Описание
LAM 810-495659-006 — это многофункциональный модуль газового контроля для плазменных реакторов от компании LAM Research, разработанный для точного регулирования расходов и состава газовых смесей в микроэлектронном производстве. Он обеспечивает стабильность технологических процессов травления и осаждения, что критично для качества тонких пленок на кремниевых пластинках.
Описание продукта
LAM 810-495659-006 относится к серии высокоточных газовых контроллеров LAM, сочетающих в себе несколько независимых каналов регулировки и систему анализа состава смесей. Этот модуль поддерживает до 8 газовых трактов, включая агрессивные фторсодержащие и аммиак, с возможностью быстрого переключения рецептур за 50 мс. Благодаря интегрированным масс-расходомерам LAM 810-495659-006 обеспечивает точность регулировки ±0,5% полного диапазона, а встроенный датчик давления компенсирует колебания в сетевых линиях. Он идеально синхронизируется с контроллерами реакторов LAM, такими как LAM 810-028296-173, и модулями безопасности LAM 810-227611-003, передавая данные через EtherCAT для мгновенной корректировки режимов. Дополнительная информация о спецификации вы можете найти на LAM 810-495659-006.
Параметры продукта
- Тип устройства: многоканальный газовый контроллер с регулируемыми расходами
- Количество каналов: 8 независимых (расширяется до 16 через опционные модули)
- Типы поддерживаемых газов: инертные (Ar, N₂, He), реактивные (CF₄, SF₆, O₂, NH₃, Cl₂), смеси газов
- Диапазон расходов: 0,1–5000 см³/мин (нормальные условия)
- Погрешность регулировки: ±0,5% полного диапазона
- Время переключения рецептур: ≤50 мс
- Тип регуляторов: электропневматические с антикоррозионным покрытием
- Рабочее давление на входе: 2–5 бар
- Рабочее напряжение: 24 В DC (18–30 В)
- Потребляемый ток: ≤350 мА
- Температурный диапазон эксплуатации: 15–40 °C
- Степень герметичности: ≤1×10⁻⁹ Па·м³/с
- Интерфейс связи: EtherCAT, MODBUS TCP
- Габариты: 280 мм × 200 мм × 120 мм
- Вес: около 7 кг
- Сертификация: SEMI S2, ISO 17025 (калибровка)
- Гарантийный срок: 3 года
Преимущества и особенности
- Высокая точность регулировки: LAM 810-495659-006 обеспечивает погрешность ±0,5%, что критично для технологий 3 нмпроцессности, где даже небольшое смещение концентрации газов может привести к искажению транзисторных структур.
- Быстрое переключение рецептур: Время ≤50 мс между разными газовыми смесями сокращает время подготовки реактора, увеличивая производительность линии на 10–15% по сравнению с аналогами.
- Коррозионная стойкость: Материалы контактирующие с газами ( титан, нитрид титана, PTFE) обеспечивают стабильность работы с агрессивными средами в течение 15 000 часов без замены компонентов.
- Предиктивная диагностика: Алгоритмы анализа данных отслеживают постепенное снижение точности регуляторов или увеличение утечек, отправляя уведомления операторам за 1–2 месяца до возможного сбоя — это позволяет планировать обслуживание без остановки производства.
Примеры применения в областях
- Микроэлектроника: в плазменных реакторах для регулировки смесей фторсодержащих газов при травлении 3 нмтранзисторов на 450-мм кремниевых пластинках.
- Производство полупроводников: в системах осаждения металлических пленок (алюминий, медь) для контроля расходов реактивных газов и поддержания равномерности слоев.
- Наноэлектроника: в экспериментальных установках для разработки новых газовых рецептур с точно контролируемым составом.
- Фармацевтика: в чистых камерах для подачи стерильных газовых сред при производстве медицинских микрочипов.
Сравнение с конкурентами
| Характеристика | LAM 810-495659-006 | Applied Materials 0020-55678 | Tokyo Electron GC-8300 |
|---|---|---|---|
| Количество каналов | 8 (расширяется до 16) | 6 | 6 (расширяется до 12) |
| Погрешность регулировки | ±0,5% | ±1% | ±0,8% |
| Время переключения рецептур | ≤50 мс | ≤100 мс | ≤80 мс |
| Гарантийный срок | 3 года | 2 года | 2,5 года |
LAM 810-495659-006 выделяется более высокой точностью, быстрым переключением рецептур и большим количеством каналов, что делает его предпочтительным для сложных реакторов с разнообразными технологическими этапами.
Советы по выбору
- Убедитесь, что модуль поддерживает все газы ваших рецептур: Для редких газов (например, BF₃, WF₆) закажите предварительную калибровку на заводе LAM, чтобы сохранить погрешность ±0,5%.
- Оцените нужды в расширенении: Если требуется больше 8 каналов, используйте опционные расширения, сертифицированные для LAM 810-495659-006, чтобы избежать потери синхронизации.
- Проверьте условия питания: При работе с нестабильным входным давлением (2–3 бар) установите дополнительный стабилизатор, сертифицированный для агрессивных газов.
Предостережения
- Монтаж и первичную калибровку LAM 810-495659-006 должен проводить специалист с сертификатом на работу с газовыми системами класса SEMI S2, так как ошибка в подключении может привести к утечкам токсичных газов или искажению рецептур.
- Регулярно проверяйте фильтры на входе каналов (рекомендуется раз в месяц) и заменяйте их при забивке — загрязнения могут повредить регуляторы и снизить точность.
- При работе с токсичными или коррозионными газами установите дополнительные системы обнаружения утечек вблизи модуля, даже несмотря на его высокую герметичность.
Для получения подробных руководств по эксплуатации и заказа посетите официальную страницу LAM 810-495659-006.
810-495659-006
