Описание
LAM 810-017034-300 — это высокопроизводительный модуль регулировки газового потока от компании LAM Research, разработанный для управления большими расходами газов в агрессивных средах микроэлектронного производства. Он широко применяется в плазменных реакторах для травления и осаждения, где требуется стабильность газовых смесей при высоких давлениях и интенсивных производственных циклах.
Описание продукта
LAM 810-017034-300 относится к улучшенной серии газовых модулей LAM, предназначенных для работы с расширенным диапазоном расходов и повышенных давлениями. Этот модуль объединяет функции клапана, массного расходомера и системы корректировки, обеспечивая непрерывное регулирование потока как инертных, так и реактивных газов с максимальной точностью. Благодаря усиленной конструкции и продвинутому алгоритму контроля LAM 810-017034-300 сохраняет стабильность даже при резких изменениях нагрузки, что критично для крупных пластин диаметром до 450 мм. Его совместимость с протоколами EtherCAT и PROFINET (опционально) упрощает интеграцию с контроллерами LAM и другими системами автоматизации, а антикоррозионные материалы позволяют монтировать LAM 810-017034-300 непосредственно вблизи зон с агрессивными газами. Дополнительная информация о спецификации вы можете найти на LAM 810-017034-300.
Параметры продукта
- Тип устройства: модуль регулировки газового потока (клапан + расходомер + корректор)
- Диапазон регулировки расхода: 10–2000 с см (стандартные кубические сантиметры в минуту)
- Погрешность регулировки: ±0,8% от полного диапазона
- Репродуцируемость: ±0,05%
- Максимальное рабочее давление: 20 бар
- Тип газов: инертные (Ar, N₂, He), реактивные (CF₄, SF₆, O₂, Cl₂, NH₃)
- Материалы контактирующие с газом: титан с диамондоподобным покрытием (DLC), PTFE
- Время отклика: ≤8 мс (на изменение расхода)
- Рабочее напряжение: 24 В DC (18–30 В)
- Потребляемый ток: 1,5 А (пиковый), 0,7 А (постоянный)
- Температурный диапазон эксплуатации: 5–60 °C
- Степень герметичности: ≤5×10⁻¹¹ Па·м³/с
- Интерфейс связи: EtherCAT, MODBUS RTU, PROFINET (опционально)
- Соединения: fittingы типа VCR (3/8″)
- Габариты: 150 мм × 100 мм × 180 мм
- Вес: около 2 кг
- Сертификация: SEMI S2, ISO 14644-1 (класс 3)
- Гарантийный срок: 2,5 года
Преимущества и особенности
- Широкий диапазон расходов: LAM 810-017034-300 покрывает диапазон 10–2000 с см, что позволяет ему работать как в процессах с низкими расходами (например, тонкое травление контактов) так и в интенсивных режимах (например, быстрая очистка реактора), исключая необходимость использования нескольких модулей.
- Высокая точность при высоких давлениях: Благодаря усиленной мембранной системе модуль сохраняет погрешность ±0,8% даже при давлении до 20 бар, что критично для крупных плазменных реакторов с высоким расходом газа.
- Продвинутая корректировка: Встроенный сенсор давления и температуры с частотой измерения 1 кГц обеспечивает реальное время корректировки расхода под изменения внешних условий, что исключает искажения данных даже при нестабильности в газовой сети.
- Коррозионная стойкость: DLC-покрытие титана и специальные уплотнения из перфторэластомера делают LAM 810-017034-300 устойчивым к самым агрессивным газам, включая хлор и фтор, увеличивая межремонтный интервал до 25 000 часов — на 40% больше, чем у предыдущих моделей серии.
Примеры применения в областях
- Микроэлектроника: в реакторах для травления крупных кремниевых пластин 450 мм при производстве микросхем высокой плотности.
- Производство полупроводников: в системах осаждения металлических пленок (медь, алюминий) с высоким расходом газов.
- Металлургия тонких пленок: в вакуумных камерах для нанесения защитных слоев на субстраты размером до 600 мм.
- Энергетика нанотехнологий: в установках для синтеза нанокерамики с использованием смесей газов высокого давления.
Сравнение с конкурентами
| Характеристика | LAM 810-017034-300 | Applied Materials 0020-90123 | Tokyo Electron F-9800 |
|---|---|---|---|
| Диапазон расхода | 10–2000 с см | 20–1500 с см | 15–1800 с см |
| Погрешность | ±0,8% | ±1,2% | ±1% |
| Максимальное давление | 20 бар | 15 бар | 18 бар |
| Гарантийный срок | 2,5 года | 1,5 года | 2 года |
LAM 810-017034-300 выделяется более широким диапазоном расходов, высокой точностью при высоких давлениях и длительной гарантией, что делает его предпочтительным для крупных производств микроэлектроники с интенсивными газовыми процессами.
Советы по выбору
- Убедитесь, что максимальный расход вашего процесса не превышает 2000 с см: для более интенсивных систем (до 3000 с см) рекомендуется использование двух модулей LAM 810-017034-300 в параллельном режиме.
- Оцените тип газов: Для газов с высокой химической активностью (например, Cl₂) проверьте наличие дополнительного фильтра на входе, чтобы защитить DLC-покрытие от загрязнений.
- Проверьте протокол связи: Для интеграции с контроллерами на базе PROFINET выберите вариант модуля с опционным интерфейсом, чтобы избежать использования адаптеров.
Предостережения
- Монтаж и калибровку LAM 810-017034-300 должен проводить сертифицированный инженер LAM, так как некорректная настройка может привести к потере точности и утечкам газа.
- При работе с токсичными газами установите дополнительные системы обнаружения утечек вблизи модуля, даже несмотря на его высокую герметичность.
- Регулярно обновляйте прошивку через сервер LAM Update (рекомендуется раз в 6 месяцев) для получения улучшений в алгоритмах корректировки и защиты.
Для получения подробных руководств по эксплуатации и заказа посетите официальную страницу LAM 810-017034-300.
810-017034-300
