Описание
COMDEL CDX2000-0190-54753 — это промышленный генератор радиочастотного (РЧ) поля от компании Comdel, специализирующейся на оборудовании для плазменных технологий. Он разработан для стабильной подачи РЧ энергии в плазменные камеры, широко используется в электронной промышленности (производство микросхем, дисплеев), а также в научных лабораториях при исследованиях плазменных процессов.
Описание продукта
Генератор COMDEL CDX2000-0190-54753 обеспечивает выходную мощность до 2000 Вт и работает в диапазоне частот 13,56 МГц — стандартном для плазменных приложений, что гарантирует совместимость с большинством промышленных плазменных систем. Например, в производстве полупроводников COMDEL CDX2000-0190-54753 подает РЧ энергию для ионизации газов в реакторах, создавая плазму, которая удаляет лишние слои материала с кремниевых пластин (процесс травления) с микронной точностью. Благодаря высокой стабильности выходной мощности (погрешность ≤0,1%) COMDEL CDX2000-0190-54753 гарантирует однородность плазменного поля, что критично для качества микрочипов — даже небольшие отклонения могут привести к браку продукции.
COMDEL CDX2000-0190-54753 оснащен встроенным системой мониторинга и защиты: от перегрева, короткого замыкания, перепадов входного напряжения и нестабильности плазменного поля. Это предотвращает повреждение как генератора, так и плазменного реактора. Он поддерживает интерфейсы Ethernet и RS-232 для дистанционного управления и сбора данных (например, через ПЛК или специализированное ПО), а также имеет локальный панель с LCD-дисплеем для быстрой настройки параметров (мощность, частота, время работы). Корпус выполнен из металла с защитой IP20, а система активного охлаждения (водяное или воздушное) гарантирует стабильность работы при длительной эксплуатации. Особенно ценным преимуществом COMDEL CDX2000-0190-54753 является совместимость с программным обеспечением Comdel PlasmaPro, которое позволяет автоматизировать циклы плазменных процессов и сохранять профили настроек для повторяющихся задач.
Технические параметры
- Тип устройства: РЧ-генератор для плазменных технологий Comdel.
- Выходная мощность: До 2000 Вт (регулируемая в диапазоне 10–2000 Вт).
- Рабочая частота: 13,56 МГц (стабильность ±5 кГц).
- Погрешность мощности: ≤0,1% от заданного значения.
- Входное напряжение: 208–240 В переменное (однофазное, 50/60 Гц) или 380–480 В переменное (трехфазное).
- Коэффициент мощности (PF): ≥0,95 (при полной нагрузке).
- Интерфейсы: 1 Ethernet (10/100 Мбит/с), 1 RS-232, 1 аналоговый вход (0–10 В для регулировки мощности).
- Функции защиты: Перегрев, короткое замыкание, перепад входного напряжения, нестабильность плазмы.
- Система охлаждения: Воздушное (стандарт) или водяное (опционально).
- Диапазон рабочих температур: 0°C — +40°C (при воздушном охлаждении).
- Потребление: ≤2500 ВА (при полной нагрузке).
- Габариты: 483 мм (ширина) × 178 мм (высота) × 559 мм (глубина) — стандартный размер 19″ для монтажа в шасси.
- Класс защиты: IP20.
- Сертификаты: CE, UL, RoHS, FCC Class A.
Преимущества и особенности
- Высокая стабильность: COMDEL CDX2000-0190-54753 обеспечивает точную регулировку мощности и частоты, что критично для однородности плазменных процессов.
- Надежность: Встроенные системы защиты и эффективное охлаждение гарантируют долговечность при круглосуточной эксплуатации.
- Гибкость управления: Поддержка дистанционного доступа и локального пульта упрощает интеграцию в автоматизированные линии.
- Совместимость: Работа с ПО Comdel PlasmaPro позволяет автоматизировать процессы и сохранять настройки.
Примеры применения
- Производство микросхем: В кремниевых заводах COMDEL CDX2000-0190-54753 используется для плазменного травления кремниевых пластин, создавая тонкие дорожки для микрочипов.
- Производство OLED-дисплеев: В линиях сборки экранов COMDEL CDX2000-0190-54753 подает РЧ энергию для напыления тонких металлических слоев на стеклянные подложки, обеспечивая однородность покрытия.
- Научные исследования: В лабораториях физики плазмы генератор используется для создания и изучения низкотемпературных плазм в экспериментах по очистке воздуха или синтезу новых материалов.
Сравнение с конкурентами
По сравнению с аналогами от Advanced Energy (AE RF Generators) и MKS Instruments (ASTeX), COMDEL CDX2000-0190-54753 выделяется более высокой стабильностью выходной мощности (≤0,1% против ≤0,5% у конкурентов) и более простым интерфейсом для интеграции с ПЛК. Это делает его предпочтительным для массового производства электронных компонентов, где требуется максимальная повторяемость результатов. Дополнительным преимуществом является более компактный дизайн (стандарт 19″), что экономит место в производственных шкафах.
Советы по выбору и предостережения
- Требования к мощности: Выбирайте COMDEL CDX2000-0190-54753 для плазменных систем, требующих 10–2000 Вт; для более мощных реакторов (≥3000 Вт) используйте модели из серии Comdel CDX3000.
- Система охлаждения: Для круглосуточной эксплуатации рекомендуется водяное охлаждение; воздушное подходит для периодических процессов.
- Монтаж: Устанавливайте генератор в хорошо вентилируемые шкафы (при воздушном охлаждении); при монтаже в 19″-шаси убедитесь в достаточном пространстве для подключения кабелей.
- Обслуживание: Регулярно проверяйте фильтры системы охлаждения (ежемесячно для воздушного, ежеквартально для водяного); калибруйте генератор через Comdel PlasmaPro раз в год для сохранения стабильности параметров.
COMDEL CDX2000-0190-54753 — это надежное и точное оборудование для плазменных технологий, подтверждающее специализацию Comdel на решениях для высокоточных электронных и научных приложений.
CDX2000-0190-54753
