Описание
Описание продукта GRANVILLE-PHILLIPS 360120
GRANVILLE-PHILLIPS 360120 — это высокоточный вакуумный сенсор, специализированный для измерения давления в вакуумных системах с широким диапазоном. Этот сенсор 360120 является ключевым элементом для контроля вакуума в лабораторных установках, производственных линиях полупроводников и медицинских устройствах, где стабильность давления критична для качества процессов. GRANVILLE-PHILLIPS 360120 подтверждает качество бренда GRANVILLE-PHILLIPS, гарантируя точность измерений (погрешность ≤0,1%) и долговечность при длительной эксплуатации в вакууме. GRANVILLE-PHILLIPS 360120 поддерживает как аналоговый выход (4–20 мА), так и цифровой интерфейс (RS-485 с протоколом Modbus), что упрощает его интеграцию с системами автоматизации. GRANVILLE-PHILLIPS 360120 оснащен функцией самодиагностики, которая сигнализирует о возможных сбоях в работе сенсора, предотвращая ошибки в измерениях. [Ссылка на продукт GRANVILLE-PHILLIPS 360120]
Технические параметры GRANVILLE-PHILLIPS 360120
-
Тип устройства: Вакуумный сенсор для измерения давления в широком диапазоне
-
Характеристики работы:
- Диапазон измерения давления: 10⁻⁹ – 10³ Па (включает ультравысокий вакуум и низкое давление газов)
- Тип измерения: Ионный метод (для низких давлений) и тепловой метод (для средних давлений)
- Точность измерений: ≤0,1% от полного диапазона
- Скорость измерения: 1 измерение в секунду
- Поддерживаемые сигналы: Аналоговый выход (4–20 мА), цифровой интерфейс RS-485 (Modbus)
- Питание: 24 В ДС
- Потребляемая мощность: ≤6 Вт
- Диапазон температуры эксплуатации: 15–45 °C
-
Защитные функции:
- Защита от передавления: Автоматическое переключение на безопасный режим при превышении 10³ Па
- Герметизация: Герметичные соединения для предотвращения утечек вакуума (класс герметичности ISO 14644-1 Class 7)
- Защита от электромагнитных помех: Фильтры сигналов (снижение уровня помех на 35 дБ)
- Индикация состояния: Световой индикатор (питание, работа, авария) + коды ошибок в цифровом выводе
- Соответствие стандартам: ISO 9001, CE, SEMI F47
Преимущества и особенности GRANVILLE-PHILLIPS 360120
GRANVILLE-PHILLIPS 360120 выделяется широким диапазоном измерений, высокой точностью и герметизацией для вакуумных систем: Основное преимущество — возможность измерять давление как в ультравысоком вакууме (10⁻⁹ Па), так и в условиях низкого давления газов (10³ Па), что исключает необходимость использования нескольких сенсоров. Высокая точность (≤0,1%) гарантирует стабильность процессов в вакуумных камерах для нанотехнологий и изготовления микроэлектронных компонентов. Герметичные соединения и материалы, устойчивые к вакууму, предотвращают утечки и сохраняют герметичность системы. Поддержка Modbus позволяет вести удаленное мониторинг давления через SCADA-системы, что удобно для крупных установок с несколькими вакуумными камерами.
Применение в отраслях
- Микроэлектроника: Контроль давления в вакуумных камерах при нанесении тонких слоев на чипы
- Научные лаборатории: Измерения давления в экспериментальных установках для физики элементарных частиц
- Медицинская техника: Контроль вакуума в системах лифта тканей при хирургических операциях
- Нанотехнологии: Стабилизация давления в камерах для синтеза наноматериалов
Сравнение с конкурентами
По сравнению с аналогами (включая другие вакуумные сенсоры GRANVILLE-PHILLIPS и сторонних производителей), GRANVILLE-PHILLIPS 360120 имеет:
- Широкий диапазон измерений (10⁻⁹ – 10³ Па) (большинство сенсоров специализируются на узком диапазоне)
- Точность ≤0,1% (выше, чем у аналогов с 0,5–1% погрешностью)
- Герметизацию для вакуумных систем Class 7 (выше, чем у сенсоров с Class 8–9)
- Совместимость с стандартом SEMI F47 (для микроэлектроники, отсутствует у многих конкурентов)
Советы по выбору и предостережению
- Выбор: Выбирайте GRANVILLE-PHILLIPS 360120 для вакуумных систем с широким диапазоном давления, особенно в микроэлектронике и нанотехнологиях, где требуется максимальная точность. Оптимально для установок, где использование нескольких сенсоров нецелесообразно.
- Установка:
- Монтировать в горизонтальном положении, 远离 источников тепла (чтобы не искажать результаты измерений).
- Использовать только сертифицированные вакуумные трубки и фитинги (из нержавеющей стали или титана).
- Калибровать сенсор через ПО GRANVILLE-PHILLIPS после установки — настройка под конкретные газы.
- Обслуживание:
- Проводить проверку герметичности раз в 6 месяцев (с использованием гелиевого теста).
- Чистить сенсор только сжатым сухим воздухом (не использовать жидкие очистители).
- Контролировать данные самодиагностики — сигналы о снижении точности требуют калибровки.
- Безопасность:
- Отключать питание и эквабилировать вакуумную систему перед заменой сенсора.
- Использовать перчатки и защитные очки при монтаже — защита от повреждения чувствительных элементов.
GRANVILLE-PHILLIPS 360120 — это надежный и универсальный вакуумный сенсор, сочетающий качество GRANVILLE-PHILLIPS с высокой точностью, идеально подходящий для самых требовательных вакуумных систем.
360120
