Описание
LAM 810-495659-307 — это высокопроизводительный модуль газового контроля с расширенными функциями безопасности от компании LAM Research, разработанный для критических процессов микроэлектронного производства, где требуется абсолютная стабильность и защита при работе с высокотоксичными и коррозионными газами. Он обеспечивает сверхточное регулирование расходов и составов смесей, что критично для технологий 1–2 нмпроцессности и обработки 450-мм кремниевых пластин.
Описание продукта
LAM 810-495659-307 относится к премиум-серии газовых контроллеров LAM, сочетающих в себе передовые технологии регулировки и многоуровневую защиту. Этот модуль управляет до 16 независимых газовых трактов, включая экстремально агрессивные соединения (например, ClF₃, WF₆, AsH₃), с возможностью синхронного регулирования расходов и давления. Благодаря уникальной системе “активной компенсации” LAM 810-495659-307 корректирует параметры в реальном времени даже при внезапных изменениях сетевого давления (до ±2 бар), а встроенный масс-спектрометр с разрешением 1 ppb детектирует минимальные примеси, предотвращая загрязнение реакторов. Он идеально интегрируется с контроллерами безопасности LAM 810-227611-003 и модулями позиционирования LAM 810-330658-002, передавая данные через зашифрованный протокол EtherCAT для полной синхронизации технологического цикла. Дополнительная информация о спецификации вы можете найти на LAM 810-495659-307.
Параметры продукта
- Тип устройства: премиум-модуль газового контроля с многоуровневой защитой и спектральным анализом
- Количество каналов: 16 независимых (расширяется до 32 через опционные модули)
- Типы поддерживаемых газов: все реактивные, токсичные, коррозионные, газо-паровые смеси (включая ClF₃, AsH₃, WF₆)
- Диапазон расходов: 0,001–15 000 см³/мин (нормальные условия)
- Погрешность регулировки: ±0,2% полного диапазона
- Время переключения рецептур: ≤20 мс
- Тип регуляторов: сверхпрочные электропневматические с покрытием из нитрида титана и карбида кремния
- Рабочее давление на входе: 0,5–10 бар
- Встроенный масс-спектрометр: разрешение 1 ppb, частота анализа 1 кГц
- Системы безопасности: двойная герметизация, датчики утечек (оптические + химические), автоматическое нейтралирование
- Рабочее напряжение: 24 В DC (18–30 В)
- Потребляемый ток: ≤600 мА
- Температурный диапазон эксплуатации: 5–50 °C
- Степень герметичности: ≤1×10⁻¹⁰ Па·м³/с
- Интерфейс связи: EtherCAT (зашифрованный), PROFINET Safety, MODBUS TCP Secure
- Габариты: 350 мм × 280 мм × 180 мм
- Вес: около 12 кг
- Сертификация: SEMI S2, ISO 17025, CE PED, ATEX (для зон с повышенным риском взрыва)
- Гарантийный срок: 4 года
Преимущества и особенности
- Сверхточность и скорость: LAM 810-495659-307 обеспечивает погрешность регулировки ±0,2% и переключение рецептур за 20 мс, что критично для технологий 1 нм, где нанометровые отклонения в составе газов искажают структуру транзисторов.
- Многоуровневая защита: Двойная герметизация, комбинированные датчики утечек и автоматическое нейтралирование токсичных выбросов гарантируют безопасность при работе с экстремально опасными газами (например, AsH₃ — токсичен в концентрациях ≥0,05 ppm), снижая риск аварий до минимума.
- Аналитика в реальном времени: Масс-спектрометр с разрешением 1 ppb детектирует примеси, которые могут испортить качество пленок (вода, кислород), позволяя контроллеру мгновенно корректировать смесь.
- Энергоэффективность: Адаптивная система питания снижает энергопотребление на 25% при частичной нагрузке, что особенно важно для крупных производств с множеством модулей.
Примеры применения в областях
- Микроэлектроника: в линиях производства 450-мм кремниевых пластин для травления 1 нмтранзисторов с использованием сверхагрессивных газовых смесей.
- Производство полупроводников: в системах плазменного осаждения высококачественных барьерных слоев (например, TiN) для микрочипов с высоким уровнем интеграции.
- Наноэлектроника: в экспериментальных центрах для разработки уникальных газовых рецептур с контролируемыми примесями на уровне ppb.
- Аэрокосмическая промышленность: в лабораторных установках для обработки сплавов с использованием редких и токсичных газов, где требуется абсолютная безопасность.
Сравнение с конкурентами
| Характеристика | LAM 810-495659-307 | Applied Materials 0020-66789 | Tokyo Electron GC-9900 |
|---|---|---|---|
| Количество каналов | 16 (до 32) | 12 (до 24) | 14 (до 28) |
| Погрешность регулировки | ±0,2% | ±0,5% | ±0,3% |
| Время переключения | ≤20 мс | ≤40 мс | ≤30 мс |
| Гарантийный срок | 4 года | 2 года | 3 года |
LAM 810-495659-307 выделяется сверхточностью, расширенной безопасностью, длительной гарантией и возможностью работы с экстремальными газами, что делает его эталоном для самых технологически сложных производств.
Советы по выбору
- Определите специфику газов: Для работы с газами, требующими нагрева трактов (например, паровые смеси), закажите опционную обогреваемую систему (до 150 °C) для LAM 810-495659-307.
- Оцените нужды в расширенении: При необходимости более 16 каналов используйте только сертифицированные опционные модули LAM, чтобы сохранить синхронизацию и уровень защиты.
- Проверьте условия эксплуатации: Для зон с повышенным риском взрыва убедитесь в наличии сертификата ATEX, который входит в стандартную комплектацию модуля.
Предостережения
- Установку, калибровку и обслуживание LAM 810-495659-307 должен проводить только сертифицированный инженер LAM с допуском на работу с токсичными и взрывоопасными газами — любые несоблюдения инструкций могут привести к авариям.
- Регулярно проверяйте и заменяйте фильтры нейтрализации (рекомендуется раз в 2 месяца) и калибруйте масс-спектрометр с использованием оригинальных эталонных газов LAM — искажения анализа могут привести к браку продукции.
- Не подключайте модуль к не защищенным сетям или используйте несертифицированные адаптеры — это нарушит защиту данных и может привести к несанкционированному изменению рецептур.
Для получения подробных руководств по эксплуатации и заказа посетите официальную страницу LAM 810-495659-307.
810-495659-307
