Описание
Обзор продукта: LAM 710-733247-003
Технические параметры LAM 710-733247-003
- Функции управления и интерфейсы:
- LAM 710-733247-003 оснащены специализированными каналами для управления технологическими процессами:
- Аналоговые входы (AI): 8 каналов, 16-битное разрешение, сигналы 0–10 В DC или 4–20 мА DC — для измерения давления в камере, температуры нагревателей, концентрации газов (точность ±0,02% от полного диапазона ПД);
- Аналоговые выходы (AO): 4 канала, 16-битное разрешение, сигналы 4–20 мА DC — для регулирования скорости подачи газов, мощности источников плазмы, температуры подложек (максимальный ток 20 мА);
- Коммуникация: промышленный Ethernet (Profinet IRT) для связи с контроллером LAM’s FactoryWorks и локальной панелью оператора — поддерживает передачу данных в реальном времени (задержка ≤1 мс) и дистанционную диагностику;
- Поддержка протоколов: 专有 протокол LAM TCP/IP для интеграции с оборудованием LAM, Modbus TCP для связи с системами мониторинга.
- LAM 710-733247-003 оснащены специализированными каналами для управления технологическими процессами:
- Защита и условия эксплуатации:
- Конструкция: герметичный корпус из алюминия с анодированным покрытием — соответствует требованиям чистовых помещений класса ISO 14644-1 Class 5 (≤100 частиц/м³ размером ≥0,5 мкм);
- Защита от помех: фильтрация электромагнитных помех по стандартам SEMI F47, защита от статического разряда (25 кВ) — критически важно для работы с чувствительным полупроводниковым оборудованием;
- galvanische изоляция: между каналами, между каналами и шиной питания — 2000 В AC/1 мин — предотвращает искажения сигналов от высоковольтных компонентов (например, источников плазмы).
- Эксплуатационные характеристики:
- Питание: 24 В DC (диапазон 22–26 В DC), потребляемая мощность ≤15 Вт — стабильная работа при небольших колебаниях напряжения;
- Монтаж: в стандартное шасси LAM’s Control Rack (ширина 3 модуля = 54 мм), габариты: 108 × 45 × 200 мм (длина × ширина × толщина);
- Совместимость: с оборудованием LAM Research (например, LAM 9600 ICP Etch, LAM 8100 PVD), ПО LAM FactoryWorks v8.0+;
- Рабочая температура: 18 °C до +25 °C (оптимум для чистовых помещений), относительная влажность: 30%–50% (без конденсации), степень защиты IP20.
Преимущества и особенности LAM 710-733247-003
- Оптимизация для технологических процессов полупроводников:
LAM 710-733247-003 специализируется на управлении параметрами, критическими для полупроводников (давление в камере ±0,01 Торр, температура подложки ±0,1 °C), что невозможно для универсальных контроллеров. Он поддерживает специфические алгоритмы LAM (например, адаптивное регулирование плазмы для равномерного травления) и интегрируется с сенсорами газового анализа (RGA) или системами контроля толщины пленок, обеспечивая соответствие технологическим требованиям SEMI.
- Совместимость с чистыми помещениями и безопасностью:
Герметичный корпус и материалы, не выделяющие частиц, делают LAM 710-733247-003 подходящим для чистовых помещений Class 5 — предотвращает загрязнение технологических процессов, что критично для производства микросхем с размером узла ≤7 нм. Защита от статического разряда (25 кВ) предотвращает повреждение чувствительных полупроводниковых структур во время обработки.
- Детальная диагностика и управление качеством:
Модуль поддерживает сбор данных о всех технологических параметрах (с частотой выборки 1 кГц) и отправку их в систему LAM FactoryWorks для анализа и отчетности. Встроенная диагностика обнаруживает дефекты на ранних стадиях (например, снижение точности датчика давления) и отправляет предупреждения, позволяя операторам устранить проблему до появления брака продукции.
