Name: LAM 810-069751-114 - XINYEDA
Brand: LAM
Price: 1299.00 RUB
Availability: InStock

Описание

Описание продукта

Плата LAM 810-069751-114 представляет собой специализированную контроллерную или интерфейсную плату, разработанную для высокоточного производственного оборудования компании LAM Research, лидера в области производства установок для полупроводниковой промышленности. Этот компонент, вероятно, входит в состав системы управления одной из критических подсистем вакуумной плазмохимической установки для травления (Etch) или осаждения слоев (CVD/ALD). Основная функция платы LAM 810-069751-114 — обеспечение управления, сбора данных и связи для конкретного блока оборудования, такого как система подачи и контроля высокочастотной (ВЧ) мощности, система управления клапанами и масс-расходомерами (MFC), или подсистемы температурного контроля. Плата 810-069751-114 выступает в роли интеллектуального интерфейса, преобразующего команды от главного контроллера в точные управляющие воздействия на силовые элементы и обрабатывающего обратную связь от датчиков. Ее безотказная работа напрямую влияет на стабильность, повторяемость и качество основного технологического процесса — изготовления полупроводниковых пластин.

Технические параметры и характеристики

Производитель и сфера: LAM Research, оборудование для полупроводникового производства.
Тип устройства: Специализированная контроллерная плата (Controller Board) или плата интерфейса ввода-вывода.
Вероятная функциональность:
- Контроллер ВЧ-генератора: Управление мощностью, частотой, согласованием импеданса плазменного разряда.
- Контроллер системы газоподачи: Управление соленоидными и пропорциональными клапанами, сбор данных с масс-расходомеров (MFC).
- Плата управления температурой: Обработка сигналов с термопар или RTD, управление нагревательными элементами.
- Интерфейсная плата связи: Организация обмена данными между различными модулями установки по внутренней шине (например, RS-485, Profibus).
Интерфейсы и разъемы: Имеет специализированные разъемы для подключения к материнской плате стойки, силовым драйверам, датчикам и полевым устройствам. Часто используются разъемы типа D-Sub, прямоугольные или клеммные колодки.
Обработка сигналов: Содержит микропроцессор, ПЛИС (FPGA), АЦП/ЦАП для обработки аналоговых и цифровых сигналов в реальном времени.
Питание: Получает различные напряжения (+5V, ±15V, +24V, +48V) от источников питания стойки.
Индикация: Светодиоды для отображения статуса питания, активности, ошибок и состояния ключевых функций.
Совместимость: Работает только в определенной модели и ревизии оборудования LAM (например, серии 2300, 4400, 9400).

Преимущества и ключевые особенности

Высочайшая надежность и точность: Плата LAM 810-069751-114 спроектирована для работы 24/7 в условиях чистовых комнат, где простои крайне дороги. Используются компоненты с минимальным дрейфом параметров.
Прямая и гарантированная совместимость: Как оригинальный компонент от OEM-производителя, она обеспечивает полное соответствие механическим, электрическим и программным требованиям конкретной установки LAM.
Оптимизация для узкой задачи: Ее аппаратная и программная начинка оптимизирована для управления конкретной физической величиной (мощность, расход, температура) с максимальной эффективностью и минимальным временем отклика.
Глубокая диагностика и предсказуемость поведения: Поведение платы полностью документировано и предсказуемо, что позволяет системе проводить точную самодиагностику и локализацию неисправностей.
Поддержка по жизненному циклу: LAM Research предоставляет долгосрочную поддержку запасных частей для своего оборудования, включая платы 810-069751-114, что критично для дорогостоящих производственных активов.

Примеры применения в различных отраслях

Полупроводниковое производство (основное): Управление процессом плазмохимического травления (Plasma Etch) диэлектриков и металлов, атомно-слоевого осаждения (ALD) или химического парофазного осаждения (CVD) в установках LAM Research.
Производство солнечных панелей: Использование в оборудовании для нанесения тонких пленок и текстурирования кремния.
Нанесение функциональных покрытий: В системах для осаждения оптических, защитных или проводящих слоев на стекло и другие подложки.

Сравнение с аналогами (универсальными промышленными контроллерами)

В пользу оригинальной платы LAM 810-069751-114: Гарантия 100% работоспособности и сохранения всех заводских допусков и характеристик. Нулевые затраты и риски на перепроектирование, интеграцию и валидацию. Сохранение гарантии и сервисной поддержки на всю установку.
На что обратить внимание: Попытка заменить эту плату универсальным ПЛК (Siemens, Beckhoff) является чрезвычайно сложным, дорогим и рискованным инженерным проектом. Потребуется реверс-инжиниринг протоколов, разработка нового ПО, корпуса и интерфейсов, что экономически нецелесообразно и неприемлемо с точки зрения поддержки производителя.