Описание
LAM 810-066590-004 — это специализированный модуль безопасности для систем манипуляции кремниевыми пластинками от компании LAM Research, разработанный для предотвращения повреждений подложек и обеспечения безопасного взаимодействия с агрессивными средами в микроэлектронном производстве. Он интегрируется в манипуляционные системы, контролируя параметры движения и состояние рабочей зоны, что критично для защиты дорогостоящих пластин и обеспечения стабильности технологических процессов.
Описание продукта
LAM 810-066590-004 относится к серии безопасных контроллеров LAM, сочетающих в себе функции мониторинга движения, датчиков давления и температуры, а также системы аварийного останова. Этот модуль работает в паре с сервоуправляемыми приводами, такими как LAM 810-064624-521, обеспечивая контроль за скоростью, ускорением и позицией манипулятора с уровнем безопасности SIL 3. Благодаря встроенным алгоритмам предотвращения аварий LAM 810-066590-004 может мгновенно останавливать движение при превышении допустимых параметров (например, при обнаружении несанкционированного контакта с пластиной) или нарушении герметичности реактора. Его компактная конструкция с антистатическим покрытием позволяет монтировать LAM 810-066590-004 непосредственно вблизи манипуляционных зон, а поддержка протокола Safety over EtherCAT гарантирует быструю интеграцию с контроллерами верхнего уровня. Дополнительная информация о спецификации вы можете найти на LAM 810-066590-004.
Параметры продукта
- Тип устройства: модуль безопасности для манипуляционных систем (SIL 3)
- Уровень безопасности: SIL 3 (IEC 61508), PL e (ISO 13849-1)
- Количество контролируемых осей: 4 (базовое), до 16 с расширениями
- Типы сигналов: датчики положения (EN 60947-5-2), датчики давления, температурные сенсоры
- Время реакции на аварию: ≤10 мс
- Максимальная скорость остановки: 500 мм/с (с торможением с ускорением 1000 мм/с²)
- Рабочее напряжение: 24 В DC (18–30 В)
- Потребляемый ток: 300 мА (постоянный), 500 мА (пиковый)
- Температурный диапазон эксплуатации: 10–40 °C
- Степень защиты: IP54 (защита от пыли и капель влаги)
- Габариты: 120 мм × 80 мм × 60 мм
- Вес: около 1,2 кг
- Сертификация: SEMI S2, IEC 61508 (SIL 3)
- Гарантийный срок: 3 года
Преимущества и особенности
- Высокий уровень безопасности: LAM 810-066590-004 сертифицирован на SIL 3 и PL e, что обеспечивает максимальную защиту кремниевых пластин от повреждений при авариях (например, при неожиданном останове манипулятора или превышении усилий при захвате).
- Интеграция с системами движения: Модуль синхронизируется с серводрайверами через Safety over EtherCAT, что позволяет координировать торможение всех осей одновременно, предотвращая срывы или деформации пластин.
- Многоуровневая диагностика: Встроенные логи событий записывают не только аварийные ситуации, но и предупреждающие сигналы (например, приближение к предельным значениям скорости), что позволяет операторам принимать меры до возникновения полноценного сбоя.
- Гибкость конфигурации: Возможность настройки параметров безопасности (пороги скорости, усилий, температуры) под конкретный процесс (например, обработка тонких пластин 450 мм или хрупких подложек из СаС) делает LAM 810-066590-004 универсальным для разных типов производства.
Примеры применения в областях
- Микроэлектроника: в манипуляционных системах плазменных реакторов для защиты кремниевых пластин 450 мм при загрузке/выгрузке и выравнивании перед травлением.
- Производство светодиодов: в установках для обработки蓝宝石 подложек, где повреждение даже одной пластинки обходится десяткам тысяч долларов.
- Наноэлектроника: в экспериментальных камерах с редкими или уникальными наноструктурными подложками.
- Фотонка: в системах литографии для защиты маск и пластин от механических повреждений при высокоточных движениях.
Сравнение с конкурентами
| Характеристика | LAM 810-066590-004 | Applied Materials 0020-23456 | Tokyo Electron S-8500 |
|---|---|---|---|
| Уровень безопасности | SIL 3, PL e | SIL 2, PL d | SIL 3, PL e |
| Время реакции | ≤10 мс | ≤20 мс | ≤15 мс |
| Количество осей (базовое) | 4 | 2 | 3 |
| Гарантийный срок | 3 года | 2 года | 2,5 года |
LAM 810-066590-004 выделяется быстрым временем реакции, большим количеством контролируемых осей и длительной гарантией, что делает его предпочтительным для высокотехнологичных производств с дорогостоящей продукцией.
Советы по выбору
- Убедитесь, что количество осей LAM 810-066590-004 (4 базовых) соответствует вашей манипуляционной системе: для сложных многоосевых роботов используйте расширения до 16 осей.
- Оцените требования к торможению: Для хрупких пластин (например, из стекла) настройте более мягкое торможение (ускорение ≤500 мм/с²) через программное обеспечение LAM Safety Configurator.
- Проверьте совместимость с серводрайверами: Модуль полностью совместим с приводами LAM, для устройств других брендов убедитесь в поддержке протокола Safety over EtherCAT.
Предостережения
- Настройку безопасности LAM 810-066590-004 должен проводить сертифицированный специалист с допуском на работу с системами SIL 3, так как ошибки в конфигурации могут привести к ложным аварийным остановам или, наоборот, неработе защиты.
- Регулярно проверяйте состояние кабелей и соединений (рекомендуется раз в 3 месяца), особенно в зонах с движением, чтобы избежать разрывов сигналов безопасности.
- Не используйте модуль в условиях температуры выше 40 °C, так как это может снизить надежность электронных компонентов и вызвать несанкционированные срабатывания.
Для получения подробных руководств по эксплуатации и заказа посетите официальную страницу LAM 810-066590-004.
810-066590-004
