Описание
Обзор продукта: LAM 713-000863-005
Технические параметры LAM 713-000863-005
- Коммуникационные интерфейсы и протоколы:
- LAM 713-000863-005 оснащён универсальными интерфейсами для интеграции с различными системами:
- Основные интерфейсы: промышленный Ethernet (Profinet IRT, 1000 Mbps) для связи с контроллером LAM’s FactoryWorks и локальной панелью оператора; RS-485 (Modbus RTU) для связи с сенсорами на оборудовании (давление, температура);
- Поддерживаемые протоколы: 专有 протокол LAM TCP/IP (для передачи технологических данных в реальном времени), Modbus TCP (для интеграции с системами мониторинга OEE — Overall Equipment Efficiency), SEMI E10 (для стандартизированного обмена данными о состоянии оборудования);
- Задержка передачи: ≤1 мс (для критических технологических параметров, например, мощность плазмы); количество одновременных соединений: до 8 (4 с FactoryWorks, 2 с сенсорами, 2 с внешними системами).
- LAM 713-000863-005 оснащён универсальными интерфейсами для интеграции с различными системами:
- Защита и условия эксплуатации:
- Конструкция: герметичный корпус из алюминия с антистатическим покрытием — соответствует требованиям чистовых помещений класса ISO 14644-1 Class 5 (≤100 частиц/м³ размером ≥0,5 мкм);
- Защита от помех: фильтрация электромагнитных помех по стандартам SEMI F47, защита от статического разряда (25 кВ) — предотвращает искажения данных от высоковольтных компонентов оборудования (например, источников плазмы);
- galvanische изоляция: между Ethernet/RS-485 интерфейсами и шиной питания — 2000 В AC/1 мин — обеспечивает электробезопасность и стабильность передачи.
- Эксплуатационные характеристики:
- Питание: 24 В DC (диапазон 22–26 В DC), потребляемая мощность ≤12 Вт — стабильная работа при небольших колебаниях напряжения;
- Монтаж: в стандартное шасси LAM’s Control Rack (ширина 2 модуля = 36 мм), габариты: 72 × 45 × 180 мм (длина × ширина × толщина);
- Совместимость: с оборудованием LAM Research (например, LAM 9600 ICP Etch, LAM 8100 PVD), ПО LAM FactoryWorks v9.0+;
- Рабочая температура: 18 °C до +25 °C (оптимум для чистовых помещений), относительная влажность: 30%–50% (без конденсации), степень защиты IP20.
Преимущества и особенности LAM 713-000863-005
- Низкая задержка и безопасность передачи технологических данных:
LAM 713-000863-005 обеспечивает передачу критических параметров (например, давление в камере, мощность плазмы) с задержкой ≤1 мс — это критично для реального контроля процессов, где даже небольшая задержка может привести к браку продукции (например, неравномерное травление пленки). Защита от статического разряда и galvanische изоляция предотвращают потерю или искажение данных, что важно для соответствия технологическим нормам SEMI.
- Интеграция с LAM’s экосистемой и стандартизированными протоколами:
Модуль полностью совместим с ПО LAM FactoryWorks — позволяет собирать данные о производительности оборудования (OEE), анализировать тренды технологических параметров и генерировать отчёты по требованиям заказчиков. Поддержка протоколов SEMI E10 и Modbus TCP также позволяет интегрировать данные в внешние системы управления производством (MES), что удобно для заводов с много брендов оборудования.
- Адаптация к чистовым помещениям и долговечность:
Герметичный корпус и антистатическое покрытие делают LAM 713-000863-005 подходящим для чистовых помещений Class 5 — предотвращает попадание пыли или частиц в модуль, а также исключает образование статического заряда, который может повредить чувствительное полупроводниковое оборудование. Материалы корпуса обеспечивают долговечность работы в условиях круглосуточной эксплуатации (MTBF — Mean Time Between Failures ≥50 000 часов).
