Описание
LAM 810-107813-105 — это высокоточный модуль управления питанием для многоканальных систем от компании LAM Research, разработанный для стабильного электроснабжения комплексных плазменных реакторов в микроэлектронном производстве. Он обеспечивает синхронизированное распределение энергии между различными компонентами (датчиками, приводами, нагревательными модулями) с высоким уровнем надежности, что критично для непрерывности технологических процессов.
Описание продукта
LAM 810-107813-105 относится к серии многоканальных источников питания LAM, предназначенных для работы в чистых комнатах класса 5 и агрессивных условиях. Этот модуль сочетает в себе несколько независимых регулируемых каналов, что позволяет ему питать сразу несколько устройств, таких как оптический датчик LAM 810-068158-014 и серводрайвер LAM 810-064624-521, не требуя отдельных источников. Благодаря адаптивной системе стабилизации напряжения LAM 810-107813-105 компенсирует кратковременные перепады в сетевом электроснабжении, поддерживая стабильные параметры на всех выходах. Его компактная конструкция с антистатическим покрытием позволяет монтировать модуль в плотно заполненные шкафы реакторов, а поддержка протокола EtherCAT обеспечивает удаленное управление и диагностику через контроллеры LAM. Дополнительная информация о спецификации вы можете найти на LAM 810-107813-105.
Параметры продукта
- Тип устройства: многоканальный модуль управления питанием с регулируемыми выходами
- Количество каналов: 8 независимых
- Выходные напряжения: 5 В DC (3 А), 12 В DC (2 А), 24 В DC (5 А) — конфигурация подбирается по запросу
- Погрешность регулировки: ±0,2% для всех каналов
- Пульсации ≤10 мВ
- Входное напряжение: 100–240 В AC (50/60 Гц)
- Максимальная выходная мощность: 200 Вт
- Тип защиты: от перегрузки, короткого замыкания (автоматическое восстановление), переvoltaжа и перегрева
- Изоляция: галваническая между входом и выходами (2 кВ, 1 мин), между каналами (1 кВ)
- Температурный диапазон эксплуатации: 0–40 °C
- Степень защиты: IP20 (для монтажа в шкафу)
- Габариты: 160 мм × 100 мм × 60 мм
- Вес: около 1,2 кг
- Сертификация: SEMI S2, UL 60950-1
- Гарантийный срок: 3 года
Преимущества и особенности
- Многофункциональность: LAM 810-107813-105 заменяет несколько отдельных источников питания, сокращая количество кабелей и свободное пространство в шкафу — особенно важно для сложных систем с множеством датчиков и исполнительных устройств.
- Высокая стабильность: Погрешность регулировки ±0,2% и минимальные пульсации (≤10 мВ) защищают чувствительные электроники, такие как лазерные энкодеры и оптические датчики, от повреждений, вызванных нестабильностью напряжения.
- Интеграция с системами контроля: Протокол EtherCAT позволяет операторам отслеживать параметры каждого канала (ток, напряжение, температура модуля) в реальном времени и регулировать их через контроллер, что упрощает диагностику и предотвращает аварии.
- Надежные защитные функции: Автоматическое отключение при коротком замыкании или перегреве, а также последующее восстановление работы после устранения неисправности, минимизируют время простоя линии и защищают подключенные устройства от повреждений.
Примеры применения в областях
- Микроэлектроника: в шкафах плазменных реакторов для питания комплексов датчиков, приводов и управляющих модулей на линии производства кремниевых пластин 450 мм.
- Производство полупроводников: в системах подготовки пластин для координации питания манипуляторов и нагревательных модулей.
- Автоматизация чистых комнат: в комплексах управления параметрами воздуха для питания сенсоров влажности, температуры и фильтров.
- Нанотехнологические центры: в экспериментальных установках с множеством разнотипных устройств, где требуется компактное и надежное электроснабжение.
Сравнение с конкурентами
| Характеристика | LAM 810-107813-105 | Applied Materials 0020-98765 | Tokyo Electron P-4100 |
|---|---|---|---|
| Количество каналов | 8 | 6 | 6 |
| Погрешность регулировки | ±0,2% | ±0,5% | ±0,3% |
| Поддержка EtherCAT | Да | Нет | Да |
| Гарантийный срок | 3 года | 2 года | 2,5 года |
LAM 810-107813-105 выделяется большим количеством каналов, высокой стабильностью и возможностью удаленного управления, что делает его предпочтительным для сложных систем с разнотипными устройствами.
Советы по выбору
- Убедитесь, что конфигурация выходных напряжений соответствует вашим устройствам: LAM 810-107813-105 доступен в вариантах с разным сочетанием 5 В, 12 В и 24 В — выберите опцию, соответствующую потребностям вашего оборудования.
- Оцените требуемую мощность: При подключении устройств с суммарной потребностью свыше 200 Вт используйте несколько модулей в параллельном режиме с синхронизацией.
- Проверьте условия монтажа: Модуль требует принудительной вентиляции в шкафу при работе с нагрузкой выше 70% максимальной мощности, чтобы избежать перегрева.
Предостережения
- Монтаж и подключение LAM 810-107813-105 должен проводить квалифицированный электрик, соблюдая правила антистатической защиты, особенно при работе с чувствительными компонентами в чистых комнатах.
- Не превышайте максимальные параметры для каждого канала (ток, напряжение), так как это может привести к перегреву модуля и повреждению подключенных устройств.
- Регулярно проверяйте состояние соединений (рекомендуется раз в 6 месяцев) и убедитесь, что кабели надежно закреплены — ослабление контактов может вызвать повышенные пульсации и искажения сигналов.
Для получения подробных руководств по эксплуатации и заказа посетите официальную страницу LAM 810-107813-105.
810-107813-105
