Описание
LAM 810-017093-001 — это высокоточный модуль вакуумного контроля от компании LAM Research, разработанный для точного регулирования давления в вакуумных системах плазменных реакторов микроэлектронного производства. Он используется в процессах травления, осаждения и очистки, где поддержание стабильного вакуума с высокой точностью критично для качества наноструктур на кремниевых пластинках.
Описание продукта
LAM 810-017093-001 относится к серии вакуумных контроллеров LAM, сочетающих в себе функцию датчика давления и регулирующего клапана. Этот модуль обеспечивает непрерывное управление уровнем вакуума в широком диапазоне, корректируя положение клапана в реальном времени на основе данных от сенсорного элемента. Благодаря уникальной технологии адаптивного регулирования LAM 810-017093-001 быстро стабилизирует давление даже после резких изменений (например, при подаче газов в реактор), что важно для равномерности обработки пластин 300–450 мм. Его компактная конструкция с антикоррозионными материалами позволяет монтировать LAM 810-017093-001 в плотно заполненные вакуумные тракты, а поддержка протоколов EtherCAT и MODBUS упрощает интеграцию с контроллерами LAM. Дополнительная информация о спецификации вы можете найти на LAM 810-017093-001.
Параметры продукта
- Тип устройства: модуль вакуумного контроля (датчик + регулирующий клапан)
- Диапазон регулирования давления: 1×10⁻⁷ Торр – 1 Торр
- Погрешность регулировки: ±2% от измеренного значения
- Время стабилизации: ≤2 сек (при изменении давления на 1 порядок)
- Тип сенсора: ионный вакуумный датчик с пьезоэлектрическим клапаном
- Материалы контактирующие с вакуумом: титан, нитрид титана (TiN), фторопласт
- Рабочее напряжение: 24 В DC (18–30 В) + 110 В AC (для клапана)
- Потребляемая мощность: 50 Вт (пиковая), 25 Вт (постоянная)
- Температурный диапазон эксплуатации: 15–40 °C
- Степень герметичности: ≤1×10⁻¹¹ Па·м³/с
- Интерфейс связи: EtherCAT, MODBUS RTU
- Соединения: фланцы типа CF (ConFlat) 2,75″
- Габариты: 200 мм × 150 мм × 250 мм
- Вес: около 3,5 кг
- Сертификация: SEMI S2, ISO 9001
- Гарантийный срок: 2 года
Преимущества и особенности
- Широкий диапазон регулирования: LAM 810-017093-001 покрывает диапазон от высокого вакуума (1×10⁻⁷ Торр) до низкого давления (1 Торр), что позволяет использовать его в различных этапах процесса — от начальной вакуумизации реактора до стадии травления с подачей газов.
- Адаптивное регулирование: Алгоритм адаптивного PID-controller автоматически корректирует параметры регулировки под текущие условия (например, тип газа, температуру), что сокращает время стабилизации в 2–3 раза по сравнению с традиционными модулями.
- Устойчивость к загрязнениям: Специальная система очистки сенсора от паров и аэрозолей предотвращает снижение точности при длительной работе, увеличивая межремонтный интервал до 8 000 часов.
- Интеграция с системами LAM: Модуль идеально совместим с программным обеспечением LAM Process Control Suite, что позволяет операторам настраивать профили вакуума для разных рецептур и анализировать историю регулировки через графический интерфейс.
Примеры применения в областях
- Микроэлектроника: в плазменных реакторах для контроля вакуума при травлении транзисторов 3 нмпроцессности.
- Производство полупроводников: в системах подготовки кремниевых пластин к осаждению металлических пленок.
- Наноэлектроника: в вакуумных камерах для синтеза нанотрубок и квантовых точек.
- Вспомогательные системы: в установках для очистки реакторов после процессов, где требуется глубокий вакуум для удаления остатков газов.
Сравнение с конкурентами
| Характеристика | LAM 810-017093-001 | Applied Materials 0020-23456 | Tokyo Electron V-8200 |
|---|---|---|---|
| Диапазон давления | 1×10⁻⁷ – 1 Торр | 1×10⁻⁶ – 1 Торр | 5×10⁻⁷ – 1 Торр |
| Время стабилизации | ≤2 сек | ≤5 сек | ≤3 сек |
| Устойчивость к загрязнениям | Система очистки | Ручная очистка | Частичная защита |
| Гарантийный срок | 2 года | 1 год | 1,5 года |
LAM 810-017093-001 выделяется более широким диапазоном регулирования, быстрым временем стабилизации и системой защиты от загрязнений, что делает его предпочтительным для высокотехнологических процессов с жесткими требованиями к вакууму.
Советы по выбору
- Убедитесь, что диапазон давления LAM 810-017093-001 соответствует вашим процессам: для работы с давлением выше 1 Торр рекомендуется использование комбинированной системы с дополнительным давлениемдатчиком.
- Оцените условия эксплуатации: При наличии агрессивных паров (например, из органических растворителей) установите дополнительные фильтры на входе модуля, чтобы защитить сенсор.
- Проверьте совместимость фланцев: Для систем с фланцами других типов (например, ISO) используйте адаптеры, сертифицированные для высокого вакуума.
Предостережения
- Монтаж и настройку LAM 810-017093-001 должен проводить сертифицированный специалист с опытом работы с вакуумными системами, чтобы избежать утечек и повреждения сенсора.
- Перед первой эксплуатацией проведите вакуумную герметизацию системы с использованием гелиевого теста, чтобы подтвердить соответствие уровню герметичности.
- Регулярно проверяйте состояние системы очистки (рекомендуется раз в 3 месяца) и выполняйте калибровку с эталонным вакуумным стандартом, чтобы сохранить точность регулировки.
Для получения подробных руководств по эксплуатации и заказа посетите официальную страницу LAM 810-017093-001.
810-017093-001
