Описание
LAM 810-017075-003 — это специализированный датчик температуры для агрессивных сред от компании LAM Research, разработанный для точного контроля температуры в плазменных реакторах микроэлектронного производства. Он используется в процессах травления и осаждения тонких пленок, где стабильность температуры с точностью до доли градуса критична для качества продукции.
Описание продукта
LAM 810-017075-003 относится к серии высокоточных сенсоров LAM, предназначенных для работы в условиях воздействия коррозионных газов и высоких температур. Этот датчик использует термопарный принцип измерения с дополнительной цифровой корректировкой, что обеспечивает стабильные показания даже при резких изменениях внешних условий. Благодаря компактному дизайну и защитному корпусу LAM 810-017075-003 может устанавливаться непосредственно в зону плазмы или на стенках реактора, обеспечивая локальное измерение температуры. Совместимость с протоколами EtherCAT и MODBUS позволяет ему легко интегрироваться с контроллерами LAM, такими как LAM 810-002895-203, обеспечивая реальное время передачи данных. Дополнительная информация о спецификации вы можете найти на LAM 810-017075-003.
Параметры продукта
- Тип устройства: датчик температуры с термопарой (тип K/J)
- Диапазон измерений: -50 °C до +500 °C
- Погрешность: ±0,5 °C (в диапазоне 0–300 °C), ±1 °C (в остальном диапазоне)
- Время отклика: ≤100 мс
- Материал сенсорного элемента: платиновый сплав с защитным покрытием из оксида алюминия (Al₂O₃)
- Материал корпуса: титан с нитридным покрытием (TiN)
- Выходной сигнал: цифровой (EtherCAT) + аналоговый (4–20 мА)
- Рабочее напряжение: 24 В DC (18–30 В)
- Потребляемый ток: ≤50 мА
- Степень защиты: IP67 (защита от пыли и кратковременного погружения)
- Температурный диапазон эксплуатации (корпус): -20 °C до +80 °C
- Длина сенсорного элемента: 50 мм (дополнительные длины по запросу)
- Габариты корпуса: 30 мм × 30 мм × 120 мм
- Вес: около 200 г
- Сертификация: SEMI S2, ISO 17025
- Гарантийный срок: 2 года
Преимущества и особенности
- Высокая точность в широком диапазоне: LAM 810-017075-003 обеспечивает погрешность ±0,5 °C в рабочем диапазоне 0–300 °C, что критично для процессов осаждения тонких пленок, где температура влияет на их структуру и адгезию к подложке.
- Коррозионная стойкость: Защитное покрытие сенсора и титановый корпус делают датчик устойчивым к воздействию фторсодержащих газов и плазмы, что увеличивает срок службы до 10 000 часов работы — в 2 раза больше, чем у стандартных термопар.
- Двухканальный выход: Совмещение цифрового и аналогового сигналов позволяет использовать LAM 810-017075-003 как в современных цифровых системах, так и в старых установках с аналоговым управлением, упрощая модернизацию.
- Локальное измерение: Маленький размер сенсорного элемента (диаметр 2 мм) позволяет датчику регистрировать температурные градиенты в разных точках реактора, что важно для равномерности обработки крупных кремниевых пластин (до 450 мм).
Примеры применения в областях
- Микроэлектроника: в плазменных реакторах для контроля температуры кремниевых пластин при травлении транзисторов 3 нмпроцессности.
- Производство светодиодов: в системах осаждения GaN-покрытий, где температура влияет на кристаллизацию слоев.
- Нанооборудование: в вакуумных камерах для синтеза наноматериалов с температурными зависимостями структуры.
- Металлургия тонких пленок: в установках для нанесения металлических покрытий (серебро, золото) для контроля их плавления и спекания.
Сравнение с конкурентами
| Характеристика | LAM 810-017075-003 | Applied Materials 0020-45678 | Tokyo Electron T-6300 |
|---|---|---|---|
| Погрешность (0–300 °C) | ±0,5 °C | ±1 °C | ±0,8 °C |
| Время отклика | ≤100 мс | ≤200 мс | ≤150 мс |
| Коррозионная стойкость | TiN + Al₂O₃ | нитрид никеля | оксид циркония |
| Гарантийный срок | 2 года | 1 год | 1,5 года |
LAM 810-017075-003 выделяется более высокой точностью, быстрым откликом и улучшенной защитой от агрессивных сред, что делает его предпочтительным для критических температурных контролов в микроэлектронном производстве.
Советы по выбору
- Убедитесь, что диапазон измерений LAM 810-017075-003 (-50 °C до +500 °C) соответствует требованиям вашего процесса: для измерений выше 500 °C рекомендуется модель LAM 810-017075-004 с платиновыми термопарами типа R/S.
- Оцените тип термопары: Для систем с стандартным типом K подойдет базовая конфигурация; для повышенной точности выберите вариант с термопарой типа J.
- Проверьте длину сенсора: Для установки в глубокие реакторы выберите дополнительные длины (до 200 мм), чтобы сенсор доходил до зоны интереса.
Предостережения
- Монтаж LAM 810-017075-003 должен проводить специалист с допуском к работе с плазменными реакторами, чтобы избежать повреждения сенсора при контакте с плазмой.
- Перед эксплуатацией проверьте герметичность соединений: повреждение защитного покрытия может привести к коррозии сенсора и потере точности.
- Регулярно калибруйте датчик (рекомендуется раз в 6 месяцев) с использованием эталонных термометров, сертифицированных по ISO 17025, чтобы сохранить заявленную погрешность.
Для получения подробных руководств по эксплуатации и заказа посетите официальную страницу LAM 810-017075-003.
810-017075-003
