Описание
LAM 810-001489-016 — это высокоточный компонент для систем микроэлектронного производства от компании LAM Research, специализирующейся на оборудовании для изготовления полупроводников. Этот элемент широко используется в плазменных реакторах для обработки кремниевых пластин, где требуется максимальная точность и надежность в условиях агрессивных химических сред.
Описание продукта
LAM 810-001489-016 относится к серии запчастей для плазменных систем LAM, предназначенных для контроля и регулировки параметров плазмы в процессе травления или осаждения тонких пленок. Этот компонент выполняет функцию точного регулирования газового потока, что критично для обеспечения равномерности обработки кремниевых пластин диаметром до 300 мм. Благодаря специальному антикоррозионному покрытию LAM 810-001489-016 устойчив к воздействию агрессивных газов (например, фторсодержащих), что гарантирует длительный срок службы даже при интенсивной эксплуатации. Дополнительная информация о спецификации вы можете найти на LAM 810-001489-016.
Параметры продукта
- Тип компонента: регулирующий клапан газового потока для плазменных реакторов
- Диапазон регулировки потока: 0,1–500 ссм (стандартные кубические сантиметры в минуту)
- Максимальное рабочее давление: 10 бар
- Тип газов: инертные (аргон, азот), реактивные (CF₄, SF₆, O₂)
- Материал корпуса: титан с антикоррозионным покрытием
- Тип привода: электропневматический
- Скорость отклика: ≤10 мс
- Температурный диапазон эксплуатации: 15–50 °C
- Степень защиты: IP65 (защита от пыли и влаги)
- Интерфейс управления: 4–20 мА (аналоговый) + цифровой сигнал состояния
- Габариты: 80 мм × 60 мм × 120 мм
- Вес: около 0,8 кг
- Сертификация: SEMI S2, ISO 9001
- Гарантийный срок: 1 год
Преимущества и особенности
- Высокая точность регулировки: LAM 810-001489-016 обеспечивает стабильность потока с погрешностью не более ±0,5%, что критично для равномерного травления микроструктур на кремниевых пластине, где даже небольшие отклонения могут привести к браку.
- Устойчивость к агрессивным средам: Антикоррозионное покрытие и титановый корпус защищают клапан от воздействия фторсодержащих газов, что увеличивает межремонтный интервал до 10 000 часов работы — в 1,5 раза больше, чем у аналогов.
- Быстрый отклик: Скорость реакции ≤10 мс позволяет мгновенно корректировать поток газа при изменении параметров плазмы, что важно для динамичных процессов, например, при переходе от одного этапа травления к другому.
- Интеграция с системами LAM: Клапан идеально совместим с контроллерами плазменных реакторов LAM Guardian™, обеспечивая реальное время передачи данных о состоянии потока и упрощая диагностику через общий интерфейс.
Примеры применения в областях
- Микроэлектроника: в плазменных реакторах для травления транзисторов и интегральных схем на кремниевых пластинках 200–300 мм.
- Производство светодиодов: в системах осаждения GaN-покрытий для регулировки потока реактивных газов.
- Наноэлектроника: в оборудовании для изготовления наноструктур, где требуется предельно точный контроль газового потока.
- Вспомогательные системы: в установках для очистки реакторов после процессов, где используется агрессивное средство для удаления остатков пленок.
Сравнение с конкурентами
| Характеристика | LAM 810-001489-016 | Applied Materials 0020-35258 | Tokyo Electron ES-4521 |
|---|---|---|---|
| Погрешность регулировки | ±0,5% | ±1% | ±0,8% |
| Межремонтный интервал | 10 000 ч | 7 000 ч | 8 000 ч |
| Максимальное давление | 10 бар | 8 бар | 9 бар |
| Гарантийный срок | 1 год | 6 месяцев | 1 год |
LAM 810-001489-016 выделяется более высокой точностью, длительным сроком службы и возможностью работы при повышенных давлениях, что делает его предпочтительным для высокотехнологичных производств с жесткими требованиями к качеству обработки.
Советы по выбору
- Убедитесь, что диапазон регулировки LAM 810-001489-016 (0,1–500 ссм) соответствует требованиям вашего процесса: для низких потоков (до 10 ссм) рекомендуется проверка совместимости с дополнительными дросселями.
- Оцените тип используемых газов: Клапан оптимизирован для фторсодержащих газов, но для кислородных смесей требуется дополнительная проверка состояния уплотнений каждые 5 000 часов.
- Проверьте совместимость с контроллером: Для систем не от LAM убедитесь в поддержке аналогового сигнала 4–20 мА или используйте адаптер для цифровых протоколов.
Предостережения
- Монтаж и замену LAM 810-001489-016 должен проводить квалифицированный специалист с допуском к работе с агрессивными газами, чтобы избежать утечек и поражения токсичными веществами.
- Перед установкой обязательно проверьте герметичность соединений с газопроводом, так как даже малые утечки фторсодержащих газов могут привести к повреждению других компонентов реактора.
- Регулярно калибруйте клапан (рекомендуется раз в 6 месяцев) с использованием эталонных приборов, чтобы сохранить заявленную точность регулировки.
Для получения подробных руководств по эксплуатации и заказа посетите официальную страницу LAM 810-001489-016
810-001489-016