Примеры применения LAM 710-733247-003
- Микроэлектронная промышленность: Завод по травлению полупроводников:
На заводе по производству микросхем LAM 710-733247-003 управляет оборудованием LAM 9600 ICP Etch (ионно-магнитронным травлением). Модуль регулирует параметры плазмы (мощность 100–1000 Вт через 4–20 мА сигнал), скорость подачи газов CF4/O2 (через аналоговые выходы) и давление в камере (измеряется через аналоговые входы с точностью ±0,01 Торр). При отклонении параметров от заданных (например, повышение температуры нагревателя) модуль быстро корректирует команды, поддерживая равномерность травления пленки на подложке. Детали реализаций можно посмотреть по ссылке на LAM 710-733247-003 (здесь будет ваша предоставленная ссылка).
- Лаборатория микроэлектроники: Разработка новых технологий напыления:
В исследовательской лаборатории LAM 710-733247-003 используется с оборудованием LAM 8100 PVD (физическое напыление из паров) для оптимизации процесса напыления металлических пленок. Модуль собирает данные о толщине пленки (через внешний сенсор) и корректирует скорость вращения подложки (через аналоговый выход), обеспечивая толщину пленки с разбросом ≤0,5% — критически важно для разработки высокопроизводительных микросхем.
Сравнение с конкурентами и рекомендации по выбору
| Параметр сравнения | LAM 710-733247-003 | Applied Materials 300mm Control Module | Tokyo Electron TEL CM-1000 |
|---|---|---|---|
| Специализация | Травление, ионная имплантация (LAM оборудование) | Напыление, травление (AMAT) | Кристаллизация, травление (TEL) |
| Точность AI/AO | ±0,02% ПД / ±0,02% ПД | ±0,03% ПД / ±0,03% ПД | ±0,02% ПД / ±0,02% ПД |
| Поддержка чистовых помещений | Class 5 | Class 5 | Class 5 |
| Совместимость | Только LAM Research оборудование | Только Applied Materials | Только Tokyo Electron |
- Выбирайте LAM 710-733247-003 если вы используете оборудование LAM Research для обработки полупроводников и нуждаетесь в контроллере с высокой точностью регулирования технологических параметров — он идеально подходит для производства микросхем и исследования новых технологий.
- Для оборудования других брендов (Applied Materials, Tokyo Electron) выбирайте специализированные модули соответствующего производителя, так как LAM 710-733247-003 не поддерживает интеграцию с не-LAM оборудованием.
- Перед покупкой подтвердите совместимость с вашей моделью LAM’s оборудования (например, LAM 9600, LAM 8100) и требуемыми технологическими параметрами (давление, температура, мощность), а также изучите детальные спецификации по ссылке на LAM 710-733247-003 (здесь будет ваша предоставленная ссылка).
Важные примечания при использовании LAM 710-733247-003
- Калибровка для технологических параметров:
Калибруйте модуль не реже 1 раза в месяц с использованием эталонного оборудования LAM (например, эталонный манометр, термометр) — это поддерживает точность на уровне ±0,02% ПД, критическую для соответствия технологическим нормам SEMI. Калибровку выполняйте только квалифицированным персоналом LAM или авторизованными партнерами.
- Ограничения по эксплуатационным условиям:
Удерживайте строго заданные условия чистового помещения (температура 18–25 °C, влажность 30–50%) — отклонения могут привести к изменению параметров модуля или загрязнению корпуса, что влияет на качество технологических процессов. Не используйте модуль в условиях с колебаниями температуры >±2 °C в час.
- Обновление прошивки и ПО:
Обновляйте прошивку модуля и ПО LAM FactoryWorks только до версий, рекомендованных LAM Research — неавторизованные обновления могут привести к несовместимости с оборудованием или потере точности регулирования. Перед обновлением создайте резервную копию конфигурации технологических параметров.
- v
