Name: LAM 853-001983-110 - XINYEDA
Brand: LAM
Price: 8599.00 RUB
Availability: InStock

Описание

Сначала представляю вам модуль питания для оборудования микроэлектронной промышленности — LAM 853-001983-110; ссылка на продукт (пожалуйста, предоставьте фактическую ссылку, чтобы она была интегрирована в текст вместе с брендом и моделью, и в дальнейшем будет добавлена в соответствующие разделы). Данный модуль от LAM Research (специалист по оборудованию для производства полупроводников) относится к серии компонентов для систем обработки кремниевых пластин (например, системы травления, диффузии), предназначенной для стабильной подачи электроэнергии на чувствительные компоненты оборудования (микропроцессоры, сенсоры положения, приводы серво) — используется в производстве полупроводников, светодиодов (LED) и микроэлектронных устройств, где нестабильность питания может привести к браку продукции или выходу из строя дорогостоящего оборудования.

Описание продукта

LAM 853-001983-110 — это однополярный модуль питания с регулируемым выходным напряжением, разработанный для преобразования входного напряжения 200–240 В AC в стабильное выходное напряжение 24 В DC, обеспечивая высокую точность и низкий уровень помех. Модуль LAM 853-001983-110 отличается исключительной стабильностью и чистотой сигнала — коэффициент регулировки выходного напряжения ≤±0.1% при изменении входного напряжения (±10%) и нагрузки (0–100%), а уровень пульсаций (ripple) ≤5 мВ, что критично для работы чувствительных микроэлектронных компонентов (например, датчиков положения кремниевых пластин с разрешением 0.1 мкм). Благодаря компактной конструкции для монтажа в шасси LAM Equipment LAM 853-001983-110 легко интегрируется в существующие системы и совместим с другими компонентами LAM (например, контроллеры LAM 853-002000-001, модули I/O LAM 853-001850-001, системы мониторинга LAM Recipe Manager, приводы серво LAM 853-001990-002) — это упрощает сборку комплексных схем питания для оборудования обработки кремниевых пластин.

Особенно важно отметить, что LAM 853-001983-110 оснащен встроенными защитными функциями: защита от переvoltaжа (выходное напряжение ≤26.4 В DC), перегрузки (токовое ограничение 5 А), короткого замыкания (автоматическое отключение с восстановлением) и электромагнитных помех (EMC класс EN 61000-6-3). Эти защиты предотвращают повреждение не только модуля, но и подключенного оборудования — например, при коротком замыкании в кабеле модуля I/O LAM 853-001983-110 немедленно ограничивает ток, сохраняя контроллер и сенсоры от перегорания. Также LAM 853-001983-110 поддерживает режим «пассивного охлаждения» — благодаря эффективному дизайну корпуса модуль рассеивает тепло без использования вентиляторов, что устраняет риск загрязнения оборудования пылью (критически важно для чистых комнат производства полупроводников, где уровень пыли ограничен до 1 частиц/куб. фут).

Все эти особенности делают LAM 853-001983-110 надежным элементом для микроэлектронной промышленности — он гарантирует бесперебойную и стабильную подачу питания даже в условиях нестабильной сети (например, перепады напряжения в производственных цехах) и строгих требований к чистоте среды, что критично для качества производства кремниевых пластин и минимизации брака.

Параметры продукта

Производитель: LAM Research
Модель: 853-001983-110
Тип устройства: Модуль питания AC/DC для оборудования LAM (производство полупроводников)
Электрические параметры:
- Входное напряжение: 200–240 В AC (50/60 Гц), допустимое колебание ±10%
- Выходное напряжение: 24 В DC (номинальное), регулировка диапазон ±5% (22.8–25.2 В DC)
- Максимальная выходная мощность: 120 Вт (Pₘₐₓ = U × I = 24 В × 5 А)
- Максимальный выходной ток: 5 А (продолжительный), 7 А (кратковременный, ≤1 с)
- Коэффициент мощности (PF): ≥0.95 (при полной нагрузке)
- Эффективность: ≥90% (при нагрузке 50–100%)
- Уровень пульсаций (ripple): ≤5 мВ (пик-пик)
Защитные функции:
- Защита от переvoltaжа: Выходное напряжение ≤26.4 В DC
- Защита от перегрузки: Токовое ограничение 5 А (продолжительное)
- Защита от короткого замыкания: Автоматическое отключение, восстановление после устранения неисправности
- Защита от перегрева: Отключение при температуре корпуса >70 °C
- Защита от ЭМП: EMC класс EN 61000-6-3 (класс чистых комнат)
Конструктивные параметры:
- Тип монтажа: Встраиваемый в шасси LAM Equipment (размеры 100 × 60 × 30 мм)
- Тип охлаждения: Пассивное (рассеивание тепло через корпус)
- Материал корпуса: Алюминиевый сплав (для эффективного теплоотвода)
- Вес: ~250 г
Операционные параметры:
- Температурный диапазон эксплуатации: 15 °C до +45 °C (оптимум для чистых комнат)
- Уровень защиты (IP): IP40 (для корпуса модуля)
- Устойчивость к вибрации: IEC 60068-2-6 (10–500 Гц, амплитуда 0.05 мм)
Сертификации: CE, UL 61010-1, SEMI S2 (стандарт безопасности для оборудования полупроводников)

