Описание
810-017034-005 — это высокоточный модуль регулировки газового потока от компании LAM Research, разработанный для точного контроля расхода агрессивных и инертных газов в плазменных реакторах микроэлектронного производства. Он широко используется в процессах травления и осаждения тонких пленок, где требуется стабильность газовых смесей с наногранной точностью.
Описание продукта
810-017034-005 относится к серии газовых регулирующих модулей LAM, сочетающих в себе функцию клапана и массного расходомера. Этот модуль обеспечивает непрерывное регулирование потока газа в широком диапазоне, поддерживая стабильность даже при быстрых изменениях давления в системе. Благодаря уникальной технологии корректировки по температуре и давлению 810-017034-005 гарантирует точность расхода независимо от внешних условий, что критично для равномерности обработки кремниевых пластин диаметром до 450 мм. Его компактная конструкция с антикоррозионными материалами позволяет монтировать 810-017034-005 в плотно заполненные газовые тракты реакторов, а интеграция с протоколами EtherCAT и MODBUS упрощает подключение к контроллерам LAM. Дополнительная информация о спецификации вы можете найти на 810-017034-005.
Параметры продукта
- Тип устройства: модуль регулировки газового потока (клапан + расходомер)
- Диапазон регулировки расхода: 1–500 ссм (стандартные кубические сантиметры в минуту)
- Погрешность регулировки: ±1% от полного диапазона
- Репродуцируемость: ±0,1%
- Максимальное рабочее давление: 15 бар
- Тип газов: инертные (Ar, N₂), реактивные (CF₄, SF₆, O₂, NH₃)
- Материалы контактирующие с газом: титан, политетрафторэтилен (PTFE)
- Время отклика: ≤10 мс (на изменение расхода)
- Рабочее напряжение: 24 В DC (18–30 В)
- Потребляемый ток: 1,2 А (пиковый), 0,5 А (постоянный)
- Температурный диапазон эксплуатации: 10–50 °C
- Степень герметичности: ≤1×10⁻¹⁰ Па·м³/с
- Интерфейс связи: EtherCAT, MODBUS RTU
- Соединения: fittingы типа VCR (1/4″)
- Габариты: 120 мм × 80 мм × 150 мм
- Вес: около 1,2 кг
- Сертификация: SEMI S2, ISO 9001
- Гарантийный срок: 2 года
Преимущества и особенности
- Высокая точность регулировки: 810-017034-005 поддерживает погрешность ±1% от полного диапазона, что важно для создания сложных газовых смесей в процессах нанотравления, где даже небольшое отклонение расхода может привести к искажению микроструктур на кремниевых пластинках.
- Автоматическая корректировка: Встроенный датчик температуры и давления позволяет модулю самостоятельно корректировать показания под изменения внешних условий (например, при колебаниях температуры в чистой комнате), что исключает необходимость ручной калибровки.
- Коррозионная стойкость: Материалы контактирующие с газом (титан и PTFE) обеспечивают устойчивость к агрессивным средам, включая фторсодержащие газы и аммиак, что увеличивает межремонтный интервал до 15 000 часов работы.
- Интеграция с системами управления: Поддержка EtherCAT позволяет 810-017034-005 синхронизироваться с контроллерами в реальном времени (время передачи данных ≤1 мс), что критично для координации работы нескольких модулей в составе сложных газовых систем.
Примеры применения в областях
- Микроэлектроника: в плазменных реакторах для регулировки потока фторсодержащих газов при травлении транзисторов 3 нмпроцессности.
- Производство светодиодов: в системах осаждения GaN-покрытий для контроля смесей аммиака и инертных газов.
- Наноэлектроника: в экспериментальных установках для синтеза нанотрубок с точным контролем газовых реактивов.
- Фармацевтика: в чистых камерах для подачи газов в процессы стерилизации медицинских микрочипов.
Сравнение с конкурентами
| Характеристика | 810-017034-005 | Applied Materials 0020-56789 | Tokyo Electron F-9200 |
|---|---|---|---|
| Погрешность регулировки | ±1% | ±2% | ±1,5% |
| Время отклика | ≤10 мс | ≤15 мс | ≤12 мс |
| Максимальное давление | 15 бар | 12 бар | 14 бар |
| Гарантийный срок | 2 года | 1 год | 1,5 года |
810-017034-005 выделяется более высокой точностью, быстрым откликом и длительной гарантией, что делает его предпочтительным для высокотехнологичных производств с жесткими требованиями к стабильности газовых процессов.
Советы по выбору
- Убедитесь, что диапазон расхода 810-017034-005 (1–500 с см) соответствует требованиям вашего процесса: для низких расходов (до 1 с см) рекомендуется использование модели 810-017034-006 с расширенным диапазоном.
- Оцените тип газов: Для газов с высокой вязкостью (например, смеси с тяжелыми галогенами) проверьте совместимость с PTFE-уплотнениями.
- Проверьте протокол связи: Для интеграции с контроллерами не от LAM убедитесь в поддержке EtherCAT или используйте адаптер для MODBUS RTU.
Предостережения
- Монтаж и настройку 810-017034-005 должен проводить сертифицированный специалист LAM, чтобы избежать нарушения герметичности и потери точности.
- Перед первой эксплуатацией проведите пусковую калибровку с использованием эталонного газового потока, сертифицированного по ISO 17025.
- Регулярно проверяйте состояние fittingов и кабелей (рекомендуется раз в 3 месяца), особенно в условиях вибраций, чтобы предотвратить утечки и потери сигнала.
Для получения подробных руководств по эксплуатации и заказа посетите официальную страницу 810-017034-005.
810-017034-005
