Описание
LAM 810-072903-014 — это специализированный модуль нагрева для кремниевых пластин от компании LAM Research, разработанный для точного контроля температуры подложек в плазменных реакторах микроэлектронного производства. Он обеспечивает равномерное нагревание с субградусовой точностью, что критично для стабильности процессов травления и осаждения тонких пленок.
Описание продукта
LAM 810-072903-014 относится к серии высокоточных нагревательных модулей LAM, предназначенных для работы с пластинками диаметром 300–450 мм. Этот модуль сочетает в себе мультизональное нагревание и систему постоянного контроля температуры, что позволяет ему поддерживать заданный температурный профиль даже при динамичных изменениях условий в реакторе (например, при подаче холодных газов). Благодаря компактному дизайну и эффективному тепловому управлению LAM 810-072903-014 легко интегрируется в плотно заполненные зоны реакторов, не нарушая газовых трактов или манипуляционных систем. Его совместимость с контроллерами LAM, такими как LAM 810-028296-173, обеспечивает реальное время регулировки параметров нагрева через протокол EtherCAT. Дополнительная информация о спецификации вы можете найти на LAM 810-072903-014.
Параметры продукта
- Тип устройства: мультизональный нагревательный модуль для кремниевых пластин
- Диапазон температур: 50–600 °C
- Погрешность регулировки: ±0,3 °C (в пределах рабочей зоны)
- Равномерность температуры: ≤±0,5 °C по всей поверхности пластинки (для 450 мм)
- Количество нагревательных зон: 8 (распределенные по радиусу)
- Мощность нагрева: 2,5 кВт (суммарная)
- Скорость нагрева: до 10 °C/с (до 300 °C), до 5 °C/с (выше 300 °C)
- Скорость охлаждения: до 8 °C/с (с использованием опционной системы охлаждения)
- Тип датчиков температуры: встроенные термопары типа K (8 штук, по одной на зону)
- Рабочее напряжение: 200–240 В AC (50/60 Гц)
- Интерфейс связи: EtherCAT
- Степень защиты: IP54 (защита от пыли и капель влаги)
- Габариты: 500 мм × 500 мм × 100 мм (для 450-мм пластин)
- Вес: около 15 кг
- Сертификация: SEMI S2, ISO 14644-1 (класс 5)
- Гарантийный срок: 3 года
Преимущества и особенности
- Субградусная равномерность: LAM 810-072903-014 обеспечивает разницу температур по поверхности пластинки не более ±0,5 °C, что критично для процессов осаждения тонких пленок (например, диэлектриков или металлов), где температурные градиенты вызывают разницу в толщине слоев и, как следствие, брак микросхем.
- Мультизональное управление: 8 независимых нагревательных зон позволяют корректировать температурный профиль под специфику реактора (например, компенсировать тепловые потери у стенок камеры), что особенно важно для крупных 450-мм пластин, где энд-эффекты (разница температур на краях и центре) более выражены.
- Быстрое нагревание и охлаждение: Скорость нагрева до 10 °C/с сокращает время технологического цикла, увеличивая производительность линии, а опционная система охлаждения позволяет быстро переходить к следующему этапу процесса без длительного ожидания.
- Защита от перегрева: Встроенные датчики и алгоритм предотвращения перегрева отключают нагрев в случае сбоя в системе регулировки, защищая хрупкие пластинки от деформации или разрушения — особенно важно для подложек из СаС или
Примеры применения в областях
- Микроэлектроника: в плазменных реакторах для нагрева кремниевых пластин 450 мм при травлении транзисторов 3 нмпроцессности и формировании контактных отверстий.
- Производство светодиодов: в установках для осаждения GaN-покрытий на подложках, где температура влияет на кристаллизацию слоев и эффективность светодиодов.
- Наноэлектроника: в экспериментальных камерах для синтеза наноструктур с температурно-зависимой структурой (например, нанотрубок или сверхпроводящих пленок).
- Металлургия тонких пленок: в системах для спекания металлических покрытий (медь, алюминий) для обеспечения равномерной рекристаллизации и улучшения электропроводности.
Сравнение с конкурентами
| Характеристика | LAM 810-072903-014 | Applied Materials 0020-12345 | Tokyo Electron H-9600 |
|---|---|---|---|
| Равномерность температуры (450 мм) | ≤±0,5 °C | ≤±1,2 °C | ≤±0,8 °C |
| Количество нагревательных зон | 8 | 6 | 6 |
| Максимальная скорость нагрева | 10 °C/с | 8 °C/с | 9 °C/с |
| Гарантийный срок | 3 года | 2 года | 2,5 года |
LAM 810-072903-014 выделяется более высокой равномерностью температуры, большим количеством зон и длительной гарантией, что делает его предпочтительным для самых требовательных процессов с 300–450-мм пластинками.
Советы по выбору
- Убедитесь, что габариты модуля соответствуют размеру ваших пластин: LAM 810-072903-014 доступен в вариантах для 300 мм и 450 мм — выберите опцию, соответствующую линии производства.
- Оцените нужды в охлаждении: Для процессов с частым переключением температур (например, последовательное травление и осаждение) добавьте опционную систему охлаждения с жидкостным теплообменником.
- Проверьте совместимость с контроллером: Для интеграции с системами не от LAM убедитесь в наличии адаптера EtherCAT-MODBUS, сертифицированного для чистых комнат.
Предостережения
- Монтаж и калибровку LAM 810-072903-014 должен проводить сертифицированный инженер LAM, так как смещение нагревательной плиты или ошибка в настройке зон может привести к неравномерности температуры и браку продукции.
- Регулярно проверяйте состояние термопар (рекомендуется раз в 6 месяцев) и чистите поверхности от остатков газов или пленок, так как загрязнения могут искажать показания температуры.
- При работе с высокими температурами (выше 500 °C) используйте только специальные керамические подложки для пластин, чтобы избежать их прилипания к нагревательной плите.
Для получения подробных руководств по эксплуатации и заказа посетите официальную страницу LAM 810-072903-014.
810-072903-014
