережения
- Совместимость с датчиками: Убедитесь, что датчики давления поддерживают сигнал 0–10 В, требуемый для AMAT AX-7670 0190-47768; для других типов сигналов используйте преобразователи.
- Монтаж: Устанавливайте контроллер только в чистых зонах класса не ниже Class 1000; используйте антистатические крепления для предотвращения повреждения от статики.
- Обслуживание: Проводите проверку герметичности корпусу раз в 6 месяцев; обновляйте прошивку только через авторизованные сервисы AMAT.
- Безопасность: В области работы с токсичными газами убедитесь, что контроллер соответствует требованиям SEMI S8 (защита от токсичных выбросов).
AMAT AX-7670 0190-47768 — это высокоточный контроллер вакуумных систем, идеально подходящий для микроэлектронных и нанотехнологических производств, подтверждающий лидерство AMAT в разработке специализированного оборудования для высокотехнологичных процессов.
0190-47768
