Описание
LAM 810-028296-173 — это высокопроизводительный контроллер газовых систем от компании LAM Research, разработанный для централизованного управления несколькими модулями регулировки газового потока в плазменных реакторах микроэлектронного производства. Он обеспечивает синхронизацию работы газовых трактов, контроль рецептур процессов и диагностику оборудования в реальном времени, что критично для стабильности травления и осаждения тонких пленок на кремниевых пластинках.
Описание продукта
LAM 810-028296-173 относится к серии контроллеров газовых систем LAM, объединяющих в себе функции коммутационного центра и процессорного модуля. Этот контроллер может управлять до 16 независимых газовых модулей (например, LAM 810-017034-300 или LAM 810-017031-004), координируя их работу с точностью до микросекунд. Благодаря встроенному программному обеспечению для управления рецептурами LAM 810-028296-173 позволяет создавать и хранить до 1000 профилей газовых смесей, что упрощает переключение между разными технологическими этапами. Его модульная архитектура обеспечивает простое расширение функционала за счет добавления интерфейсных карт, а поддержка протоколов EtherCAT и OPC UA гарантирует совместимость с контроллерами верхнего уровня и системами МЕС (Manufacturing Execution System). Дополнительная информация о спецификации вы можете найти на LAM 810-028296-173.
Параметры продукта
- Тип устройства: контроллер газовых систем с возможностью расширения
- Количество управляемых каналов: 16 (базовое), до 64 при использовании расширений
- Тип процессора: 4-ядерный ARM Cortex-A53 (1,8 ГГц)
- Память: 8 ГБ DDR4 (оперативная), 64 ГБ eMMC (постоянная)
- Протоколы связи: EtherCAT (для связи с газовыми модулями), OPC UA, MODBUS TCP (для интеграции с верхними системами)
- Время отклика на изменения: ≤1 мс
- Рабочее напряжение: 24 В DC (18–30 В)
- Потребляемая мощность: 120 Вт (постоянная), 180 Вт (пиковая)
- Температурный диапазон эксплуатации: 10–40 °C
- Степень защиты: IP20 (для монтажа в шкафу)
- Габариты: 483 мм × 133 мм × 300 мм (19″ раковина, 3U)
- Вес: около 5 кг
- Поддерживаемые стандарты: SEMI S2, ISO 14644-1 (класс 5 для чистых комнат)
- Гарантийный срок: 3 года
Преимущества и особенности
- Высокая пропускная способность: LAM 810-028296-173 обрабатывает до 10 000 сигналов в секунду, что позволяет синхронизировать работу всех газовых модулей в реакторе с точностью до 1 мс — критично для создания сложных газовых профилей в процессах 3 нмпроцессности.
- Защита рецептур: Встроенный криптопроцессор шифрует хранимые рецептуры газовых смесей, предотвращая несанкционированный доступ и копирование — важно для защиты интеллектуальной собственности в микроэлектронной промышленности.
- Расширенная диагностика: Контроллер непрерывно анализирует состояние каждого газового модуля (ток, напряжение, температура, расход), регистрируя аномалии и отправляя уведомления в систему МЕС. Это сокращает время на идентификацию неисправностей на 40% по сравнению с традиционными методами.
- Интеграция с ПО LAM: Полная совместимость с программным обеспечением LAM Gas Control Studio позволяет операторам через графический интерфейс настраивать каналы, создавать рецептуры и отслеживать процесс в реальном времени с помощью дашбордов.
Примеры применения в областях
- Микроэлектроника: в плазменных реакторах для управления газовыми трактами при травлении транзисторов и интерconnect-структур на кремниевых пластинках 300–450 мм.
- Производство полупроводников: в системах с несколькими реакторами для координации газовых процессов в линии производства.
- Наноэлектроника: в экспериментальных установках для разработки новых рецептур газовых смесей с высоким уровнем контроля.
- Фармацевтика: в чистых камерах для управления газовыми средами при синтезе медицинских микрочипов.
Сравнение с конкурентами
| Характеристика | LAM 810-028296-173 | Applied Materials 0020-56789 | Tokyo Electron G-9100 |
|---|---|---|---|
| Количество каналов (базовое) | 16 | 8 | 12 |
| Время отклика | ≤1 мс | ≤2 мс | ≤1,5 мс |
| Поддерживаемые протоколы | EtherCAT, OPC UA | PROFINET, OPC UA | EtherCAT, MODBUS |
| Гарантийный срок | 3 года | 2 года | 2,5 года |
LAM 810-028296-173 выделяется большим количеством управляемых каналов, быстрым откликом и длительной гарантией, что делает его предпочтительным для крупных производственных линий с множеством газовых трактов.
Советы по выбору
- Убедитесь, что базовое количество каналов (16) соответствует вашим потребностям: для систем с более чем 16 газовыми модулями выберите опциональные расширения (каждая плата добавляет 16 каналов).
- Оцените требования к интеграции: Для подключения к системам МЕС убедитесь в поддержке OPC UA (включена в базовую конфигурацию), для работы с контроллерами Siemens — проверьте наличие опционного модуля PROFINET.
- Проверьте условия монтажа: Контроллер требует установки в шкаф с принудительной вентиляцией (температура окружающей среды не должна превышать 40 °C), особенно при использовании нескольких расширений.
Предостережения
- Настройку и программирование LAM 810-028296-173 должен проводить сертифицированный специалист LAM, чтобы избежать ошибок в синхронизации газовых модулей, которые могут привести к браку продукции.
- Регулярно обновляйте прошивку и ПО через сервер LAM Update (рекомендуется раз в 3 месяца), так как новые версии содержат улучшения в алгоритмах синхронизации и безопасности.
- Ограничьте физиный доступ к контроллеру с помощью ключей или биометрической идентификации, чтобы защитить конфиденциальные рецептуры газовых смесей.
Для получения подробных руководств по эксплуатации и заказа посетите официальную страницу LAM 810-028296-173.
810-028296-173
