Описание
LAM 810-068158-014 — это высокоточный оптический датчик положения для манипуляционных систем от компании LAM Research, разработанный для точного определения положения кремниевых пластин в плазменных реакторах микроэлектронного производства. Он используется для выравнивания (alignment) подложек перед обработкой, обеспечивая微米ровую точность, что критично для равномерности травления и осаждения тонких пленок.
Описание продукта
LAM 810-068158-014 относится к серии оптических сенсоров LAM, сочетающих в себе лазерную triangуляцию и камеру высокого разрешения. Этот датчик сканирует маркеры на поверхности кремниевых пластин, определяя их смещение относительно опорных точек с точностью до субмикронов. Благодаря адаптивной системе освещения LAM 810-068158-014 работает стабильно как с отражающими, так и с матовыми поверхностями пластин, включая те, покрытые тонкими металлическими слоями. Его компактная конструкция с антистатическим покрытием позволяет монтировать LAM 810-068158-014 в плотно заполненные зоны реакторов, а поддержка протокола EtherCAT обеспечивает быструю передачу данных в контроллеры LAM, такие как LAM 810-028296-173. Дополнительная информация о спецификации вы можете найти на LAM 810-068158-014.
Параметры продукта
- Тип устройства: оптический датчик положения с лазерной triangуляцией
- Диапазон измерения: 50–200 мм (расстояние до поверхности)
- Разрешение: 0,1 мкм
- Погрешность позиционирования: ≤±0,5 мкм
- Тип лазера: красный (650 нм), класс 2 (безопасный для глаз)
- Частота сканирования: 10 кГц
- Количество маркеров, обрабатываемых за раз: до 10
- Рабочее напряжение: 24 В DC (18–30 В)
- Потребляемый ток: ≤200 мА
- Температурный диапазон эксплуатации: 15–35 °C
- Степень защиты: IP54 (защита от пыли и капель влаги)
- Габариты: 80 мм × 60 мм × 100 мм
- Вес: около 350 г
- Сертификация: SEMI S2, ISO 14644-1 (класс 5)
- Гарантийный срок: 2,5 года
Преимущества и особенности
- Высокая субмикронная точность: LAM 810-068158-014 обеспечивает погрешность ≤±0,5 мкм, что критично для технологий 3 нмпроцессности, где смещение пластинки на несколько микронов может привести к полному браку микросхем.
- Адаптивное освещение: Система автоматической регулировки интенсивности лазера и экспозиции камеры позволяет датчику работать с различными типами пластин — от чистых кремниевых до тех, покрытых черными фотомасками или металлическими слоями.
- Быстрая обработка данных: Частота сканирования 10 кГц и низкое время отклика (≤1 мс) делают LAM 810-068158-014 совместимым с быстрыми манипуляционными системами, работающими с скоростями до 500 мм/с, не снижая производительность линии.
- Интеграция с системами alignment: Датчик напрямую обменивается данными с серводрайверами через EtherCAT, передавая корректировки положения в реальном времени — это исключает задержки и обеспечивает мгновенное выравнивание пластин перед началом процесса.
Примеры применения в областях
- Микроэлектроника: в манипуляционных системах для alignment кремниевых пластин 450 мм перед травлением транзисторов и интерconnect-структур.
- Производство светодиодов: в установках для выравнивания蓝宝石 подложек с нанесенными GaN-слоями.
- Наноэлектроника: в экспериментальных камерах для позиционирования наноструктурных подложек с высоким уровнем точности.
- Фотонка: в системах литографии для выравнивания маск относительно пластин с погрешностью до субмикронов.
Сравнение с конкурентами
| Характеристика | LAM 810-068158-014 | Applied Materials 0020-45678 | Tokyo Electron O-9200 |
|---|---|---|---|
| Погрешность | ≤±0,5 мкм | ≤±1 мкм | ≤±0,8 мкм |
| Частота сканирования | 10 кГц | 5 кГц | 8 кГц |
| Тип лазера | Красный (безопасный) | Зеленый (класс 3R) | Красный (класс 2) |
| Гарантийный срок | 2,5 года | 2 года | 2 года |
LAM 810-068158-014 выделяется более высокой точностью, быстрой частотой сканирования и безопасным лазером, что делает его предпочтительным для самых требовательных процессов alignment в микроэлектронном производстве.
Советы по выбору
- Убедитесь, что диапазон измерения LAM 810-068158-014 (50–200 мм) соответствует расстоянию от датчика до поверхности пластин в вашем реакторе: для ближних расстояний (30–80 мм) рекомендуется модель LAM 810-068158-015.
- Оцените тип обрабатываемых пластин: Для матовых или темных поверхностей убедитесь в наличии опционального инфракрасного лазера (дополнительная комплектация).
- Проверьте совместимость с манипулятором: Для систем не от LAM убедитесь в поддержке EtherCAT или используйте адаптер для MODBUS TCP.
Предостережения
- Монтаж и калибровку LAM 810-068158-014 должен проводить сертифицированный специалист, так как смещение датчика на несколько градусов может привести к искажению измерений.
- Регулярно чистите объектив лазера и камеры с помощью специальных антистатических салфеток (рекомендуется раз в неделю), чтобы пыль или следы не искажали изображение маркеров.
- Не эксплуатируйте датчик в условиях сильного внешнего освещения (например, ближе 1 м от лазерных проекторов или ярких светодиодных ламп), так как это может снизить точность сканирования.
Для получения подробных руководств по эксплуатации и заказа посетите официальную страницу LAM 810-068158-014
810-068158-014
