Описание
LAM 810-017016-001 — это высокопроизводительный модуль питания для систем плазменной обработки от компании LAM Research, разработанный для стабильного электроснабжения чувствительных компонентов реакторов в микроэлектронном производстве. Он обеспечивает регулируемое напряжение для датчиков, клапанов и управляющих плат, работающих в агрессивных условиях (высокая температура, коррозионные газы), что критично для непрерывности процессов изготовления полупроводников.
Описание продукта
LAM 810-017016-001 относится к серии специализированных источников питания LAM, предназначенных для чистых комнат и плазменных реакторов. Этот модуль сочетает в себе компактность и высокую надежность, обеспечивая стабильное напряжение даже при кратковременных перепадах в сетевом электроснабжении. Благодаря защитным функциям (от короткого замыкания, перегрева и электромагнитных помех) LAM 810-017016-001 защищает подключенные устройства, такие как датчик LAM 810-010473-009 или плата управления LAM 810-002895-203, от повреждений. Его герметичный корпус с антикоррозионным покрытием позволяет монтировать модуль непосредственно вблизи зон с агрессивными газами, сокращая длину кабелей и уменьшая риск помех. Дополнительная информация о спецификации вы можете найти на LAM 810-017016-001.
Параметры продукта
- Тип устройства: модуль питания с регулируемыми выходами
- Количество выходов: 4 независимых канала
- Выходные напряжения: 5 В DC (3 А), 12 В DC (2 А), 24 В DC (1 А), -15 В DC (0,5 А)
- Погрешность регулировки: ±0,2% для всех каналов
– (пульсации): ≤10 мВ (на всех выходах) - Входное напряжение: 200–240 В AC (50/60 Гц)
- Максимальная выходная мощность: 35 Вт
- Тип защиты: от короткого замыкания (автоматическое восстановление), перегрева (отключение при температуре >70 °C), переvoltaжа
- Изоляция: galvanic isolation между входом и выходами (5 кВ переменного тока, 1 мин)
- Температурный диапазон эксплуатации: 15–40 °C
- Степень защиты: IP65 (защита от пыли и водных струй)
- Габариты: 100 мм × 60 мм × 40 мм
- Вес: около 300 г
- Сертификация: SEMI S2, UL 60950-1
- Гарантийный срок: 2 года
Преимущества и особенности
- Высокая стабильность выходов: LAM 810-017016-001 обеспечивает минимальные пульсации (≤10 мВ) и погрешность ±0,2%, что критично для работы чувствительных датчиков давления и температуры, где даже небольшие отклонения напряжения могут искажать измерения.
- Коррозионная стойкость: Герметичный корпус с покрытием из нитрида титана защищает внутренние компоненты от воздействия фторсодержащих газов, что увеличивает срок службы модуля до 20 000 часов непрерывной работы — значительно больше, чем у стандартных источников питания.
- Интеграция с системами контроля: Дигитальный интерфейс (MODBUS RTU) позволяет отслеживать состояние модуля (ток, напряжение, температура) в реальном времени через контроллер реактора, что упрощает диагностику и предупреждает о возможных сбоях.
- Компактность: Малые габариты (100×60×40 мм) и возможность монтажа на DIN-рейку или непосредственно на корпусе реактора делают LAM 810-017016-001 идеальным для плотно заполненных пространств чистых комнат.
Примеры применения в областях
- Микроэлектроника: в плазменных реакторах для питания датчиков давления, температуры и управляющих клапанов газового потока.
- Производство светодиодов: в системах осаждения тонких пленок для электроснабжения шлюзовых механизмов и реле защиты.
- Нанооборудование: в экспериментальных установках для питания микроконтроллеров и сенсорных массивов.
- Чистые комнаты: в комплексах с автоматизированным управлением параметрами воздуха для питания систем вентиляции и фильтрации.
Сравнение с конкурентами
| Характеристика | LAM 810-017016-001 | Applied Materials 0020-98765 | Tokyo Electron P-5000 |
|---|---|---|---|
| Погрешность выхода | ±0,2% | ±0,5% | ±0,3% |
| Степень защиты | IP65 | IP54 | IP65 |
| Гарантийный срок | 2 года | 1 год | 1,5 года |
| Максимальная мощность | 35 Вт | 30 Вт | 35 Вт |
LAM 810-017016-001 выделяется более высокой стабильностью выходов, длительной гарантией и улучшенной защитой от агрессивных сред, что делает его предпочтительным для критических участков микроэлектронных производств.
Советы по выбору
- Убедитесь, что суммарная нагрузка на все каналы LAM 810-017016-001 не превышает 35 Вт: для более мощных систем (например, с несколькими клапанами) рекомендуется использовать несколько модулей в параллельном режиме.
- Оцените условия монтажа: При размещении вблизи источников тепла (например, нагревательных элементов) убедитесь, что температура окружающей среды не превышает 40 °C, чтобы избежать срабатывания защиты от перегрева.
- Проверьте совместимость с кабелями: Используйте только экранированные кабели с герметичными соединениями (тип M12), чтобы сохранить степень защиты IP65 и уменьшить электромагнитные помехи.
Предостережения
- Монтаж и подключение LAM 810-017016-001 должен проводить квалифицированный электрик с допуском к работе в чистых комнатах, соблюдая правила антистатической защиты.
- Не открывайте корпус модуля — это нарушит герметизацию и приведет к потере защиты от коррозионных газов, а также к аннулированию гарантии.
- Регулярно проверяйте состояние кабелей и соединений (рекомендуется раз в 3 месяца), особенно в зонах с вибрациями, чтобы избежать разрывов и потери контакта.
Для получения подробных руководств по эксплуатации и заказа посетите официальную страницу LAM 810-017016-001.
810-017016-001
