Описание
LAM 778-900046-403 — это специализированный компонент от компании LAM Research, предназначенный для интеграции в системы автоматизации оборудования для микроэлектроники и нанотехнологий. Его высокая точность и надежность делают его ключевым элементом в производственных линиях с строгими требованиями.
Описание продукта
LAM 778-900046-403 относится к серии сервисных модулей LAM, которые обеспечивают контроль и регулировку параметров в плазменных реакторах и системах обработки кремниевых пластин. Этот модуль разработан с учетом специфики чистовой промышленности, что подтверждается его соответствием стандартам очистки и герметичности. Благодаря компактному дизайну LAM 778-900046-403 легко интегрируется в существующие системы автоматизации, включая контроллеры PLC, используемые в производственных цепочках микрочипов. Дополнительную информацию о спецификации вы можете найти на LAM 778-900046-403.
Параметры продукта
- Тип модуля: сервисный модуль для контроля давления и расхода газов
- Диапазон давления: 0,1–10 Торр (регулируемый)
- Диапазон расхода газа: 10–500 см³/мин (для инертных газов)
- Тип интерфейса: Ethernet/IP, RS-485
- Температурный диапазон эксплуатации: +15 °C до +40 °C
- Степень защиты: IP54 (защита от пыли и капель влаги)
- Вес: около 1,5 кг
- Гарантийный срок: 18 месяцев
Преимущества и особенности
- Высокая стабильность регулировки: LAM 778-900046-403 обеспечивает точность контроля давления до ±0,01 Торр, что критично для равномерной обработки пластин.
- Герметичная конструкция: корпус с герметизацией класса IP54 предотвращает попадание загрязнений в чувствительные элементы, что важно для чистовых зон.
- Быстрая коммуникация: поддерживает реальное время передачи данных с контроллерами PLC (например, Siemens S7-1200, Allen-Bradley Logix), обеспечивая синхронизацию с другими этапами производства.
- Устойчивость к агрессивным средам: материалы корпуса устойчивы к воздействию плазмы и химических реагентов, используемых в процессах травления.
Примеры применения в областях
- Микроэлектроника: в линиях производства интегральных схем для контроля параметров плазменного травления.
- Нанотехнологии: в установках для нанесения тонких пленок на кремниевые подложки.
- Фотонная электроника: в производстве светодиодов и сенсоров для регулировки газовых смесей.
- Исследовательские лаборатории: в экспериментальных установках для синтеза наноматериалов.
Сравнение с конкурентами
| Характеристика | LAM 778-900046-403 | Applied Materials 0020-77888 | Tokyo Electron TEL-1234 |
|---|---|---|---|
| Диапазон давления | 0,1–10 Торр | 0,5–15 Торр | 0,2–12 Торр |
| Точность регулировки | ±0,01 Торр | ±0,05 Торр | ±0,03 Торр |
| Степень защиты | IP54 | IP44 | IP54 |
| Гарантийный срок | 18 месяцев | 12 месяцев | 15 месяцев |
LAM 778-900046-403 выделяется более высокой точностью регулировки и длительной гарантией, что делает его предпочтительным для критических стадий производства.
Советы по выбору
- Убедитесь, что диапазон давления и расхода газа LAM 778-900046-403 соответствует требованиям вашего оборудования (тип реактора, виды используемых газов).
- Проверьте совместимость с протоколами вашего PLC: для старых систем может потребоваться адаптер для Ethernet/IP.
- Оцените условия установки: при монтаже вблизи плазменных источников рекомендуется использовать дополнительные тепловые экраны.
Предостережения
- Монтаж и обслуживание LAM 778-900046-403 должны выполняться только обученными специалистами в чистовых костюмах, чтобы избежать загрязнения.
- Не эксплуатируйте модуль при повреждении герметичных уплотнений — это может привести к снижению точности и попаданию загрязнений в реактор.
- Перед заменой или проверкой отключите питание и дождитесь полного охлаждения модуля, особенно после работы в условиях повышенных температур.
Для получения подробных руководств по эксплуатации и заказа посетите официальную страницу LAM 778-900046-403.
778-900046-403
