Описание
LAM 796-194102-001 — это высокоточный компонент для систем семiconductоров от компании LAM Research, специализирующейся на оборудовании для производства микросхем. Он предназначен для интеграции в процессорные установки и обеспечивает стабильность ключевых технологических операций в микроэлектронной промышленности, где требуется максимальная точность и надежность.
Описание продукта
LAM 796-194102-001 относится к серии запчастей для плазменных реакторов LAM, что гарантирует ему полную совместимость с оборудованием модели Kiyo™ или Versys™. Этот компонент представляет собой управляющий модуль для регулировки плазменного поля, что критично для процессов травления и осаждения тонких слоев в производстве микросхем. Благодаря высокоточной электронике и материалу с повышенной термостойкостью LAM 796-194102-001 стабильно работает в агрессивных условиях плазменных камер (высокая температура, химические реагенты), что обеспечивает длительный срок службы без потери качества. Дополнительную информацию о спецификации вы можете найти на LAM 796-194102-001.
Параметры продукта
- Тип компонента: Управляющий модуль для плазменного реактора
- Применение: Регуляция плазменного поля в процессах травления (etching) и осаждения (deposition)
- Максимальная температура эксплуатации: +150 °C
- Входное напряжение: 24 В постоянного тока
- Выходной сигнал: 0–10 В (регулируемый)
- Степень защиты: IP65 (для работы в условиях пыли и влаги)
- Материал корпуса: титановый сплав (с антикоррозийной обработкой)
- Габариты: 85 мм × 60 мм × 30 мм
- Вес: около 250 г
- Гарантийный срок: 1 год
Преимущества и особенности
- Высокая точность регулировки: LAM 796-194102-001 обеспечивает стабильность плазменного поля с погрешностью не более ±0,1%, что критично для производства микросхем с мелким размерами транзисторов (ниже 7 нм). Это предотвращает дефекты и повышает выход годных изделий.
- Термостойкость: Материал корпуса и электроника модуля выдерживают температуры до +150 °C, что позволяет использовать LAM 796-194102-001 вблизи нагретых зон плазменных реакторов без потери функциональности.
- Проверенная совместимость: Компонент полностью соответствует стандартам LAM Research, что исключает необходимость доработок при установке в существующие линии производства. Это сокращает время простоя оборудования при замене запчастей.
- Защита от внешних факторов: Степень защиты IP65 защищает модуль от пыли, паров и химических испарений, характерных для микроэлектронных чистых зон, что увеличивает интервал между техническим обслуживанием.
Примеры применения в областях
- Микроэлектроника: в производстве логических микросхем (CPU, GPU) для регулировки плазменного травления слоев кремния и диоксида кремния.
- Производство памяти: в линиях изготовления NAND и DRAM для точного формирования ячеек памяти через осаждение металлических слоев.
- Фотоэлектроника: в производстве солнечных панелей для создания тонких слоев с высоким светопоглощением.
- Нанотехнологии: в исследовательских лабораториях для синтеза наноматериалов с контролируемой структурой.
Сравнение с конкурентами
| Характеристика | LAM 796-194102-001 | Applied Materials 0020-37478 | Tokyo Electron 4020-00215 |
|---|---|---|---|
| Погрешность регулировки | ±0,1% | ±0,3% | ±0,2% |
| Максимальная температура | +150 °C | +120 °C | +130 °C |
| Степень защиты | IP65 | IP54 | IP64 |
| Гарантийный срок | 1 год | 6 месяцев | 1 год |
LAM 796-194102-001 выделяется более высокой точностью регулировки и термостойкостью, что делает его предпочтительным для самых требовательных процессов в микроэлектронной промышленности.
Советы по выбору
- Убедитесь, что LAM 796-194102-001 совместим с вашим оборудованием LAM: он оптимизирован для моделей Kiyo™ и Versys™, для других линий рекомендуется проверка через сервисный центр LAM Research.
- Оцените условия эксплуатации: при работе с агрессивными химическими реагентами (например, фторсодержащими газами) убедитесь, что корпус модуля прошел дополнительную антикоррозийную обработку.
- Проверьте сертификаты: Компонент должен соответствовать стандартам SEMI S2 (безопасность в микроэлектронной промышленности) для использования в чистых зонах класса ISO 5.
Предостережения
- Установку LAM 796-194102-001 должен проводить сертифицированный техник LAM Research, чтобы избежать нарушения калибровки плазменного реактора.
- Перед заменой модуля полностью отключите питание установки и дождитесь остывания камеры до температуры ниже +40 °C, чтобы предотвратить тепловое повреждение.
- После установки проведите тестовую технологическую сессию с контролем параметров плазмы, чтобы убедиться в правильной работе компонента.
Для получения подробных руководств по установке и заказа посетите официальную страницу LAM 796-194102-001.
796-194102-001
