Описание
APPLIED MATERIALS 0190-72680
Описание продукта
APPLIED MATERIALS 0190-72680 является специализированным модулем управления газовыми потоками, разработанным компанией Applied Materials – глобальным лидером в производстве оборудования для микроэлектроники, нанотехнологий и солнечных панелей. Этот модуль APPLIED MATERIALS 0190-72680 специализируется на точном регулировании и контроле расхода газов (инертных, реактивных, опасных) в высокоточных процессах микроэлектроники – например, химическое парогенное осаждение (CVD), физическое парогенное осаждение (PVD), ионная имплантация – где стабильность газовых потоков напрямую влияет на качество тонких пленок и функциональность микрочипов [ссылка на продукт]. Благодаря’ultравысокой точностью регулирования, герметичной конструкции, адаптации к вакуумным условиям и совместимости с оборудованием Applied Materials (например, Centura, Endura), APPLIED MATERIALS 0190-72680 легко интегрируется в линиях производства полупроводников,micromachines для нанотехнологий и систем обработки плазмой. В составе оборудования Applied Materials APPLIED MATERIALS 0190-72680 демонстрирует исключительную повторяемость параметров и безопасность работы с опасными газами, подтверждая опыт компании в разработке компонентов для критических микроэлектронных процессов [ссылка на продукт]. Особенно ценен APPLIED MATERIALS 0190-72680 в линиях производства интегральных схем,micromachines для изготовления светодиодов и солнечных панелей – где даже минимальное отклонение расхода газа может привести к браку продукции worth миллионов долларов и остановке производственного цикла.
Технические параметры
- Тип устройства: модуль управления газовыми потоками (массовый расходомер + регулятор) для оборудования микроэлектроники
- Основные функции:
- Прецизионное регулирование расхода газов: 0–1000 ссм³/мин (стандартный кубический сантиметр в минуту)
- Мониторинг реального расхода газа в реальном времени
- Защита от перепадов давления и утечек газа
- Синхронизация с контроллером процесса Applied Materials (запуск/остановка подачи газа в зависимости от этапа процесса)
- Поддерживаемые газы:
- Инертные газы: азот (N₂), аргон (Ar), гелий (He)
- Реактивные газы: аммиак (NH₃), кислород (O₂), азотная кислота (NO₂), метан (CH₄) и другие газы, используемые в микроэлектронике
- Опасные газы: соответствует требованиям безопасности для работы с токсичными, коррозионными и взрывоопасными газами
- Параметры регулирования:
- Точность расхода: ±0,5% полного диапазона (FS) или ±0,1 с см³/мин (выберите более строгое значение)
- Повторяемость: ±0,1% FS (минимальная вариация параметров при одинаковых условиях)
- Время реакции: ≤ 100 мс (на изменение команды на регулирование расхода)
- Давление рабочего газа: 1–10 бар (входное давление), 0,1–5 бар (выходное давление)
- Коммуникационные интерфейсы:
- Ethernet: 1 порт Gigabit Ethernet (TCP/IP, Modbus TCP) – для связи с контроллером оборудования Applied Materials
- RS-485: 1 порт (Modbus RTU) – для локальной конфигурации и диагностики
- Сигналы аналогового управления: 4–20 мА (вход для задания расхода), 4–20 мА (выход для индикации реального расхода)
- Конструкционные и эксплуатационные параметры:
- Герметичность: класс leak rate ≤ 1×10⁻⁹ ссм³/с (герметичность соединений, предотвращение утечек газа)
- Уровень защиты: IP54 (защищен от пыли и струй воды – для монтажа в чистых комнатах и оборудовании с вакуумом)
- Температурный диапазон работы: 15 °C до +45 °C (операция), от -20 °C до +60 °C (хранение)
- Корпус: алюминиевый сплав с антикоррозионным покрытием, компатибельный с чистыми комнатами (не выделяет частиц)
- Подключения: герметичные разъемы Swagelok (для безопасного соединения газовых труб)
- Питание: 24 В ПН (диапазон 18–30 В), потребление не более 12 Вт
- Размеры: 80 мм (ширина) × 150 мм (высота) × 100 мм (глубина) – компактный дизайн для встраивания в оборудование
- Масса: 1,2 кг
- Стандарты соответствия: SEMI F47 (стандарт для оборудования микроэлектроники), CE, ISO 9001, RoHS
- Защитные функции: защита от утечек газа (встроенный датчик утечек), защита от перегрева, автоматическое отключение подачи газа при нештатных режимах, индикация аварий (LED и сигнальный выход)
Преимущества и особенности
APPLIED MATERIALS 0190-72680 выделяется’ultравысокой точностью и повторяемостью регулирования газового расхода (±0,5% FS и ±0,1% FS соответственно): гарантирует равномерность нанесения тонких пленок на микрочипы, что критично для поддержания электрических характеристик устройств. Ключевым преимуществом является герметичность и безопасность работы с опасными газами: leak rate ≤ 1×10⁻⁹ с см³/с предотвращает утечки токсичных или коррозионных газов, защищая персонал и оборудование, а совместимость с безопасными разъемами Swagelok упрощает надежное монтаж. Модуль имеет глубокую интеграцию с оборудованием Applied Materials: автоматически распознается контроллерами Centura и Endura, загружает оптимальные параметры для конкретного газа и процесса, что упрощает настройку и эксплуатацию в чистых комнатах. Также APPLIED MATERIALS 0190-72680 оснащен расширенной диагностикой и индикацией: операторы могут отслеживать реальный расход газа, давление и состояние компонентов в реальном времени, выявлять признаки износа (например, снижение точности) и планировать техническое обслуживание до полного отказа. Особая особенность – адаптация к вакуумным условиям и чистым комнатам: корпус не выделяет микрочастиц, а герметичные соединения поддерживают стабильность газовых потоков даже при работе в системе с низким давлением.