Преимущества и особенности

Высокая стабильность и низкие пульсации: Коэффициент регулировки ≤±0.1% и пульсации ≤5 мВ гарантируют чистоту сигнала — для датчиков положения кремниевых пластин это означает, что ошибка позиционирования не превышает 0.01 мкм, что критично для соответствия стандартам производства полупроводников (например, чипах 7 нм).
Пассивное охлаждение: Отсутствие вентиляторов устраняет риск загрязнения чистых комнат пылью — в отличие от модулей с активным охлаждением, LAM 853-001983-110 не выделяет частицы, поддерживая уровень чистоты класса ISO 5 (1 частица/куб. фут).
Комплексная защита: Защита от переvoltaжа, перегрузки и ЭМП предотвращает повреждение дорогостоящего оборудования LAM — например, при нестабильности входного напряжения модуль поддерживает выходное 24 В DC, не позволяя контроллеру обработки пластин выйти из строя (стоимость контроллера >$10 000).
Легкая интеграция с LAM Equipment: Стандартный дизайн для шасси LAM и автоматическое распознавание оборудованием означает, что LAM 853-001983-110 не требует сложной настройки — достаточно установить его в шасси и подключить кабели, что сокращает время обслуживания.
Соответствие стандартам SEMI S2: Сертификация SEMI S2 гарантирует безопасность работы в условиях чистых комнат — модуль не выделяет токсичных веществ и соответствует требованиям к электробезопасности для оборудования полупроводников.

Случаи применения в отраслях

Производство полупроводников: В линиях травления кремниевых пластин LAM 853-001983-110 питает контроллер LAM 853-002000-001 и датчики положения пластин. Модуль обеспечивает стабильное 24 В DC с пульсациями ≤5 мВ — это позволяет датчику позиционировать пластину с точностью 0.05 мкм, гарантируя равномерность травления микроскопических схем на поверхности (необходимо для производства чипов процессоров). При перепаде входного напряжения с 230 В AC до 200 В AC коэффициент регулировки ≤±0.1% сохраняет стабильность, не останавливая процесс.
Производство LED: В системах эпитаксии для производства светодиодов LAM 853-001983-110 питает приводы серво LAM 853-001990-002, которые управляют положением подложек для эпитаксии. Пассивное охлаждение модуля предотвращает загрязнение камеры эпитаксии пылью, а стабильное питание гарантирует скорость привода ±0.1 мм/с — это критично для равномерного нанесения эпитаксиальных слоев (толщина 1–10 мкм) и качества светодиодов.
Микроэлектронные сенсоры: В производстве гироскопов для смартфонов LAM 853-001983-110 питает микроскопические приводы, которые формируют структуру сенсора. Низкие пульсации модуля (<5 мВ) обеспечивают точность движения приводов 0.001 мм, что необходимо для создания гироскопов с чувствительностью 0.001 градуса/секунду.
Оборудование для исследования: В лабораторном оборудовании для исследования наноматериалов LAM 853-001983-110 питает спектрометры и микроскопы атомного зонда. Стабильное питание с коэффициентом регулировки ≤±0.1% гарантирует точность измерений — например, спектрометр может определять состав нанолayers с ошибкой <0.1%, что критично для научных исследований.

Сравнение с конкурентами

Сравним LAM 853-001983-110 с аналогичным модулем питания Applied Materials 0021-09345:

Параметр	LAM 853-001983-110	Applied Materials 0021-09345
Входное напряжение	200–240 В AC	100–240 В AC
Выходное напряжение	24 В DC (120 Вт, 5 А)	24 В DC (100 Вт, 4.17 А)
Коэффициент регулировки	≤±0.1%	≤±0.5%
Уровень пульсаций	≤5 мВ	≤10 мВ
Тип охлаждения	Пассивное	Активное (вентилятор)
Совместимость	LAM Equipment	Applied Materials Equipment

Как видно из таблицы, LAM 853-001983-110 имеет преимущество в плане более высокой стабильности (коэффициент ≤±0.1%), низких пульсаций (≤5 мВ), пассивного охлаждения (без риска загрязнения) и большей выходной мощности — это делает его предпочтительным для оборудования LAM и приложений с высокими требованиями к чистоте и стабильности (производство полупроводников, LED). Applied Materials модель подходит для систем этого бренда, но уступает по качеству сигнала и безопасности для чистых комнат.

Меры предосторожности

Установка: Монтируйте LAM 853-001983-110 только в шасси LAM Equipment, следуя руководству LAM — неправильное крепление может нарушить теплоотвод и привести к перегреву. Оставьте свободное пространство ≥5 мм с обеих сторон для пассивного охлаждения.
Подключение питания: Перед подключением проверьте входное напряжение — оно должно соответствовать 200–240 В AC. Используйте экранированные кабели с сечением ≥1.0 мм² для входной цепи и ≥0.75 мм² для выходной — предотвращает электромагнитные помехи и перегрев проводов.
Контроль температуры: Регулярно проверяйте температуру корпуса модуля — она не должна превышать +45 °C. При перегреве (>50 °C) отключите модуль и устраните причину (например, недостаточное пространство для охлаждения), иначе модуль может выйти из строя.
Диагностика: Используйте ПО LAM Recipe Manager для мониторинга параметров модуля (выходное напряжение, ток, температура) — при появлении аномалий (например, пульсации >5 мВ) замените модуль немедленно, не используя его в производственном процессе.
Хранение: Перед установкой храните LAM 853-001983-110 в герметичной упаковке с поглощающим влагой, при температуре 10 °C до +30 °C. Не храните вблизи агрессивных химикатов (кислоты, щёлы) или магнитных полей — это может повредить электронику и защитные покрытия.

853-001983-110