Описание
LAM 810-010473-009 — это высокоточный датчик давления для агрессивных сред от компании LAM Research, разработанный специально для использования в плазменных реакторах микроэлектронного производства. Он предназначен для контроля давления газовых смесей (включая фторсодержащие и коррозионные газы) с максимальной точностью, что критично для стабильности процессов травления и осаждения тонких пленок на кремниевых пластинках.
Описание продукта
LAM 810-010473-009 относится к серии сенсорных устройств LAM для агрессивных сред, отличаясь уникальной конструкцией, сочетающей в себе коррозионную стойкость и высокую метрологическую точность. Этот датчик использует капиллярный принцип измерения, что позволяет ему работать с газами, которые могут разрушать традиционные мембранные датчики. Благодаря компактному дизайну LAM 810-010473-009 легко монтируется в плотно заполненные зоны реакторов, а цифровой интерфейс обеспечивает быструю интеграцию с контроллерами LAM, такими как плата LAM 810-002895-203. Дополнительная информация о спецификации вы можете найти на LAM 810-010473-009.
Параметры продукта
- Тип устройства: датчик давления для агрессивных газовых сред
- Диапазон измерений: 1 мТорр – 10 Торр (мгновенное измерение)
- Погрешность: ±0,5% от измеренного значения (в диапазоне 10 мТорр – 10 Торр)
- Репродуцируемость: ±0,1% (при стабильных условиях)
- Тип измерения: абсолютное давление (относительно вакуума)
- Материал контактирующей части: титан с диамондоподобным покрытием (DLC)
- Выходной сигнал: цифровой (EtherCAT) + аналоговый (4–20 мА)
- Время отклика: ≤50 мс
- Температурный диапазон эксплуатации: 0–60 °C
- Максимальное рабочее напряжение: 24 В DC (18–30 В)
- Потребляемый ток: ≤30 мА
- Степень защиты: IP67 (защита от пыли и кратковременного погружения)
- Габариты: 45 мм × 30 мм × 120 мм
- Вес: около 250 г
- Сертификация: SEMI S2, ISO 17025 (метрологическая аттестация)
- Гарантийный срок: 1,5 года
Преимущества и особенности
- Коррозионная стойкость: Материал контактирующей части (титан с DLC-покрытием) делает LAM 810-010473-009неуязвимым для воздействия фторсодержащих газов (например, CF₄, SF₆), что увеличивает межремонтный интервал до 15 000 часов — в 2 раза больше, чем у мембранных датчиков конкурентов.
- Высокая точность в низко압ных диапазонах: В отличие от большинства датчиков, LAM 810-010473-009 сохраняет погрешность ≤0,5% даже при измерении давления около 1 мТорр, что критично для процессов низко압ного травления в микроэлектронике (например, для создания мелких контактов размером <5 нм).
- Двухканальный выход: Совмещение цифрового (EtherCAT) и аналогового сигналов позволяет использовать LAM 810-010473-009 как в современных системах с полной цифровизацией, так и в старых установках с аналоговым управлением, упрощая модернизацию.
- Минимальное влияние на поток газа: Капиллярный дизайн создает минимальное сопротивление потоку, что исключает искажения газового поля в реакторе — важно для равномерности обработки больших кремниевых пластин (до 450 мм в диаметре).
Примеры применения в областях
- Микроэлектроника: в плазменных реакторах для контроля давления при травлении транзисторов на 3-нмпроцессной технике.
- Производство светодиодов: в системах осаждения GaN-покрытий, где используется смесь аммиака и инертных газов.
- Нанооборудование: в вакуумных камерах для синтеза нанотрубок и нанокристаллов.
- Вспомогательные системы: в вакуумных насосных установках для контроля степени разрежения перед подачей реактивных газов.
Сравнение с конкурентами
| Характеристика | LAM 810-010473-009 | Applied Materials 0020-76543 | Tokyo Electron ES-5890 |
|---|---|---|---|
| Диапазон измерений | 1 мТорр – 10 Торр | 10 мТорр – 10 Торр | 5 мТорр – 10 Торр |
| Погрешность | ±0,5% | ±1% | ±0,8% |
| Коррозионная стойкость | DLC-покрытие | Нитрид титана | Пластик PTFE |
| Гарантийный срок | 1,5 года | 1 год | 1 год |
LAM 810-010473-009 выделяется более широким диапазоном измерений, высокой точностью в низко압ных зонах и продвинутым защитным покрытием, что делает его предпочтительным для самых требовательных процессов микроэлектронного производства.
Советы по выбору
- Убедитесь, что диапазон LAM 810-010473-009 (1 мТорр – 10 Торр) соответствует требованиям вашего процесса: для измерений выше 10 Торр рекомендуется использование комбинированной системы с датчиком LAM 810-010473-009 и дополнительным высокопressure сенсором.
- Оцените тип газов: Для газов с высоким содержанием фтора проверьте совместимость с DLC-покрытием (сертифицировано для CF₄, SF₆, NF₃).
- Проверьте интерфейс: Для интеграции с контроллерами не от LAM убедитесь в наличии адаптера для EtherCAT или используйте аналоговый выход 4–20 мА.
Предостережения
- Монтаж и замену LAM 810-010473-009 должен проводить специалист с допуском к работе с токсичными газами, чтобы избежать контакта с остаточными газами в системе.
- Перед первой эксплуатацией проведите калибровку с использованием эталонного вакуумного комплекса, сертифицированного по ISO 17025.
- Регулярно проверяйте состояние DLC-покрытия (рекомендуется раз в 6 месяцев) с помощью визуального осмотра под микроскопом — повреждения могут привести к потере точности и коррозии.
Для получения подробных руководств по эксплуатации и заказа посетите официальную страницу LAM 810-010473-009.
810-010473-009
