Описание
LAM 810-495659-304 — это расширенный многоканальный модуль газового контроля от компании LAM Research, разработанный для высокопроизводительных плазменных реакторов в микроэлектронном производстве. Он обеспечивает точное регулирование расходов и состава газовых смесей с повышенной мощностью и гибкостью, что критично для масштабного производства кремниевых пластин 450 мм и технологий 2 нмпроцессности.
Описание продукта
LAM 810-495659-304 относится к обновленной серии газовых контроллеров LAM, отличаясь увеличенным количеством каналов и расширенным диапазоном поддерживаемых газов. Этот модуль может управлять до 12 независимыми газовыми трактами, включая высокотоксичные и коррозионные соединения (например, ClF₃, BCl₃), а также газовые смеси с высоким содержанием паров. Благодаря адаптивной системе компенсации давления LAM 810-495659-304 стабилитрует расходы даже при резких перепадах в сетевых линиях, а встроенный спектрометр обеспечивает реальное время анализ состава смесей для мгновенной корректировки. Он идеально интегрируется с контроллерами реакторов LAM 810-028296-173 и модулями вакуумного контроля LAM 810-135227-003, синхронизируя газовые параметры с вакуумными режимами через протокол EtherCAT. Дополнительная информация о спецификации вы можете найти на LAM 810-495659-304.
Параметры продукта
- Тип устройства: расширенный многоканальный газовый контроллер с реальным анализом состава
- Количество каналов: 12 независимых (расширяется до 24 через опционные модули)
- Типы поддерживаемых газов: инертные, реактивные (включая ClF₃, BCl₃, WF₆), газо-паровые смеси
- Диапазон расходов: 0,01–10 000 см³/мин (нормальные условия)
- Погрешность регулировки: ±0,3% полного диапазона
- Время переключения рецептур: ≤30 мс
- Тип регуляторов: высокоточность электропневматические с покрытием из нитрида титана
- Рабочее давление на входе: 1–7 бар
- Встроенный спектрометр: разрешение 0,1 нм (для идентификации примесей)
- Рабочее напряжение: 24 В DC (18–30 В)
- Потребляемый ток: ≤500 мА
- Температурный диапазон эксплуатации: 10–45 °C
- Степень герметичности: ≤5×10⁻¹⁰ Па·м³/с
- Интерфейс связи: EtherCAT, PROFINET, MODBUS TCP
- Габариты: 320 мм × 250 мм × 150 мм
- Вес: около 10 кг
- Сертификация: SEMI S2, ISO 17025, CE PED
- Гарантийный срок: 3 года
Преимущества и особенности
- Высокая производительность: LAM 810-495659-304 поддерживает расходы до 10 000 см³/мин, что позволяет его использовать в крупных реакторах для обработки 450-мм пластин с повышенной скоростью травления и осаждения.
- Суперпрецизионная регулировка: Погрешность ±0,3% и время переключения рецептур ≤30 мс критично для технологий 2 нм, где микронные изменения концентрации газов могут привести к искажению структуры транзисторов.
- Интегрированный спектрометр: Модуль анализирует состав смесей в реальном времени, детектируя примеси размером от 1 ppm, что исключает брак, вызванный загрязнением газовых трактов.
- Расширенная защита: Системы защиты от утечек (допплерометрические датчики) и перегрева автоматически блокируют каналы при аварии, предотвращая риск поражения персонала и повреждения оборудования при работе с токсичными газами.
Примеры применения в областях
- Микроэлектроника: в линиях производства 450-мм кремниевых пластин для регулировки смесей фторсодержащих газов при травлении 2 нмтранзисторов.
- Производство полупроводников: в системах плазменной обработки для синтеза высококачественных диэлектрических слоев (например, HfO₂) с точным контролем состава.
- Наноэлектроника: в экспериментальных установках для разработки новых газовых рецептур с уникальными смесями, требующими сверхточной регулировки.
- Аэрокосмическая промышленность: в системах очистки и обработки компонентов из специальных сплавов, где требуется контроль за агрессивными газами.
Сравнение с конкурентами
| Характеристика | LAM 810-495659-304 | Applied Materials 0020-99876 | Tokyo Electron GC-9400 |
|---|---|---|---|
| Количество каналов | 12 (до 24) | 8 (до 16) | 10 (до 20) |
| Максимальный расход | 10 000 см³/мин | 8 000 см³/мин | 9 000 см³/мин |
| Погрешность | ±0,3% | ±0,7% | ±0,5% |
| Встроенный спектрометр | Да | Нет | Да |
| Гарантийный срок | 3 года | 2 года | 2,5 года |
LAM 810-495659-304 выделяется более высоким количеством каналов, максимальным расходом, точностью регулировки и наличием встроенного спектрометра, что делает его лидером для крупных производств с жесткими требованиями.
Советы по выбору
- Определите требуемые газы и расходы: Конфигурацию LAM 810-495659-304 можно адаптировать под конкретные газы (включая редкие) и диапазоны расходов — уточните параметры при заказе для оптимизации стоимости.
- Оцените нужды в защите: Для работы с высокотоксичными газами (ClF₃, AsH₃) добавьте опционную систему с двойной герметизацией и автоматическим нейтрализатором утечек.
- Проверьте условия монтажа: Модуль требует стабильного температурного режима (±1 °C) и отсутствия вибраций, поэтому установите его на виброизоляционных подставках в защищенных шкафах.
Предостережения
- Монтаж, калибровку и обслуживание LAM 810-495659-304 должен проводить сертифицированный специалист с допуском на работу с токсичными газами и оборудованием класса SEMI S2, так как ошибки могут привести к утечкам или искажению рецептур.
- Регулярно проверяйте состояние спектрометра и калибруйте его с использованием эталонных газов (рекомендуется раз в 3 месяца) — искажения спектров могут привести к ложным данным о составе смесей.
- Не используйте несертифицированные трубки и соединения для газовых трактов, даже если они соответствуют габаритам — это может нарушить герметичность и снизить точность регулировки.
Для получения подробных руководств по эксплуатации и заказа посетите официальную страницу LAM 810-495659-304.
810-495659-304
