Описание
Обзор продукта: LAM 715-011985-106B
Технические параметры LAM 715-011985-106B
- Характеристики аналоговых входов:
- LAM 715-011985-106B оснащён 6 независимыми каналами для специализированных сигналов:
- Поддерживаемые сигналы: 4–20 мА DC (для датчиков давления, температуры, массовых расходомеров газов) и 0–10 В DC (для сенсоров концентрации газов) — точность ±0,01% от полного диапазона (ПД) при 25 °C;
- Дополнительная поддержка: сигналы от высокоточных сопротивных датчиков Pt1000 (для измерения температуры подложек) — точность ±0,05 °C в диапазоне 0–150 °C;
- Разрешение: 24 бит, частота выборки: 1 кГц на канал — позволяет регистрировать быстрые колебания параметров (например, всплески давления при запуске плазмы).
- LAM 715-011985-106B оснащён 6 независимыми каналами для специализированных сигналов:
- Защита и условия эксплуатации:
- Конструкция: герметичный корпус из алюминия с антистатическим покрытием — соответствует требованиям чистовых помещений класса ISO 14644-1 Class 5 (≤100 частиц/м³ размером ≥0,5 мкм);
- Защита от помех: фильтрация электромагнитных помех по стандартам SEMI F47, защита от статического разряда (25 кВ) — предотвращает искажения сигналов от высоковольтных компонентов (например, источников плазмы);
- galvanische изоляция: между каналами, между каналами и шиной питания — 2000 В AC/1 мин — обеспечивает электробезопасность и стабильность измерений.
- Эксплуатационные характеристики:
- Питание: 24 В DC (диапазон 22–26 В DC), потребляемая мощность ≤10 Вт — стабильная работа при небольших колебаниях напряжения;
- Монтаж: в стандартное шасси LAM’s Control Rack (ширина 2 модуля = 36 мм), габариты: 72 × 45 × 190 мм (длина × ширина × толщина);
- Совместимость: с оборудованием LAM Research (например, LAM 9600 ICP Etch, LAM 8100 PVD), ПО LAM FactoryWorks v9.0+;
- Рабочая температура: 18 °C до +25 °C (оптимум для чистовых помещений), относительная влажность: 30%–50% (без конденсации), степень защиты IP20.
Преимущества и особенности LAM 715-011985-106B
- Высокая точность для критических технологических параметров:
LAM 715-011985-106B обеспечивает измерение параметров с точностью ±0,01% ПД — например, давление в травильной камере контролируется с ошибкой ≤0,001 Торр, а температура подложки — ≤0,05 °C. Это критично для производства микросхем с размером узла ≤7 нм, где даже минимальное отклонение параметров может привести к браку продукции или снижению производительности микросхем.
- Адаптация к чистовым помещениям и безопасность:
Герметичный корпус и антистатическое покрытие делают LAM 715-011985-106B безопасным для использования в чистовых помещениях Class 5 — предотвращает попадание пыли или частиц в модуль, а также исключает образование статического заряда, который может повредить чувствительные полупроводниковые структуры. Защита от высоковольтных помех гарантирует стабильность измерений даже при работе рядом с источниками плазмы.
- Интеграция с LAM’s экосистемой и диагностика:
Модуль полностью совместим с ПО LAM FactoryWorks — позволяет автоматически собирать, архивировать и анализировать данные всех 6 каналов. Встроенная диагностика обнаруживает дефекты датчиков или искажения сигналов на ранних стадиях (например, снижение точности манометра) и отправляет предупреждения операторам, позволяя устранить проблему до остановки производственного процесса.
Примеры применения LAM 715-011985-106B
- Микроэлектронная промышленность: Завод по травлению полупроводников:
На заводе с оборудованием LAM 9600 ICP Etch LAM 715-011985-106B собирает данные о 6 ключевых параметрах травильного процесса: давление в камере (4–20 мА), температура нагревателя (Pt1000), скорость подачи газов CF4/O2 (два канала 4–20 мА), концентрация продуктов реакции (0–10 В) и температура плазмы (4–20 мА). Данные передаются в LAM FactoryWorks с частотой 1 кГц, позволяя операторам в реальном времени корректировать параметры и поддерживать равномерность травления пленки на подложках. Детали реализаций можно посмотреть по ссылке на LAM 715-011985-106B (здесь будет ваша предоставленная ссылка).
- Лаборатория микроэлектроники: Разработка новых технологий напыления:
В исследовательской лаборатории с оборудованием LAM 8100 PVD LAM 715-011985-106B измеряет температуру подложки (Pt1000), давление в камере и скорость подачи металлических паров. Высокая точность измерений позволяет учёным точно синхронизировать эти параметры с толщиной напыляемой пленки, ускоряя разработку новых технологий для высокопроизводительных микросхем.
Сравнение с конкурентами и рекомендации по выбору
| Параметр сравнения | LAM 715-011985-106B | Applied Materials 300mm AI Module | Tokyo Electron TEL CM-3000 |
|---|---|---|---|
| Точность измерений | ±0,01% ПД / ±0,05 °C | ±0,02% ПД / ±0,1 °C | ±0,015% ПД / ±0,08 °C |
| Количество каналов | 6 | 4 | 5 |
| Совместимость | Только LAM Research оборудование | Только Applied Materials | Только Tokyo Electron |
| Поддержка Pt1000 | Да | Да | Да |
- Выбирайте LAM 715-011985-106B если вы используете оборудование LAM Research и нуждаетесь в высокоточном модуле для сбора критических технологических параметров — он идеально подходит для производства микросхем и исследования новых технологий, где точность измерений напрямую влияет на качество продукции.
- Для оборудования других брендов (Applied Materials, Tokyo Electron) выбирайте специализированные аналоговые модули соответствующего производителя, так как LAM 715-011985-106B не поддерживает интеграцию с не-LAM оборудованием.
- Перед покупкой подтвердите совместимость с вашей моделью LAM’s оборудования (например, LAM 9600, LAM 8100) и типами используемых датчиков (манометры, термопары, расходомеры), а также изучите детальные спецификации по ссылке на LAM 715-011985-106B (здесь будет ваша предоставленная ссылка).
Важные примечания при использовании LAM 715-011985-106B
- Калибровка с LAM- эталонными устройствами:
Калибруйте модуль не реже 1 раза в месяц с использованием эталонного оборудования LAM Research (например, эталонный манометр, термометр Pt1000) — это поддерживает точность измерений на уровне ±0,01% ПД. Калибровку выполняйте только квалифицированным персоналом LAM или авторизованными партнерами, чтобы не нарушить заводские настройки.
- Ограничения по эксплуатационным условиям:
Удерживайте строго заданные условия чистового помещения (температура 18–25 °C, влажность 30–50%) — отклонения могут привести к изменению параметров модуля или искажению измерений. Не эксплуатируйте модуль в условиях с колебаниями температуры >±2 °C в час.
- Обновление прошивки:
Обновляйте прошивку модуля только до версий, рекомендованных LAM Research — неавторизованные обновления могут привести к несовместимости с оборудованием или потере точности. Перед обновлением создайте резервную копию конфигурации каналов и параметров калибровки.
- 715-011985-106B