Примеры применения LAM 713-000863-005
- Микроэлектронная промышленность: Завод по производству микросхем:
На заводе с оборудованием LAM 9600 ICP Etch LAM 713-000863-005 обеспечивает связь между 5 травильными камерами и системой LAM FactoryWorks. Модуль передаёт данные о параметрах каждого процесса (мощность плазмы 500–1000 Вт, скорость подачи газов CF4 10–50 sccm) с задержкой ≤1 мс, позволяя операторам в реальном времени корректировать параметры при отклонении. Также через Modbus TCP данные передаются в MES-систему для отслеживания OEE и планирования технического обслуживания. Детали реализаций можно посмотреть по ссылке на LAM 713-000863-005 (здесь будет ваша предоставленная ссылка).
- Лаборатория микроэлектроники: Разработка новых технологий:
В исследовательской лаборатории с оборудованием LAM 8100 PVD LAM 713-000863-005 собирает данные о процессе напыления металлических пленок (температура подложки, давление в камере) и передаёт их в локальный сервер для анализа. Низкая задержка передачи позволяет учёным точно синхронизировать параметры процесса с результатами измерений толщины пленки, ускоряя разработку новых технологий для микросхем следующего поколения.
Сравнение с конкурентами и рекомендации по выбору
| Параметр сравнения | LAM 713-000863-005 | Applied Materials 300mm Comm Module | Tokyo Electron TEL CM-2000 |
|---|---|---|---|
| Задержка передачи | ≤1 мс | ≤2 мс | ≤1,5 мс |
| Поддерживаемые протоколы | LAM TCP/IP, Modbus TCP, SEMI E10 | AMAT TCP/IP, Modbus TCP, SEMI E10 | TEL TCP/IP, Modbus TCP, SEMI E10 |
| Совместимость | Только LAM Research оборудование | Только Applied Materials | Только Tokyo Electron |
| MTBF | ≥50 000 часов | ≥45 000 часов | ≥48 000 часов |
- Выбирайте LAM 713-000863-005 если вы используете оборудование LAM Research и нуждаетесь в надежной, низкозадержкой передаче технологических данных — он идеально подходит для производства микросхем и исследования новых технологий, где точность и скорость передачи критически важны.
- Для оборудования других брендов (Applied Materials, Tokyo Electron) выбирайте специализированные коммуникационные модули соответствующего производителя, так как LAM 713-000863-005 не поддерживает интеграцию с не-LAM оборудованием.
- Перед покупкой подтвердите совместимость с вашей моделью LAM’s оборудования (например, LAM 9600, LAM 8100) и версией ПО FactoryWorks, а также изучите детальные спецификации по ссылке на LAM 713-000863-005 (здесь будет ваша предоставленная ссылка).
Важные примечания при использовании LAM 713-000863-005
- Настройка протоколов и сети:
При конфигурации модуля через ПО LAM FactoryWorks обязательно задайте уникальные IP-адреса для каждого модуля (при использовании нескольких устройств) и настройте параметры Profinet IRT (скорость передачи 1000 Mbps) — несоответствие параметров может привести к увеличению задержки или потере связи. Для внешних соединений (MES) используйте только авторизованные порты Modbus TCP, чтобы предотвратить несанкционированный доступ.
- Уход за корпусом в чистом помещении:
Регулярно очищайте корпус модуля мягкой антистатической тканью (без химических средств) — это предотвращает накопление частиц и статического заряда. Не разбирайте модуль самостоятельно — ремонт должен выполняться только квалифицированным персоналом LAM Research, так как нарушение герметичности может привести к загрязнению и выходу из строя.
- Обновление прошивки:
Обновляйте прошивку модуля только до версий, рекомендованных LAM Research — неавторизованные обновления могут привести к несовместимости с оборудованием или потере поддержки критических протоколов. Перед обновлением создайте резервную копию конфигурации сети и параметров передачи.
- 713-000863-005
