Описание
LAM 810-072687-418 — это высокопроизводительный модуль питания для высоковольтных систем от компании LAM Research, разработанный для стабильного электроснабжения генераторов плазмы и высоковольтных датчиков в микроэлектронном производстве. Он обеспечивает регулируемое высокое напряжение в агрессивных условиях, что критично для непрерывности процессов травления и осаждения тонких пленок на кремниевых пластинках.
Описание продукта
LAM 810-072687-418 относится к серии специализированных высоковольтных источников питания LAM, предназначенных для работы в плотно заполненных шкафах реакторов и чистых комнатах класса 5. Этот модуль сочетает в себе компактность и высокую надежность, обеспечивая стабильное высокое напряжение даже при кратковременных перепадах в сетевом электроснабжении. Благодаря продвинутым защитным функциям (от перегрузки, короткого замыкания и электромагнитных помех) LAM 810-072687-418 защищает подключенные устройства, такие как генератор плазмы LAM 810-064624-521 или датчик высокого напряжения LAM 810-017075-003, от повреждений. Его герметичный корпус с антикоррозионным покрытием позволяет монтировать модуль непосредственно вблизи зон с агрессивными газами, сокращая длину кабелей и уменьшая риск помех. Дополнительная информация о спецификации вы можете найти на LAM 810-072687-418.
Параметры продукта
- Тип устройства: высоковольтный модуль питания с регулируемыми выходами
- Количество выходов: 2 независимых канала
- Выходные напряжения: 500 В DC (0,5 А), 1000 В DC (0,3 А)
- Погрешность регулировки: ±0,5% для всех каналов
- Пульсации : ≤50 мВ (на всех выходах)
- Входное напряжение: 200–240 В AC (50/60 Гц)
- Максимальная выходная мощность: 400 Вт
- Тип защиты: от короткого замыкания (автоматическое восстановление), перегрева (отключение при температуре >75 °C), переvoltaжа
- Изоляция: галваническая изоляция между входом и выходами (10 кВ переменного тока, 1 мин)
- Температурный диапазон эксплуатации: 10–45 °C
- Степень защиты: IP65 (защита от пыли и водных струй)
- Габариты: 180 мм × 120 мм × 80 мм
- Вес: около 2,5 кг
- Сертификация: SEMI S2, UL 60950-1
- Гарантийный срок: 3 года
Преимущества и особенности
- Высокая стабильность высоковольтных выходов: LAM 810-072687-418 обеспечивает минимальные пульсации (≤50 мВ) и погрешность ±0,5%, что критично для работы генераторов плазмы, где стабильность напряжения напрямую влияет на равномерность плазменного облака и, как следствие, качество травления микроструктур.
- Коррозионная стойкость: Герметичный корпус с покрытием из нитрида титана и уплотнениями из перфторэластомера защищают внутренние компоненты от воздействия фторсодержащих газов и паров, что увеличивает срок службы модуля до 25 000 часов непрерывной работы — значительно больше, чем у стандартных высоковольтных источников.
- Интеграция с системами контроля: Дигитальный интерфейс (EtherCAT) позволяет отслеживать состояние модуля (ток, напряжение, температура) в реальном времени через контроллер реактора, что упрощает диагностику и предупреждает о возможных сбоях до их возникновения.
- Эффективное охлаждение: Пассивная радиаторная система охлаждения без вентиляторов исключает выброс частиц в чистую комнату, соблюдая требования класса 5, и снижает риск поломок за счет отсутствия подвижных частей.
Примеры применения в областях
- Микроэлектроника: в плазменных реакторах для питания генераторов плазмы при травлении транзисторов 3 нмпроцессности и интерconnect-структур на кремниевых пластинках 450 мм.
- Производство полупроводников: в системах плазменной очистки реакторов для питания электродов, создающих разряд для удаления остатков пленок.
- Наноэлектроника: в экспериментальных установках для синтеза нанотрубок и квантовых точек, где требуется стабильное высокое напряжение для ионизации газовых смесей.
- Фотонка: в системах генерации ультрафиолетового излучения для стерилизации поверхностей пластин перед обработкой.
Сравнение с конкурентами
| Характеристика | LAM 810-072687-418 | Applied Materials 0020-67890 | Tokyo Electron HV-8500 |
|---|---|---|---|
| Максимальное выходное напряжение | 1000 В DC | 800 В DC | 900 В DC |
| Погрешность регулировки | ±0,5% | ±1% | ±0,8% |
| Степень защиты | IP65 | IP54 | IP65 |
| Гарантийный срок | 3 года | 2 года | 2,5 года |
LAM 810-072687-418 выделяется более высоким максимальным напряжением, лучшей стабильностью и длительной гарантией, что делает его предпочтительным для критических высоковольтных систем в микроэлектронном производстве.
Советы по выбору
- Убедитесь, что суммарная нагрузка на все каналы LAM 810-072687-418 не превышает 400 Вт: для более мощных систем (например, с несколькими генераторами) рекомендуется использовать несколько модулей в параллельном режиме с синхронизацией через EtherCAT.
- Оцените условия охлаждения: При монтаже в шкафах с плотным расположением оборудования убедитесь, что температура окружающей среды не превышает 45 °C, или добавьте опционную активную систему охлаждения (доступна по запросу).
- Проверьте совместимость с кабелями: Используйте только высоковольтные кабели с номиналом ≥10 кВ и герметичными соединениями (тип M16), чтобы сохранить степень защиты IP65 и избежать утечек напряжения.
Предостережения
- Монтаж и подключение LAM 810-072687-418 должен проводить квалифицированный электрик с допуском к работе с высоким напряжением и в чистых комнатах, соблюдая правила антистатической защиты и безопасного обращения с высоковольтными системами.
- Не открывайте корпус модуля — это нарушит герметизацию и приведет к потере защиты от коррозионных газов, а также к аннулированию гарантии и риску поражения электрическим током.
- Регулярно проверяйте состояние высоковольтных соединений (рекомендуется раз в 2 месяца) с использованием изоляционных инструментов, чтобы избежать разрывов контактов и утечек напряжения.
Для получения подробных руководств по эксплуатации и заказа посетите официальную страницу LAM 810-072687-418.
810-072687-418
