Описание
LAM 810-135227-003 — это специализированный модуль вакуумного контроля от компании LAM Research, разработанный для точного регулирования и мониторинга вакуумных параметров в плазменных реакторах микроэлектронного производства. Он обеспечивает стабильное поддержание низких давлений (до 10⁻⁹ Па) с субмикронной точностью, что критично для качества травления и осаждения тонких пленок на кремниевых пластинках.
Описание продукта
LAM 810-135227-003 относится к серии высокоточных вакуумных контроллеров LAM, сочетающих в себе сенсоры давления и системы регулировки вакуумных клапанов. Этот модуль может работать с различными типами вакуумных насосов (ти涡轮분olecularные, диффузионные) и быстро корректировать давление при изменениях в реакторе, например, при подаче газовых смесей. Благодаря компактному дизайну и антикоррозионным материалам LAM 810-135227-003 монтируется непосредственно в вакуумные тракты, сокращая задержку в измерениях до 1 мс. Он идеально интегрируется с контроллерами газовых систем LAM, такими как LAM 810-028296-173, передавая данные через EtherCAT для синхронизации с процессами травления. Дополнительная информация о спецификации вы можете найти на LAM 810-135227-003.
Параметры продукта
- Тип устройства: вакуумный контроллер с интегрированными сенсорами и регулировочными клапанами
- Диапазон измерения давления: 10⁻⁹ – 10³ Па
- Погрешность измерений: ±0,5% в диапазоне 10⁻⁷ – 10³ Па; ±2% в диапазоне 10⁻⁹ – 10⁻⁷ Па
- Тип сенсоров: ионизационные (для низких давлений) и пьезорезистентные (для средних и высоких)
- Скорость регулировки давления: до 0,1 Па/мс
- Количество регулируемых трактов: 2 независимых
- Тип регулируемых клапанов: электропневматические с минимальным утечкой (≤1×10⁻¹² Па·м³/с)
- Рабочее напряжение: 24 В DC (18–30 В)
- Потребляемый ток: ≤250 мА
- Температурный диапазон эксплуатации: 15–40 °C
- Степень герметичности: ≤1×10⁻¹¹ Па·м³/с
- Интерфейс связи: EtherCAT, MODBUS TCP
- Габариты: 220 мм × 150 мм × 100 мм
- Вес: около 3,5 кг
- Сертификация: SEMI S2, ISO 14644-1 (класс 5)
- Гарантийный срок: 3 года
Преимущества и особенности
- Широкий диапазон измерений: LAM 810-135227-003 покрывает давления от ультравакуума (10⁻⁹ Па) до низких вакуумов (10³ Па), что позволяет использовать его в различных этапах процессов — от подготовки реактора (высокий вакуум) до активного травления (средний вакуум с газами).
- Скоростная регулировка: Возможность изменения давления до 0,1 Па/мс критична для быстрых переходов между технологическими стадиями (например, при смене газовых смесей), предотвращая образования неравномерностей на поверхности пластин.
- Двухсенсорная система: Совмещение ионизационных и пьезорезистентных сенсоров обеспечивает точность как в ультравакууме, так и при наличии реактивных газов, где пьезорезистентные датчики устойчивы к коррозии.
- Предиктивная диагностика: Алгоритмы анализа данных отслеживают постепенное снижение герметичности или замедление отклика клапанов, отправляя уведомления операторам за 2–3 недели до возможного сбоя — это позволяет планировать обслуживание без остановки линии.
Примеры применения в областях
- Микроэлектроника: в плазменных реакторах для контроля давления при травлении 3 нмтранзисторов и формировании контактных отверстий на 450-мм кремниевых пластинках.
- Производство полупроводников: в системах вакуумной подготовки реакторов для удаления остатков воздуха и влаги перед началом процессов.
- Наноэлектроника: в экспериментальных камерах для синтеза наноструктур, где стабильность вакуума влияет на размер и форму наночеренков.
- Астрономическая техника: в лабораторных установках для имитации космического вакуума при тестировании микроэлектронных компонентов для спутников.
Сравнение с конкурентами
| Характеристика | LAM 810-135227-003 | Applied Materials 0020-56789 | Tokyo Electron V-7300 |
|---|---|---|---|
| Нижний предел давления | 10⁻⁹ Па | 10⁻⁸ Па | 10⁻⁹ Па |
| Скорость регулировки | 0,1 Па/мс | 0,5 Па/мс | 0,3 Па/мс |
| Количество трактов | 2 | 1 | 1 |
| Гарантийный срок | 3 года | 2 года | 2,5 года |
LAM 810-135227-003 выделяется более широким диапазоном измерений, высокой скоростью регулировки и возможностью управления двумя трактами, что делает его идеальным для сложных реакторов с несколькими зонами вакуума.
Советы по выбору
- Убедитесь, что диапазон давления соответствует вашим процессам: Для работы исключительно в ультравакууме (ниже 10⁻⁸ Па) можно выбрать упрощенную версию с одним ионизационным сенсором, но LAM 810-135227-003 с двухсенсорной системой остается более универсальным.
- Оцените количество трактов: Если реактор имеет несколько независимых вакуумных зон, используйте несколько модулей LAM 810-135227-003 с синхронизацией через EtherCAT.
- Проверьте совместимость с насосами: Для турбомолекулярных насосов с высоким расходом убедитесь в поддержке дополнительного адаптера для сигналов управления (доступен как опциональная комплектация).
Предостережения
- Монтаж и калибровку LAM 810-135227-003 должен проводить сертифицированный специалист с опытом работы с вакуумными системами, так как даже небольшое смещение сенсоров или утечка в тракте может искажать измерения.
- Регулярно чистите ионизационные сенсоры от остатков реактивных газов (рекомендуется раз в 3 месяца) с использованием специальных антистатических средств — загрязнения снижают точность в ультравакууме.
- При работе с агрессивными газами (например, фторсодержащими) используйте дополнительные фильтры на входе вакуумного тракта, чтобы защитить клапаны от коррозии, даже несмотря на антикоррозионное покрытие модуля.
Для получения подробных руководств по эксплуатации и заказа посетите официальную страницу LAM 810-135227-003.
810-135227-003
