Описание
LAM 810-240888-002 — это специализированный модуль контроля качества поверхностей кремниевых пластин от компании LAM Research, разработанный для высокоточного анализа микроструктур и дефектов на подложках в микроэлектронном производстве. Он обеспечивает неразрушающий контроль с субмикронным разрешением, что критично для предотвращения брака на ранних этапах технологического процесса.
Описание продукта
LAM 810-240888-002 относится к серии оптических систем контроля LAM, сочетающих в себе конфокальную микроскопию и спектроскопию в ультрафиолетовом диапазоне. Этот модуль сканирует поверхность пластинок диаметром 300–450 мм, детектируя дефекты размером от 0,1 мкм (включая царапины, вмятины, загрязнения и неравномерности пленок). Благодаря быстрому сканированию (до 100 мм²/с) LAM 810-240888-002 интегрируется в поток производства без снижения производительности, передавая данные в контроллеры качества LAM, такие как LAM 810-028296-173, через протокол EtherCAT. Его компактная конструкция с антистатическим покрытием позволяет монтировать модуль в зоны между технологическими станциями, а адаптивная система освещения гарантирует стабильность измерений для разных типов поверхностей (от металлических до диэлектрических). Дополнительная информация о спецификации вы можете найти на LAM 810-240888-002.
Параметры продукта
- Тип устройства: оптический модуль контроля качества с конфокальной микроскопией
- Диапазон сканирования: 300–450 мм (диаметр пластинки)
- Разрешение: 0,05 мкм (по плоскости XY), 0,1 нм (по оси Z — толщина пленок)
- Тип дефектов, детектируемых: царапины, вмятины, загрязнения, неравномерности пленок, разрывы линий
- Скорость сканирования: до 100 мм²/с (в режиме высокого разрешения)
- Тип источника света: ультрафиолетовый лазер (266 нм) + белый свет (LED)
- Количество каналов анализа: 3 (оптический, спектральный, флуоресцентный)
- Интерфейс связи: EtherCAT, Gigabit Ethernet
- Рабочее напряжение: 24 В DC (18–30 В)
- Потребляемый ток: ≤500 мА
- Температурный диапазон эксплуатации: 20–25 °C (с контролем стабильности ±0,1 °C)
- Степень защиты: IP54 (защита от пыли и капель влаги)
- Габариты: 400 мм × 300 мм × 200 мм
- Вес: около 12 кг
- Сертификация: SEMI S2, ISO 14644-1 (класс 5)
- Гарантийный срок: 3 года
Преимущества и особенности
- Субмикронное разрешение: LAM 810-240888-002 детектирует дефекты размером от 0,1 мкм, что критично для технологий 3 нмпроцессности, где даже минимальные несовершенства могут испортить работу микросхем.
- Мультиканальный анализ: Совмещение оптического сканирования, спектроскопии и флуоресцентного контроля позволяет модулю отличать типы дефектов (например, металлические загрязнения от органических), что упрощает классификацию брака и корректировку технологий.
- Интеграция в поток производства: Высокая скорость сканирования (100 мм²/с) и низкое время обработки данных (≤1 с) позволяют использовать LAM 810-240888-002 в линиях с производительностью до 60 пластин в час, не создавая задержек.
- Автоматическое обучение: Алгоритмы машинного обучения адаптируются под специфику производимых пластин, улучшая точность детекции дефектов при изменении рецептур (например, переходе на новую толщину пленок).
Примеры применения в областях
- Микроэлектроника: после травления транзисторов и формирования контактных отверстий для проверки размеров структур и отсутствия царапин на 450-мм пластинках.
- Производство полупроводников: после осаждения тонких металлических слоев (алюминий, медь) для контроля равномерности толщины и отсутствия пылевых включений.
- Наноэлектроника: в экспериментальных зонах для анализа наноструктур (нанотрубок, квантовых точек) на подложках.
- Фотонка: в производстве оптических пластин для детекции дефектов на поверхностях линз и дифракционных решеток.
Сравнение с конкурентами
| Характеристика | LAM 810-240888-002 | Applied Materials 0020-67834 | Tokyo Electron QC-9200 |
|---|---|---|---|
| Разрешение | 0,05 мкм | 0,1 мкм | 0,08 мкм |
| Скорость сканирования | 100 мм²/с | 70 мм²/с | 85 мм²/с |
| Типы анализа | Оптический + спектральный + флуоресцентный | Только оптический | Оптический + спектральный |
| Гарантийный срок | 3 года | 2 года | 2,5 года |
LAM 810-240888-002 выделяется более высоким разрешением, скоростью сканирования и многосторонним анализом дефектов, что делает его предпочтительным для самых требовательных процессов контроля качества.
Советы по выбору
- Убедитесь, что модуль соответствует размеру ваших пластин: LAM 810-240888-002 доступен в вариантах для 300 мм и 450 мм — выберите опцию под вашу линию производства.
- Оцените нужды в дополнительных функциях: Для анализа прозрачных пленок (например, SiO₂) добавьте опционную инфракрасную камеру (доступна по запросу).
- Проверьте условия установки: Модуль требует стабильной температуры (±0,1 °C) и отсутствия вибраций, поэтому монтируйте его на виброизоляционных подставках и подключите к системам кондиционирования воздуха.
Предостережения
- Калибровку и чистку оптических компонентов LAM 810-240888-002 должен проводить сертифицированный специалист LAM, так как искажения линз или смещение микроскопа могут привести к ложным результатам контроля.
- Регулярно заменяйте фильтры воздуха в зоне установки (рекомендуется раз в месяц), чтобы предотвратить попадание пыли на сканируемые поверхности и оптические элементы модуля.
- Не эксплуатируйте модуль при температурных колебаниях выше ±0,5 °C — это может искажать данные о толщине пленок и размеров дефектов.
Для получения подробных руководств по эксплуатации и заказа посетите официальную страницу LAM 810-240888-002.
810-240888-002
