Описание
LAM 810-073479-215 — это высокоточный модуль анализа газовых смесей от компании LAM Research, разработанный для реального времени контроля состава газов в плазменных реакторах микроэлектронного производства. Он обеспечивает точное определение концентрации реактивных и инертных газов с частотой измерений до 1 кГц, что критично для поддержания стабильности технологических процессов травления и осаждения.
Описание продукта
LAM 810-073479-215 относится к серии газоаналитических модулей LAM, сочетающих в себе спектроскопию в инфракрасном диапазоне и масс-спектрометрию для комплексного анализа газовых смесей. Этот модуль может идентифицировать более 50 типов газов, включая агрессивные фторсодержащие и аммиак, с разрешением до 1 млн分之一 (ppm). Благодаря компактной конструкции и антикоррозионным материалам LAM 810-073479-215 может монтироваться непосредственно в газовые тракты реакторов, обеспечивая задержку измерений ≤100 мс. Он идеально интегрируется с контроллерами газовых систем LAM, например LAM 810-028296-173, передавая данные через EtherCAT для мгновенной корректировки расходов. Дополнительная информация о спецификации вы можете найти на LAM 810-073479-215.
Параметры продукта
- Тип устройства: газоаналитический модуль с ИК-спектроскопией и масс-спектрометрией
- Типы анализируемых газов: инертные (Ar, N₂, He), реактивные (CF₄, SF₆, O₂, NH₃, Cl₂), органические растворители (в паровом виде)
- Диапазон концентрации: 1 ppm – 100%
- Погрешность измерений: ±0,5% для газов с известным спектром
- Частота измерений: до 1 кГц (выбирается по режиму)
- Время отклика: ≤100 мс
- Материалы контактирующие с газом: титан, нитрид титана, PTFE
- Рабочее давление в тракте: 0,1–5 бар
- Рабочее напряжение: 24 В DC (18–30 В) + 220 В AC (для масс-спектрометра)
- Потребляемая мощность: 150 Вт (постоянная)
- Температурный диапазон эксплуатации: 15–40 °C
- Степень герметичности: ≤1×10⁻⁹ Па·м³/с
- Интерфейс связи: EtherCAT, MODBUS TCP
- Габариты: 300 мм × 200 мм × 250 мм
- Вес: около 8 кг
- Сертификация: SEMI S2, ISO 17025 (калибровка)
- Гарантийный срок: 3 года
Преимущества и особенности
- Комбинированный метод анализа: LAM 810-073479-215 использует ИК-спектроскопию для быстрого контроля основных газов и масс-спектрометрию для детального анализа примесей, что обеспечивает как высокую скорость, так и точность — критично для процессов, где даже следы примесей (например, влаги) могут испортить качество пленок.
- Высокая частота измерений: 1 кГц позволяет модулю реагировать на быстрые изменения состава газовой смеси (например, при переключении рецептур), передавая данные в контроллер для мгновенной корректировки расходов через LAM 810-028296-173.
- Коррозионная стойкость: Материалы контактирующие с газом устойчивы к агрессивным средам, включая хлор и фтор, что сохраняет точность измерений в течение 10 000 часов работы без калибровки.
- Автоматическая калибровка: Встроенная система периодической самокалибровки с использованием эталонных газов корректирует погрешность, исключая необходимость частых сервисных визитов и снижая время простоя линии.
Примеры применения в областях
- Микроэлектроника: в газовых трактах плазменных реакторов для контроля смесей фторсодержащих газов при травлении 3 нмтранзисторов, где смещение концентрации на 1% может привести к искажению микроструктур.
- Производство полупроводников: в системах очистки реакторов для проверки полноты удаления остатков газов перед сменой рецептуры.
- Наноэлектроника: в экспериментальных установках для разработки новых газовых смесей с точно контролируемым составом.
- Фармацевтика: в чистых камерах для контроля стерильных газовых сред при производстве медицинских микрочипов.
Сравнение с конкурентами
| Характеристика | LAM 810-073479-215 | Applied Materials 0020-78901 | Tokyo Electron GA-6300 |
|---|---|---|---|
| Методы анализа | ИК + масс-спектрометрия | Только ИК | ИК + хроматография |
| Частота измерений | 1 кГц | 500 Гц | 300 Гц |
| Погрешность | ±0,5% | ±1% | ±0,8% |
| Гарантийный срок | 3 года | 2 года | 2,5 года |
LAM 810-073479-215 выделяется комбинированным методом анализа, высокой частотой измерений и длительной гарантией, что делает его предпочтительным для критических процессов с жесткими требованиями к чистоте газов.
Советы по выбору
- Убедитесь, что модуль поддерживает все газы ваших рецептур: Для редких газов (например, BF₃) заказайте предварительную калибровку на заводе LAM, чтобы обеспечить погрешность ±0,5%.
- Оцените требования к давлению: При работе с давлением выше 5 бар используйте дополнительный редуктор на входе модуля, сертифицированный для агрессивных газов.
- Проверьте условия монтажа: Для установки в зоны с вибрациями (например, рядом с компрессорами) используйте амортизационные подставки, чтобы сохранить точность масс-спектрометра.
Предостережения
- Монтаж и первичную калибровку LAM 810-073479-215 должен проводить сертифицированный специалист с опытом работы с газоаналитическим оборудованием, так как ошибка в подключении может привести к искажению спектров или утечкам газов.
- Регулярно проверяйте фильтры на входе модуля (рекомендуется раз в месяц) и заменяйте их при забивке — загрязнения могут искажать результаты анализа и сократить срок службы детекторов.
- При работе с токсичными газами (Cl₂, NH₃) установите дополнительные системы обнаружения утечек вблизи модуля, даже несмотря на его высокую герметичность.
Для получения подробных руководств по эксплуатации и заказа посетите официальную страницу LAM 810-073479-215
810-073479-215
