Описание
LAM 810-002895-203 — это высокоточная плата управления для систем плазменной обработки от компании LAM Research, являющейся ведущим производителем оборудования для микроэлектронной промышленности. Этот компонент используется в реакторах для изготовления полупроводников, где требуется синхронное управление несколькими процессами (газовый поток, температура, плазменное поле) с наносекундной точностью.
Описание продукта
LAM 810-002895-203 относится к серии контроллерных плат LAM, разработанных для интеграции в системы плазменных травления и осаждения тонких пленок. Эта плата обеспечивает реальное время обработки данных от датчиков и управление исполнительными устройствами (клапанами, нагревателями, генераторами плазмы), что критично для обеспечения равномерности обработки кремниевых пластин диаметром до 450 мм. Благодаря модульной архитектуре LAM 810-002895-203 легко обновляется с добавлением новых функций (например, поддержка новых газовых смесей или алгоритмов регулировки), а защитное покрытие компонентов гарантирует устойчивость к электромагнитным помехам и агрессивной атмосфере. Дополнительная информация о спецификации вы можете найти на LAM 810-002895-203.
Параметры продукта
- Тип устройства: плата управления для плазменных реакторов
- Архитектура: 8-ядерный процессор с частотой 2,5 ГГц
- Память: 16 ГБ DDR4 (оперативная), 128 ГБ SSD (постоянная)
- Количество входов/выходов: 32 аналоговых (4–20 мА), 64 цифровых (24 В DC)
- Протоколы связи: Ethernet (10 Гбит/с), PCIe 4.0, CANopen
- Время отклика: ≤1 мс (для критических сигналов)
- Температурный диапазон эксплуатации: 18–30 °C (с стабильностью ±0,5 °C)
- Степень защиты: IP20 (для монтажа в герметичном шкафу)
- Питание: 24 В DC (±5%), потребление 75 Вт
- Габариты: 305 мм × 244 мм (стандартная плата ATX)
- Вес: около 1,2 кг
- Сертификация: SEMI S2, ISO 14644-1 (класс 5 для чистых комнат)
- Гарантийный срок: 2 года
Преимущества и особенности
- Высокая производительность: 8-ядерный процессор LAM 810-002895-203 обрабатывает до 10 000 сигналов в секунду, что позволяет синхронизировать работу всех подсистем плазменного реактора (газовый поток, температура, напряжение на электродах) с точностью до микросекунд — критично для новых технологий изготовления микросхем 3 нмпроцессности.
- Модульность: Возможность подключения дополнительных интерфейсных карт (например, для поддержки специфичных датчиков) делает LAM 810-002895-203 адаптируемым под разные типы реакторов LAM (Kiyo™, Versys™), упрощая модернизацию существующих установок.
- Защита данных: Встроенный криптопроцессор обеспечивает шифрование конфиденциальных параметров процессов (например, рецептур травления), что важно для защиты интеллектуальной собственности в микроэлектронной промышленности.
- Интеграция с ПО LAM: Плата полностью совместима с программным обеспечением LAM Process Control Suite, что позволяет операторам быстро настраивать алгоритмы регулировки и анализировать данные в реальном времени через графический интерфейс.
Примеры применения в областях
- Микроэлектроника: в реакторах для травления транзисторов и интерconnect-структур на кремниевых пластинках 300–450 мм.
- Производство полупроводников: в системах осаждения металлических пленок (серебро, медь) для контроля толщины слоев с точностью до 1 нм.
- Нанооборудование: в экспериментальных установках для разработки новых технологий нанотравления и функциональных покрытий.
- Чистые комнаты: в комплексах с автоматизированным управлением параметрами воздуха (влажность, температуру) для поддержания стабильных условий обработки.
Сравнение с конкурентами
| Характеристика | LAM 810-002895-203 | Applied Materials 0010-78452 | Tokyo Electron F-3200 |
|---|---|---|---|
| Процессор (ядер) | 8 ядер, 2,5 ГГц | 6 ядер, 2,2 ГГц | 8 ядер, 2,0 ГГц |
| Время отклика | ≤1 мс | ≤2 мс | ≤1,5 мс |
| Поддержка Ethernet | 10 Гбит/с | 1 Гбит/с | 10 Гбит/с |
| Гарантийный срок | 2 года | 1,5 года | 2 года |
LAM 810-002895-203 выделяется более высоким временем отклика, производительностью процессора и поддержкой высокоскоростного Ethernet, что делает его предпочтительным для самых современных линий производства полупроводников с жесткими требованиями к синхронизации.
Советы по выбору
- Убедитесь, что количество входов/выходов LAM 810-002895-203 (32 аналоговых, 64 цифровых) соответствует требованиям вашего реактора: для комплексов с дополнительными датчиками рекомендуется использование расширительных модулей PCIe.
- Оцените условия установки: Плата требует стабильной температуры (±0,5 °C), поэтому в чистых комнатах с перепадами температуры необходимо использовать стабилизированные шкафы.
- Проверьте совместимость с ПО: Для старых реакторов LAM может потребоваться обновление прошивки до версии не ниже 5.2 для полной совместимости с LAM 810-002895-203.
Предостережения
- Установку и настройку LAM 810-002895-203 должен проводить сертифицированный инженер LAM, так как некорректная конфигурация может привести к нарушению параметров плазмы и браку продукции.
- При монтаже в шкафе обеспечьте защиту от электромагнитных полей (например, с помощью экранированных кабелей), особенно вблизи генераторов плазмы с высоким напряжением.
- Регулярно обновляйте программное обеспечение через сервер LAM Update, чтобы получать исправления безопасности и новые алгоритмы регулировки процессов.
Для получения подробных руководств по эксплуатации и заказа посетите официальную страницу LAM 810-002895-203.
810-002895-203
