Описание
LAM 796-199414-002 — это высокоточный сенсорный модуль от компании LAM Research, разработанный для контроля параметров в плазменных реакторах, используемых в производстве микросхем и наноматериалов. Он играет ключевую роль в обеспечении стабильности технологических процессов, что критично для получения качественных изделий в микроэлектронной промышленности.
Описание продукта
LAM 796-199414-002 относится к серии сенсорных компонентов LAM, специально разработанных для интеграции в оборудование модели Versys™ и Sabre™. Этот модуль предназначен для измерения температуры и плотности плазмы в реальном времени, что позволяет операторам и автоматизированным системам корректировать параметры процессов травления и осаждения тонких слоев. Благодаря герметичному корпусу и материалу с повышенной стойкостью к химическим реагентам LAM 796-199414-002 стабильно работает в агрессивных условиях плазменных камер (высокая температура, коррозионные газы). Дополнительную информацию о спецификации вы можете найти на LAM 796-199414-002.
Параметры продукта
- Тип устройства: сенсорный модуль для контроля плазмы (температура + плотность)
- Диапазон измерения температуры: 200 °C – 1200 °C
- Погрешность температуры: ±2 °C
- Диапазон измерения плотности плазмы: 1×10¹⁰ – 1×10¹³ ион/см³
- Погрешность плотности: ±5%
- Тип сигнала: аналоговый (4–20 мА) для температуры, цифровой (RS-485) для плотности
- Питание: 24 В постоянного тока (18 В – 30 В)
- Степень защиты: IP67 ( Герметичность против пыли и временного погружения)
- Материал корпуса: нитрид кремния с защитным покрытием
- Габариты: 55 мм × 40 мм × 25 мм
- Вес: около 180 г
- Гарантийный срок: 1 год
Преимущества и особенности
- Высокая точность измерений: LAM 796-199414-002 обеспечивает минимальную погрешность температуры (±2 °C) и плотности плазмы (±5%), что критично для производства микросхем с мелким размерами транзисторов (3 нм и ниже). Это предотвращает дефекты и повышает выход годных изделий.
- Коррозионная стойкость: Материал корпуса (нитрид кремния) и защитное покрытие позволяют модулю выдерживать воздействие агрессивных газов (например, SF₆, Cl₂), используемых в плазменных процессах, что увеличивает срок службы до 10 000 часов непрерывной работы.
- Интеграция с системами автоматизации: Поддержка стандартных протоколов (4–20 мА, RS-485) позволяет легко подключить LAM 796-199414-002 к контроллерам PLC (например, Siemens S7-1200, Allen-Bradley Micro800) и промышленным ПЛК, обеспечивая реальное время корректировки технологий.
- Быстрая отклик: Время отклика сенсора на изменения параметров составляет менее 10 мс, что важно для динамичных процессов в плазме, где задержки могут привести к неравномерности слоев.
Примеры применения в областях
- Микроэлектроника: в производстве логических микросхем (например, процессоров Intel, AMD) для контроля температуры при травлении кремниевых пластин.
- Производство памяти: в линиях изготовления 3D NAND для регулировки плотности плазмы при формировании многослойных структур.
- Фотоэлектроника: в производстве тонкопленочных солнечных панелей для контроля осаждения полупроводниковых слоев.
- Нанотехнологии: в исследовательских лабораториях для синтеза нанотрубок и квантовых точек с контролируемой структурой.
Сравнение с конкурентами
| Характеристика | LAM 796-199414-002 | Applied Materials 0020-45679 | Tokyo Electron 4020-00567 |
|---|---|---|---|
| Диапазон температуры | 200–1200 °C | 150–1000 °C | 200–1100 °C |
| Погрешность плотности плазмы | ±5% | ±8% | ±6% |
| Срок службы (на прогнозе) | 10 000 ч | 8 000 ч | 9 000 ч |
| Гарантийный срок | 1 год | 6 месяцев | 1 год |
LAM 796-199414-002 выделяется более широким диапазоном измерения температуры, высокой точностью плотности плазмы и длительным сроком службы, что делает его предпочтительным для самых требовательных технологий в микроэлектронной промышленности.
Советы по выбору
- Убедитесь, что LAM 796-199414-002 совместим с вашим оборудованием LAM: он оптимизирован для моделей Versys™ и Sabre™, для других линий рекомендуется консультация с сервисным центром LAM Research.
- Оцените условия эксплуатации: при работе с особенно агрессивными газами (например, фторсодержащими) убедитесь, что модуль прошел дополнительную антикоррозийную обработку.
- Проверьте сертификаты: Компонент должен соответствовать стандартам SEMI F47 (защита от электростатики) и SEMI S2 (безопасность в чистых зонах) для использования в условиях класса ISO 3.
Предостережения
- Установку LAM 796-199414-002 должен проводить сертифицированный техник LAM Research, чтобы избежать нарушения герметичности плазменной камеры и потери точности.
- Перед монтажом модуля убедитесь, что камера полностью остыла и продувана инертным газом (аргоном), чтобы предотвратить коррозию контактов.
- Регулярно калибруйте сенсор через специализированное ПО LAM (рекомендуется раз в 500 часов работы), чтобы сохранить заявленную погрешность измерений.
Для получения подробных руководств по эксплуатации и заказа посетите официальную страницу LAM 796-199414-002.
796-199414-002
