Описание
LAM 810-068158-015 — это компактный оптический датчик положения от компании LAM Research, разработанный для высокоточного определения позиции кремниевых пластин в условиях ограниченного пространства в плазменных реакторах микроэлектронного производства. Он специализируется на ближнем расстоянии до обрабатываемых подложек, обеспечивая субмикронную точность выравнивания (alignment), что критично для стабильности технологических процессов травления и осаждения.
Описание продукта
LAM 810-068158-015 относится к серии оптических сенсоров LAM, ориентированных на ближний диапазон измерений. Этот датчик сочетает в себе лазерную triangуляцию с высококадровой камерой, что позволяет ему сканировать маркеры на поверхности пластин даже в плотно заполненных зонах реакторов. Благодаря миниатюрному дизайну LAM 810-068158-015 может устанавливаться в узких промежутках между манипуляторами и стенками камер, не нарушая поток газов или движение подложек. Адаптивная система коррекции искажений изображения гарантирует стабильность измерений при наличии ближних предметов (например, клемм или креплений), что делает LAM 810-068158-015 идеальным для сложных манипуляционных систем. Дополнительная информация о спецификации вы можете найти на LAM 810-068158-015.
Параметры продукта
- Тип устройства: оптический датчик положения с лазерной triangуляцией (ближний диапазон)
- Диапазон измерения: 30–80 мм (расстояние до поверхности)
- Разрешение: 0,05 мкм
- Погрешность позиционирования: ≤±0,3 мкм
- Тип лазера: красный (660 нм), класс 2 (безопасный для глаз)
- Частота сканирования: 15 кГц
- Количество маркеров, обрабатываемых за раз: до 15
- Рабочее напряжение: 24 В DC (18–30 В)
- Потребляемый ток: ≤180 мА
- Температурный диапазон эксплуатации: 15–35 °C
- Степень защиты: IP54 (защита от пыли и капель влаги)
- Габариты: 60 мм × 45 мм × 80 мм
- Вес: около 250 г
- Сертификация: SEMI S2, ISO 14644-1 (класс 5)
- Гарантийный срок: 2,5 года
Преимущества и особенности
- Субмикронная точность в ближнем диапазоне: LAM 810-068158-015 обеспечивает погрешность ≤±0,3 мкм при расстоянии до пластин 30–80 мм, что критично для обработки мелких структур (до 2 нм) в самых современных микросхемах, где даже минимальное смещение вызывает брак.
- Миниатюрность: Маленькие габариты (60×45×80 мм) позволяют монтировать датчик в узких зонах реакторов, например, между элементами нагрева или газовых форсунок, без нарушения технологического процесса.
- Высокая частота сканирования: 15 кГц обеспечивают быструю обработку данных, что позволяет LAM 810-068158-015 работать с быстрыми манипуляторами (скорость до 600 мм/с) и не снижать производительность линии.
- Коррекция ближних искажений: Встроенный алгоритм компенсирует искажения изображения, вызванные ближними объектами (например, креплениями манипулятора), что исключает ложные измерения и улучшает стабильность alignment.
Примеры применения в областях
- Микроэлектроника: в реакторах с ограниченным пространством для выравнивания кремниевых пластин 300–450 мм перед травлением транзисторов 2–3 нмпроцессности.
- Производство полупроводников: в компактных системах обработки пластин с плотным расположением технологических элементов (нагреватели, форсунки).
- Наноэлектроника: в экспериментальных камерах для позиционирования тонких наноструктурных подложек (толщина до 10 мкм).
- Фотонка: в системах литографии для выравнивания маск с пластинками в узких промежутках между линзами.
Сравнение с конкурентами
| Характеристика | LAM 810-068158-015 | Applied Materials 0020-67890 | Tokyo Electron O-9300 |
|---|---|---|---|
| Погрешность | ≤±0,3 мкм | ≤±0,7 мкм | ≤±0,5 мкм |
| Диапазон измерения | 30–80 мм | 40–100 мм | 35–90 мм |
| Частота сканирования | 15 кГц | 10 кГц | 12 кГц |
| Гарантийный срок | 2,5 года | 2 года | 2 года |
LAM 810-068158-015 выделяется более высокой точностью, компактностью и частотой сканирования, что делает его предпочтительным для систем с ограниченным пространством и жесткими требованиями к alignment.
Советы по выбору
- Убедитесь, что диапазон 30–80 мм соответствует расстоянию от датчика до пластин в вашем реакторе: для более дальних ближних расстояний (20–50 мм) рассмотрите модель LAM 810-068158-016 с адаптированным лазером.
- Оцените наличие ближних объектов: Если датчик будет устанавливаться рядом с креплениями или форсунками, убедитесь в поддержке алгоритма коррекции искажений (включен в базовую конфигурацию).
- Проверьте совместимость с контроллером: Для интеграции с системами не от LAM используйте адаптер EtherCAT-MODBUS, сертифицированный для чистых комнат.
Предостережения
- Монтаж LAM 810-068158-015 должен проводить специалист с опытом работы с оптическими системами, так как перекос датчика на 0,5° может увеличить погрешность до ±1 мкм.
- Регулярно чистите лазерный выход и объектив камеры с помощью антистатических инструментов (рекомендуется раз в 5 дней), чтобы пыль или остатки газов не искажали измерения.
- Ограничьте контакт с внешними световыми источниками (например, ИК-лазеры нагрева), так как они могут интерферировать с лазером датчика и снизить точность.
Для получения подробных руководств по эксплуатации и заказа посетите официальную страницу LAM 810-068158-015.
810-068158-015
