Описание
LAM 810-064624-521 — это высокоточный сервоуправляемый привод для манипуляционных систем от компании LAM Research, разработанный для позиционирования кремниевых пластин в плазменных реакторах микроэлектронного производства. Он обеспечивает предельно точное перемещение подложек с погрешностью до микронов, что критично для равномерности обработки в процессах травления и осаждения тонких пленок.
Описание продукта
LAM 810-064624-521 относится к серии серводрайверов с двигателями LAM, предназначенных для чистых комнат класса 5 и выше. Этот привод сочетает в себе высокотоковый серводвигатель с редуктором повышенной точности и систему обратной связи на основе лазерного энкодера. Благодаря адаптивному алгоритму регулировки момента LAM 810-064624-521 обеспечивает плавное движение даже при низких скоростях (до 0,1 мм/с), что важно для деликатных операций с крупными пластинками диаметром до 450 мм. Его компактная конструкция с антистатическим покрытием позволяет монтировать LAM 810-064624-521 в плотно заполненные зоны реакторов, а поддержка протокола EtherCAT гарантирует синхронизацию с контроллерами LAM, такими как LAM 810-028296-173. Дополнительная информация о спецификации вы можете найти на LAM 810-064624-521.
Параметры продукта
- Тип устройства: сервоуправляемый привод (двигатель + редуктор + энкодер)
- Диапазон перемещения: 0–500 мм (линейный)
- Максимальная нагрузка: 50 кг
- Погрешность позиционирования: ≤±1 мкм
- Репродуцируемость: ≤±0,5 мкм
- Максимальная скорость: 500 мм/с
- Тип двигателя: синхронный серводвигатель с постоянными магнитами
- Тип редуктора: планетарный с предотвращением люфта (погрешность ≤0,1°)
- Система обратной связи: лазерный энкодер с разрешением 0,1 мкм
- Рабочее напряжение: 48 В DC (40–56 В)
- Максимальный ток двигателя: 10 А (постоянный), 30 А (пиковый, 1 с)
- Температурный диапазон эксплуатации: 15–30 °C
- Степень защиты: IP54 (защита от пыли и капель влаги)
- Габариты: 200 мм × 150 мм × 100 мм
- Вес: около 4 кг
- Сертификация: SEMI S2, ISO 14644-1 (класс 5)
- Гарантийный срок: 3 года
Преимущества и особенности
- Высокая точность позиционирования: LAM 810-064624-521 обеспечивает погрешность ≤±1 мкм, что критично для процессов alignment (выравнивания) пластин перед травлением, где смещение даже на несколько микронов может привести к искажению микроструктур.
- Адаптивное управление моментом: Алгоритм автоматически корректирует крутящий момент двигателя под вес пластинки, предотвращая срывы и вибрации при старте/остановке — особенно важно для хрупких подложек из стекла или СаС (карбид галлия).
- Долговечность в чистых условиях: Использование специальных смазок с низким выбросом паров и герметичного корпуса предотвращает загрязнение рабочей зоны реактора, что соответствует требованиям чистых комнат класса 5 и исключает брак продукции из-за частиц.
- Интеграция с системами контроля: Лазерный энкодер передает данные о позиции в контроллер через EtherCAT с частотой 1 кГц, что позволяет операторам отслеживать движение в реальном времени и корректировать траекторию при необходимости.
Примеры применения в областях
- Микроэлектроника: в манипуляционных системах плазменных реакторов для позиционирования кремниевых пластин 450 мм при травлении транзисторов 3 нмпроцессности.
- Производство светодиодов: в установках для осаждения GaN-покрытий на подложках蓝宝石，где требуется выравнивание с высокой точностью.
- Наноэлектроника: в экспериментальных камерах для перемещения наноструктурных подложек при нанотравлении.
- Фотонка: в системах литографии для позиционирования маск относительно пластин.
Сравнение с конкурентами
| Характеристика | LAM 810-064624-521 | Applied Materials 0020-89012 | Tokyo Electron M-7300 |
|---|---|---|---|
| Погрешность позиционирования | ≤±1 мкм | ≤±2 мкм | ≤±1,5 мкм |
| Максимальная нагрузка | 50 кг | 40 кг | 45 кг |
| Гарантийный срок | 3 года | 2 года | 2,5 года |
| Тип энкодера | лазерный | оптический | лазерный |
LAM 810-064624-521 выделяется более высокой точностью, большим весовым запасом и длительной гарантией, что делает его предпочтительным для самых требовательных процессов микроэлектронного производства.
Советы по выбору
- Убедитесь, что диапазон перемещения LAM 810-064624-521 (0–500 мм) соответствует габаритам вашего реактора: для больших установок рассмотрите возможность использования двух приводов в синхронном режиме.
- Оцените условия монтажа: При установке в зоны с вибрациями используйте дополнительные амортизационные элементы, чтобы сохранить заявленную репродуцируемость.
- Проверьте совместимость с контроллером: Для систем не от LAM убедитесь в наличии адаптера для EtherCAT или используйте опционную карту MODBUS.
Предостережения
- Монтаж и калибровку LAM 810-064624-521 должен проводить сертифицированный инженер LAM, так как некорректная установка может привести к потере точности и повреждению пластин.
- Регулярно проверяйте состояние лазерного энкодера (рекомендуется раз в 6 месяцев) и очищайте его от пыли с помощью компрессора с фильтром класса HEPA, чтобы избежать искажений сигнала.
- Не превышайте длительность пикового тока (1 секунда), так как постоянная работа в режиме перегрузки может привести к перегреву двигателя и сокращению срока службы.
Для получения подробных руководств по эксплуатации и заказа посетите официальную страницу LAM 810-064624-521.
810-064624-521