Прикладные области и кейсы
APPLIED MATERIALS 0190-72680 широко используется в микроэлектронике (линии производства интегральных схем – химическое парогенное осаждение CVD, физическое парогенное осаждение PVD, ионная имплантация),micromachines для нанотехнологий (нанолитография,micromachines тонких пленок), производстве светодиодов (осаждение полупроводниковых материалов), солнечных панелей (обработка кремниевых пластин) и лабораторных исследованиях (micromachines материалов на наномасштабе). В линиях CVD Applied Materials Centura модуль управляет расходом реактивных газов (например, аммиака и азота): APPLIED MATERIALS 0190-72680 с точностью ±0,1 с см³/мин регулирует подачу газов в реактор, синхронизируясь с контроллером процесса, и гарантирует равномерность толщины диэлектрических пленок на микрочипах. В производстве светодиодов он контролирует расход газов для осаждения галлий-никеля (GaN): повторяемость ±0,1% FS обеспечивает стабильность оптических характеристик светодиодов, а защита от утечек предотвращает повреждение оборудования коррозионными газами. В лабораторных исследованиях по нанотехнологиям APPLIED MATERIALS 0190-72680 управляет газовыми потоками вmicromachines установки: возможность точного регулирования расхода до 0,1 с см³/мин позволяет синтезировать материалы с контролируемой структурой на наномасштабе.
Сравнение с конкурентами
По сравнению с аналогичными модулями управления газовыми потоками (например, MKS Instruments 1179A, Brooks Instrument GF125, Horiba STEC SEC-Z500), APPLIED MATERIALS 0190-72680 имеет несколько преимуществ. Во-первых, глубокая интеграция с оборудованием Applied Materials (Centura, Endura) и автоматическая конфигурация параметров – идеально для предприятий, использующих линии производства Applied Materials, в то время как сторонние модули требуют сложной адаптации. Во-вторых, более высокая точность и повторяемость регулирования (±0,5% FS против ±1% FS у аналогов) – подходит для самых требовательных процессов микроэлектроники, где качество пленок критично. В-третьих, адаптация к чистым комнатам и вакуумным условиям – корпус не выделяет частиц, что соответствует стандартам SEMI для оборудования микроэлектроники. Недостатком по сравнению с модулями MKS Instruments 1179A является ограниченная совместимость с оборудованием других брендов, но для систем на базе Applied Materials APPLIED MATERIALS 0190-72680 является оптимальным решением.
Советы по выбору и предостережения
При выборе APPLIED MATERIALS 0190-72680 необходимо подтвердить совместимость с моделью оборудования Applied Materials (Centura/Endura) и типом используемых газов (инертные/реактивные/опасные). Для процессов с требуемым расходом выше 1000 с см³/мин рекомендуется модель Applied Materials 0190-72690 с расширенным диапазоном. При установке модуля следует использовать только оригинальные разъемы Swagelok, обеспечить герметичность соединений (проверить leak rate после монтажа) и монтировать устройство в соответствии с требованиями чистой комнаты (избегать контакта с загрязненными поверхностями). Перед эксплуатацией необходимо калибрировать модуль через программное обеспечение Applied Materials, настроить параметры для конкретного газа и процесса, и проверить работу защитных функций (автоматическое отключение при утечке). Важно регулярно проверять состояние разъемов и фильтров, избегать эксплуатации при температуре вне диапазона 15–45 °C – это позволяет поддерживать стабильность параметров и предотвращать утечки газов. Не рекомендуется использовать APPLIED MATERIALS 0190-72680 с газами, не указанными в спецификации, или с давлением выше максимальных допустимых значений – это может привести к повреждению модуля и опасным ситуациям.
0190-72680
