Описание
LAM 797-800733-001 — это высокопроизводительный модуль управления газовыми потоками от компании LAM Research, разработанный для плазменных реакторов в микроэлектронной промышленности. Он играет ключевую роль в регулировке расходов реактивных газов (например, фторсодержащих, хлорсодержащих), что критично для стабильности процессов травления и осаждения тонких слоев в производстве микросхем.
Описание продукта
LAM 797-800733-001 относится к серии газовых модулей LAM, специально адаптированных для оборудования модели Flex™ и Sym3™. Этот модуль сочетает в себе высокоточные массные расходомеры и электромагнитные клапаны, обеспечивая точное регулирование газовых потоков с минимальными колебаниями. Благодаря герметичному дизайну и материалам с повышенной коррозионной стойкостью LAM 797-800733-001 стабильно работает в агрессивных условиях (высокое давление, реактивные газы), что гарантирует длительный срок службы без потери качества. Дополнительную информацию о спецификации вы можете найти на LAM 797-800733-001.
Параметры продукта
- Тип устройства: модуль управления газовыми потоками (массный расходомер + клапан)
- Поддерживаемые газы: инертные (Ar, N₂), реактивные (SF₆, Cl₂, O₂, CF₄)
- Диапазон регулировки расхода: 1–500 ссм³/мин (стандартный объемный расход при нормальных условиях)
- Погрешность расхода: ±0,5% от установленного значения
- Тип клапана: электромагнитный, нормально закрытый (NC)
- Время отклика клапана: ≤10 мс
- Питание: 24 В постоянного тока (19,2–28,8 В)
- Сетевой интерфейс: Ethernet/IP для связи с контроллерами
- Степень защиты: IP66 (защита от пыли и сильных водных потоков)
- Материал контактных частей: никель, тефлон
- Габариты: 120 мм × 80 мм × 60 мм
- Вес: около 500 г
- Гарантийный срок: 1 год
Преимущества и особенности
- Высокая точность регулировки: LAM 797-800733-001 обеспечивает погрешность расхода не более ±0,5%, что критично для производства микросхем с мелкими размерами структур (до 2 нм). Это предотвращает неравномерности в слоях и повышает выход годных изделий.
- Коррозионная стойкость: Материалы контактных частей (никель, тефлон) выдерживают воздействие агрессивных газов, что увеличивает интервал между заменами модуля до 15 000 часов непрерывной работы.
- Интеграция с системами автоматизации: Поддержка протокола Ethernet/IP позволяет легко интегрировать LAM 797-800733-001 с контроллерами PLC (например, Siemens S7-1500, Allen-Bradley ControlLogix) и системами SCADA, обеспечивая реальное время мониторинга и корректировки.
- Быстрый отклик: Время реакции клапана ≤10 мс позволяет оперативно останавливаться или изменять расход газа в случае аварийных ситуаций (например, перепадов давления), что повышает безопасность работы.
Примеры применения в областях
- Микроэлектроника: в производстве логических микросхем (CPU, GPU) для регулировки расходов газов при травлении транзисторных каналов.
- Производство памяти: в линиях изготовления 3D NAND для точного формирования многослойных структур через осаждение диоксида кремния.
- Фотоэлектроника: в производстве тонкопленочных солнечных панелей для контроля газов при осаждении полупроводниковых слоев.
- Нанотехнологии: в исследовательских лабораториях для синтеза нанокомпозитов с контролируемым составом.
Сравнение с конкурентами
| Характеристика | LAM 797-800733-001 | Applied Materials 0020-67890 | Tokyo Electron 4020-00890 |
|---|---|---|---|
| Погрешность расхода | ±0,5% | ±1,0% | ±0,8% |
| Время отклика клапана | ≤10 мс | ≤15 мс | ≤12 мс |
| Срок службы (прогноз) | 15 000 ч | 12 000 ч | 13 000 ч |
| Гарантийный срок | 1 год | 6 месяцев | 1 год |
LAM 797-800733-001 выделяется более высокой точностью регулировки, быстрым откликом клапана и длительным сроком службы, что делает его предпочтительным для самых требовательных технологий в микроэлектронной промышленности.
Советы по выбору
- Убедитесь, что LAM 797-800733-001 совместим с вашим оборудованием LAM: он оптимизирован для моделей Flex™ и Sym3™, для других линий рекомендуется консультация с сервисным центром LAM Research.
- Оцените требуемый диапазон расхода: модуль подходит для потоков 1–500 ссм³/мин; для больших расходов (например, в крупных реакторах) используйте расширенные версии серии.
- Проверьте сертификаты: Компонент должен соответствовать стандартам SEMI S2 (безопасность) и SEMI F1 (газовая система) для использования в чистых зонах класса ISO 4.
Предостережения
- Установку LAM 797-800733-001 должен проводить сертифицированный техник LAM Research, чтобы избежать утечек газов и нарушения герметичности системы.
- Перед монтажом проверьте комплектность упаковки и отсутствие механических повреждений (особенно на тефлоновых элементах), так как повреждения могут привести к коррозии.
- Регулярно калибруйте расходомер через специализированное ПО LAM (рекомендуется раз в 3 месяцев) и проверяйте герметичность соединений, чтобы сохранить заявленную погрешность.
Для получения подробных руководств по эксплуатации и заказа посетите официальную страницу LAM 797-800733-001.
797-800733-001
