Описание
INFICON BPG400 P/N 353-500 — это высокоточный вакуумный манометр от компании INFICON, специализирующейся на измерительных решениях для вакуумных технологий. Он разработан для точного контроля давления в вакуумных системах, широко применяемых в микроэлектронике, оптоэлектронике и вакуумной металлизации.
Описание продукта
Вакуумный манометр INFICON BPG400 P/N 353-500 оснащен сенсорной системой с широким диапазоном измерений, что позволяет ему работать в условиях от атмосферного давления до 10⁻⁹ Па. Например, в производстве полупроводниковых чипов INFICON BPG400 P/N 353-500 контролирует давление в реакторах плазменной обработки, гарантируя стабильность процессов осаждения тонких пленок с толщиной до нескольких нанометров. Благодаря технологии корректировки температуры INFICON BPG400 P/N 353-500 сохраняет точность измерений при колебаниях температуры окружающей среды (от 15°C до 40°C), что критично для чистых помещений с строгими климатическими требованиями.
INFICON BPG400 P/N 353-500 поддерживает несколько интерфейсов для интеграции с системами автоматизации: Ethernet (TCP/IP), RS232 и Profibus DP, что позволяет передавать данные в контроллеры PLC и системы SCADA в реальном времени. Он оснащен жидкокристаллическим дисплеем для локального отображения данных и светодиодными индикаторами состояния, сигнализируя о превышении заданных порогов давления. Манометр монтируется через фланец KF 40, обеспечивая герметичное соединение с вакуумными линиями, и имеет компактный корпус, что удобно для установки в плотно заполненных вакуумных камерах.
Корпус INFICON BPG400 P/N 353-500 изготовлен из алюминиевого сплава с антикоррозионным покрытием, класс защиты IP40, защищая внутренние компоненты от пыли и механических повреждений. Сертификация на соответствие стандартам ISO 9001 и CE подтверждает его соответствие международным требованиям к измерительным приборам для высокоточных технологий.
Технические параметры
- Тип устройства: Вакуумный манометр с широким диапазоном измерений.
- Диапазон давления: 1,33 × 10⁵ Па — 1 × 10⁻⁹ Па.
- Точность: ±10% от измеренного значения (в диапазоне 1 × 10⁻¹ Па — 1,33 × 10⁵ Па); ±20% (в диапазоне 1 × 10⁻⁹ Па — 1 × 10⁻² Па).
- Интерфейсы: Ethernet (TCP/IP), RS232, Profibus DP.
- Питание: 24 В постоянный ток (±10%).
- Габариты: 140 мм (ширина) × 80 мм (высота) × 180 мм (глубина).
- Класс защиты: IP40.
- Диапазон рабочих температур: 15°C — 40°C.
- Сертификаты: ISO 9001, CE, RoHS.
Преимущества и особенности
- Широкий диапазон: INFICON BPG400 P/N 353-500 покрывает практически все виды вакуумных технологий, от низкого вакуума до ультравысокого.
- Высокая точность: Технология корректировки температуры и стабильная сенсорная система гарантируют надежные измерения в критических процессах.
- Гибкая интеграция: Поддержка популярных промышленных протоколов упрощает внедрение в автоматизированные системы.
- Герметичное монтирование: Фланец KF 40 обеспечивает надежное соединение с вакуумными линиями, исключая утечки.
Примеры применения
- Микроэлектроника: В производстве светодиодов INFICON BPG400 P/N 353-500 контролирует давление в камерах испарения, обеспечивая равномерное осаждение германия на подложки.
- Оптоэлектроника: На линиях производства лазерных диодов манометр регулирует давление в системах охлаждения, предотвращая перегрев чувствительных компонентов.
- Вакуумная металлизация: В процессе нанесения золотых покрытий на украшения INFICON BPG400 P/N 353-500 поддерживает давление в камере, гарантируя гладкость и прочность покрытия.
Сравнение с конкурентами
По сравнению с аналогами от Agilent (Pfeiffer Vacuum) и Brooks Instrument, INFICON BPG400 P/N 353-500 выделяется более широким диапазоном измерений (до 10⁻⁹ Па против 10⁻⁸ Па у конкурентов) и лучшим сочетанием точности и скорости отклика (50 мс). Также его поддержка Profibus DP в стандартной комплектации является преимуществом для интеграции с европейскими системами автоматизации.
Советы по выбору и предостережения
- Требуемый диапазон: Выбирайте INFICON BPG400 P/N 353-500 для технологий с ультравысоким вакуумом; для менее требовательных задач подойдут модели с более узким диапазоном.
- Монтирование: Используйте только оригинальные прокладки для фланца KF 40 для предотвращения утечек вакуума.
- Калибровка: Проводите калибровку раз в 12 месяцев с использованием эталонных вакуумных систем для сохранения точности.
- Окружающая среда: Устанавливайте манометристочников вибраций и электромагнитных полей (трансформаторов, двигателей) для минимизации искажений сигналов.
INFICON BPG400 P/N 353-500 — это надежный и точный вакуумный манометр, который устанавливает стандарты для контроля давления в высокоточных технологиях, подтверждая экспертизу INFICON в области вакуумных измерений.
353-500
