Описание
Описание продукта LAM 810-370141-00
LAM, ведущий поставщик оборудования для bániconductorной промышленности, предлагает модуль контроля давления 810-370141-00, предназначенный для высокоточного мониторинга и управления давлением в процессах bániconductorной manufactуры. Этот модуль сочетает в себеruggedness конструкцию, высокую точность измерений и совместимость с системами автоматизации, making it ideal дляetching, deposition и других технологических процессов в bániconductorных fab. Модель 810-370141-00 обеспечивает стабильное измерение давления в вакуумных камерах, упрощая интеграцию в автоматизированные системы bániconductorного производства. Подробнее о продукте можно узнать по [ссылке на LAM 810-370141-00].
Технические параметры
- Тип модуля: Модуль датчика давления (Pressure Sensor Module)
- Диапазон измерения давления: 10^-6 торр до 1000 торр (гибридный диапазон для вакуумных и низких давлений)
- Тип датчика: Piezoresistive и capacitance diaphragm (для широкого диапазона измерений)
- Точность измерения: ±0,1%.full scale (в диапазоне 10^-3–100 торр)
- Вольтаж питания: 24 V DC (диапазон 19–32 V DC)
- Температурный диапазон работы: 0°C до +50°C (сдля температурных колебаний)
- Выходной сигнал: 4–20 mA (стандартный), 0–10 V DC (диапазон)
- Интерфейс коммуникации: RS-485 (Modbus RTU), Ethernet (Modbus TCP)
- Класс защиты: IP40 (для внутри помещений, resistant к пыли)
Преимущества и особенности
- Высокоточное измерение в широком диапазоне: Модуль 810-370141-00 обеспечивает точность ±0,1% в широком диапазоне давления, что критично для bániconductorных процессов, где малейшие отклонения могут повлиять на качество продукции.
- Интегрированная,self-diagnostic функция: Led-индикаторы отображают состояние измерения (зеленый – нормальный сигнал, желтый – неадекватный датчик, красный – сбой), а встроенная система감지вает дефекты в датчике и аномальные показания.
- Компактный и耐腐蚀ный дизайн: Конструкция из нержавеющей стали и керамических материалов обеспечивает устойчивость к химическим агрессивным môi etching и deposition процессах с высокими требованиями к устойчивости.
- Гибкость программирования: Под支持 настройку диапазона измерения, фильтров шума и порогов аварийных уведомлений через ПО LAM, что позволяет адаптировать модуль к конкретным технологическим процессам.
- Совместимость с системами автоматизации: Seamlessly интегрируется с контроллерами PLC и SCADA-системами, а также поддерживает interoperability с системами third-party через стандартные протоколы.
Применение в отраслях
- Б bániconductorная промышленность: В процессах etching кремния 810-370141-00 мониторит давление в вакуумной камере, обеспечивая стабильность Процесса и точность 패тернов наwafer.
- Технология deposition: При applying thin films (например, CVD/PVD) модуль контролирует давление реакционных газов, что влияет на толщину и равномерность покрытия.
- Микроэлектроникса: В производстве микросхем и МEMS-компонентов модуль используется для контроля давления в процессахリз刻 и aşembly.
- Вакуумная техника: В лабораторных установках и промышленных вакуумных системах 810-370141-00 обеспечивает точное измерение давления для wissenschaftческих исследований и производственных процессов.
Сравнение с конкурентами
По сравнению с аналогичными модулями датчиков давления, модель LAM 810-370141-00 обладает следующими преимуществами:
- Вышея точность в вакуумных условиях: ±0,1% против ±0,5% у конкурентов в диапазоне 10^-6–10^-3 торр, что важно для высокоточных bániconductorных процессов.
- Улучшенная химическая устойчивость: Материалы конструкции resistant к фторсодержащим газам и кислотам, в то время как многие конкурентные модели имеют ограниченную устойчивость.
- Больше функций самодиагностики: Встроенная проверка датчика и补偿а температуры автоматически корректирует ошибки, снижая необходимость ручной калибровки.
- Долгосрочная поддержка: LAM предоставляет техническую поддержку и запасные части в течение 10 лет после выпуска, в то время как конкуренты часто прекращают поддержку через 5–7 лет.
Рекомендации по выбору и предостережения
- Подбор модели: choisir 810-370141-00, если требуется высокоточный модуль датчика давления для bániconductorных процессов стребованиями к точности и химической устойчивости.
- Интеграция в систему: Убедитесь, что диапазон давления процесса совместим с модулем. Рекомендуется использовать фирменные кабели LAM для обеспечения стабильности сигнала в вакуумных условиях.
- Установка: Устанавливайте модуль непосредственно на вакуумную камеру или вблизи измеряемой зоны, избегая длинных трубoconductive для минимизации погрешностей. Используйте герметичные фланцы для соединения с вакуумной системой.
- Обслуживание: Периодически проверяйте Led-индикации, герметичность соединений и калибровку модуля (раз в квартал). Рекомендуется проводить калибровку с использованием вакуумных эталонов.
- Безопасность: При работе с модулем в химически агрессивных средах务必 использовать соответствующую ochrannую экипировку. Убедитесь, что вакуумная система корректно erd grounded, чтобы избежать электростатических выбросов, которые могут повлиять на точность измерений.
Для получения дополнительной технической документации, включая чертежи mounting, таблицы калибровки и руководства по установке, обратитесь к специалистам LAM по ссылке: [LAM 810-370141-00].
810-370141-001
