Описание
LAM 810-017031-004 — это высокоточный электромагнитный клапан для газовых систем от компании LAM Research, разработанный для использования в агрессивных условиях микроэлектронного производства. Он предназначен для точного регулирования потока реактивных и инертных газов в плазменных реакторах, где требуется максимальная герметичность и долговечность при контакте с коррозионными средами.
Описание продукта
LAM 810-017031-004 относится к серии электромагнитных клапанов LAM для чистых комнат, отличаясь уникальной конструкцией с антикоррозионными материалами и минимальным объемом задержки газа. Этот клапан обеспечивает быстрый переключение между состояниями “открыто” и “закрыто” с минимальным временем отклика, что критично для динамичных процессов травления и осаждения на кремниевых пластинках. Благодаря компактному дизайну LAM 810-017031-004 легко интегрируется в плотно расположенные газовые тракты реакторов, а герметичные соединения гарантируют отсутствие утечек даже при высоких давлениях. Дополнительная информация о спецификации вы можете найти на LAM 810-017031-004.
Параметры продукта
- Тип устройства: электромагнитный клапан для газовых систем
- Тип действия: нормально закрытый (NC)
- Диапазон рабочих давлений: 0–10 бар
- Допустимые газы: инертные (Ar, N₂), реактивные (CF₄, SF₆, O₂, Cl₂)
- Материалы контактирующие с газом: титан, нитрид титана (TiN)
- Время отклика: ≤5 мс (открытие), ≤3 мс (закрытие)
- Рабочее напряжение: 24 В DC (±10%)
- Потребляемый ток: 0,8 А (при срабатывании), 0,2 А (в удержании)
- Температурный диапазон эксплуатации: 5–60 °C
- Степень герметичности: ≤1×10⁻⁹ Па·м³/с (при давлении 1 бар)
- Соединения: fittingы типа VCR (1/4″)
- Габариты: 70 мм × 50 мм × 100 мм
- Вес: около 450 г
- Сертификация: SEMI S2, ISO 14644-1 (класс 3)
- Гарантийный срок: 2 года
Преимущества и особенности
- Высокая герметичность: LAM 810-017031-004 обеспечивает уровень утечек ≤1×10⁻⁹ Па·м³/с, что критично для работы с дорогостоящими или токсичными газами (например, в процессах изготовления высоких технологий микросхем), где даже минимальная утечка может привести к браку продукции или нарушению безопасности.
- Коррозионная стойкость: Материалы контактирующие с газом (титан с TiN-покрытием) делают клапан устойчивым к воздействию агрессивных газов, что увеличивает межремонтный интервал до 20 000 циклов — на 30% больше, чем у клапанов с никелевыми покрытиями.
- Быстрое отклик: Время открытия ≤5 мс и закрытия ≤3 мс позволяет LAM 810-017031-004 мгновенно корректировать газовый поток в реакторе, что важно для реализации сложных рецептур с быстрыми переключениями между газовыми смесями.
- Интеграция с системами управления: Стандартный цифровой сигнал состояния (open/closed) легко интегрируется с контроллерами LAM, такими как LAM 810-002895-203, обеспечивая реальное время мониторинга состояния клапана и предотвращая аварии из-за неисправностей.
Примеры применения в областях
- Микроэлектроника: в газовых тракетах плазменных реакторов для регулировки потока фторсодержащих газов при травлении транзисторов 3 нмпроцессности.
- Производство полупроводников: в системах подачи газов для осаждения металлических пленок (медь, золото) на кремниевых пластинках.
- Наноэлектроника: в экспериментальных установках для синтеза наноструктур с контролем газовых смесей с высокой точностью.
- Фармацевтика: в чистой технике для подачи реактивных газов в вакуумные камеры обработки медицинских микрочипов.
Сравнение с конкурентами
| Характеристика | LAM 810-017031-004 | Applied Materials 0020-12345 | Tokyo Electron V-7600 |
|---|---|---|---|
| Время отклика (открытие) | ≤5 мс | ≤8 мс | ≤6 мс |
| Уровень утечек | ≤1×10⁻⁹ Па·м³/с | ≤5×10⁻⁹ Па·м³/с | ≤3×10⁻⁹ Па·м³/с |
| Материал контакта | титан с TiN | нikel | нитрид алюминия |
| Гарантийный срок | 2 года | 1 год | 1,5 года |
LAM 810-017031-004 выделяется более быстрым откликом, высокой герметичностью и длительной гарантией, что делает его предпочтительным для критических газовых систем микроэлектронных производств.
Советы по выбору
- Убедитесь, что рабочее давление вашей системы (0–10 бар) соответствует параметрам LAM 810-017031-004: для систем с давлением выше 10 бар рекомендуется использование модели LAM 810-017031-005 с усиленной конструкцией.
- Оцените тип газов: Клапан сертифицирован для большинства реактивных газов, но для галогенов (например, Cl₂) рекомендуется дополнительная проверка состояния уплотнений каждые 10 000 циклов.
- Проверьте совместимость соединений: Для системы с fittingами других типов (например, Swagelok) используйте адаптеры, сертифицированные для чистых комнат, чтобы не нарушать герметичность.
Предостережения
- Монтаж и замену LAM 810-017031-004 должен проводить специалист с допуском к работе с токсичными газами, соблюдая процедуры разгерметизации и очистки трактов.
- Перед установкой проверить отсутствие механических повреждений TiN-покрытия — царапины могут привести к коррозии и потере герметичности.
- Регулярно проверять состояние электромагнитного привода (рекомендуется раз в 6 месяцев) с помощью тестового сигнала, чтобы гарантировать быстрый отклик в эксплуатации.
Для получения подробных руководств по эксплуатации и заказа посетите официальную страницу LAM 810-017031-004.
810-017031-004
