Описание
LAM 810-330658-002 — это высокоточный модуль позиционирования манипуляторов для кремниевых пластин от компании LAM Research, разработанный для сверхточного движения подложек в плазменных реакторах и системах обработки микроэлектронного производства. Он обеспечивает позиционирование с субмикронной точностью и высокой динамикой, что критично для равномерности травления и осаждения тонких пленок на 300–450-мм пластинках.
Описание продукта
LAM 810-330658-002 относится к серии сервоуправляющих модулей LAM, сочетающих в себе высокопроизводительные двигатели и лазерные энкодеры для обратной связи. Этот модуль управляет тремя осями движения (X, Y, θ — вращение) манипулятора, обеспечивая синхронизированные перемещения с максимальной скоростью до 500 мм/с. Благодаря адаптивному алгоритму коррекции динамических искажений LAM 810-330658-002 компенсирует вибрации и инерционные нагрузки при быстрых переменах направления, что гарантирует стабильность позиционирования даже при работе с тяжелыми 450-мм пластинками. Он идеально интегрируется с контроллерами LAM, такими как LAM 810-028296-173, и датчиками положения LAM 810-068158-015, передавая данные через EtherCAT для реального времени корректировки траекторий. Дополнительная информация о спецификации вы можете найти на LAM 810-330658-002.
Параметры продукта
- Тип устройства: сервоуправляющий модуль для трехосного позиционирования манипуляторов
- Диапазон перемещения (X/Y): ±200 мм (для 450-мм пластин)
- Диапазон вращения (θ): ±5°
- Точность позиционирования: ≤±0,1 мкм (по X/Y), ≤±0,001° (по θ)
- Максимальная скорость: 500 мм/с (по X/Y), 10°/с (по θ)
- Максимальное ускорение: 1000 мм/с² (по X/Y), 5°/с² (по θ)
- Тип двигателей: серводвигатели с постоянными магнитами (BLDC)
- Тип энкодеров: лазерные interferометры с разрешением 0,01 мкм
- Рабочее напряжение: 48 В DC (40–56 В)
- Потребляемая мощность: до 500 Вт (при максимальной нагрузке)
- Температурный диапазон эксплуатации: 15–35 °C
- Степень защиты: IP54 (защита от пыли и капель влаги)
- Габариты: 350 мм × 250 мм × 180 мм
- Вес: около 18 кг
- Сертификация: SEMI S2, ISO 13849-1 (PL d)
- Гарантийный срок: 3 года
Преимущества и особенности
- Субмикронная точность: LAM 810-330658-002 обеспечивает позиционирование с погрешностью ≤±0,1 мкм, что критично для технологий 3 нмпроцессности, где смещение даже на 0,5 мкм может привести к искажению контактных отверстий или транзисторных структур.
- Высокая динамика: Максимальная скорость 500 мм/с и ускорение 1000 мм/с² сокращают время перестановки пластин между технологическими зонами, увеличивая производительность линии на 15–20% по сравнению с стандартными модулями.
- Адаптивная коррекция: Алгоритм реального времени компенсирует неопределенности (например, износ подшипников или температурные расширения), поддерживая стабильность точности в течение всего срока службы без частых калибровок.
- Интеграция с системами контроля качества: Модуль передает данные о фактической траектории движения в контроллеры качества LAM, что позволяет коррелировать смещения позиционирования с дефектами на пластинках и корректировать технологию.
Примеры применения в областях
- Микроэлектроника: в манипуляционных системах плазменных реакторов для позиционирования 450-мм кремниевых пластин перед травлением и осаждением 3 нмтранзисторов.
- Производство полупроводников: в системах подготовки пластин для точного выравнивания (alignment) с масками литографии.
- Наноэлектроника: в экспериментальных установках для позиционирования тонких наноструктурных подложек с разрешением до 0,1 мкм.
- Фотонка: в системах литографии для координации движения пластин и оптических компонентов при экспозиции.
Сравнение с конкурентами
| Характеристика | LAM 810-330658-002 | Applied Materials 0020-11234 | Tokyo Electron POS-7500 |
|---|---|---|---|
| Точность позиционирования | ≤±0,1 мкм | ≤±0,3 мкм | ≤±0,2 мкм |
| Максимальная скорость | 500 мм/с | 400 мм/с | 450 мм/с |
| Тип энкодеров | Лазерные interferометры | Оптические энкодеры | Магнитные энкодеры |
| Гарантийный срок | 3 года | 2 года | 2,5 года |
LAM 810-330658-002 выделяется более высокой точностью, динамикой и типом энкодеров, что делает его предпочтительным для самых требовательных процессов позиционирования.
Советы по выбору
- Убедитесь, что модуль соответствует габаритам ваших манипуляторов: LAM 810-330658-002 доступен в вариантах для 300 мм и 450 мм пластин — уточните размер при заказе.
- Оцените требования к эnergyэффективности: При работе в режимах постоянного движения (больше 8 часов в сутки) выберите опционную систему рекуперации энергии, снижающую потребление на 20%.
- Проверьте совместимость с энкодерами: Для повышения надежности используйте только оригинальные лазерные interferометры LAM, сертифицированные для работы с LAM 810-330658-002.
Предостережения
- Монтаж и калибровку LAM 810-330658-002 должен проводить сертифицированный инженер LAM, так как смещение оси модуля на 0,1 мм может привести к систематической погрешности позиционирования.
- Регулярно проверяйте состояние лазерных энкодеров и очищайте их от пыли (рекомендуется раз в месяц), так как загрязнения могут искажать сигналы обратной связи.
- Ограничьте вибрации в зоне установки (амплитуда ≤1 мкм) с помощью виброизоляционных подставок, чтобы не нарушать точность позиционирования.
Для получения подробных руководств по эксплуатации и заказа посетите официальную страницу LAM 810-330658-002.
810-330658-002
