Описание
LAM 810-495659-308 — это высокоточный модуль газового контроля с усиленной системой синхронизации от компании LAM Research, разработанный для интегрированных линий микроэлектронного производства, где требуется одновременно регулировать газовые параметры и координировать их с вакуумными режимами и позиционированием пластин. Он обеспечивает сверхстабильное управление расходами и составами газовых смесей, что критично для технологий 1 нмпроцессности и обработки 450-мм кремниевых пластин с максимальной производительностью.
Описание продукта
LAM 810-495659-308 относится к серии интегрированных газовых контроллеров LAM, сочетающих в себе функции регулировки, анализа и синхронизации с другими системами. Этот модуль управляет до 14 независимых газовых трактов, включая как реактивные (CF₄, O₂), так и редкие газовые смеси с паровыми компонентами (например, органические растворители в паровом виде). Благодаря технологии “мгновенной корректировки” LAM 810-495659-308 адаптирует расходы под изменения вакуума в реакторе (с получением данных от модуля LAM 810-135227-003) и скорость движения манипулятора (с синхронизацией с LAM 810-330658-002), что исключает неравномерности в обработке пластин. Встроенный ИК-спектрометр с частотой анализа 2 кГц обеспечивает постоянный контроль состава, а модульная архитектура позволяет быстро заменять компоненты при обслуживании. Дополнительная информация о спецификации вы можете найти на LAM 810-495659-308.
Параметры продукта
- Тип устройства: интегрированный газовый контроллер с синхронизацией с вакуумными и позиционными системами
- Количество каналов: 14 независимых (расширяется до 28 через опционные модули)
- Типы поддерживаемых газов: реактивные, инертные, газо-паровые смеси, редкие газы (Ne, Kr)
- Диапазон расходов: 0,005–12 000 см³/мин (нормальные условия)
- Погрешность регулировки: ±0,25% полного диапазона
- Время переключения рецептур: ≤25 мс
- Тип регуляторов: высокопрочные электропневматические с покрытием из нитрида титана и фторопласта
- Рабочее давление на входе: 0,8–8 бар
- Система синхронизации: поддержка IEEE 1588 PTP (точность синхронизации ≤1 мкс)
- Встроенный ИК-спектрометр: диапазон 2–12 мкм, разрешение 0,5 см⁻¹
- Рабочее напряжение: 24 В DC (18–30 В)
- Потребляемый ток: ≤550 мА
- Температурный диапазон эксплуатации: 8–48 °C
- Степень герметичности: ≤5×10⁻¹⁰ Па·м³/с
- Интерфейс связи: EtherCAT (с синхронизацией), PROFINET, MODBUS TCP
- Габариты: 340 мм × 260 мм × 160 мм
- Вес: около 11 кг
- Сертификация: SEMI S2, ISO 17025, IEC 61508 (SIL 2)
- Гарантийный срок: 3,5 года
Преимущества и особенности
- Интегрированная синхронизация: LAM 810-495659-308 работает в тесном взаимодействии с вакуумными модулями и манипуляторами, корректируя газовые расходы в реальном времени под изменения давления и скорости движения пластин — это критично для равномерности травления тонких пленок на 450-мм подложках.
- Высокая адаптивность: Модуль автоматически компенсирует перепады сетевого давления (до ±1,5 бар) и температурные колебания (до ±5 °C), сохраняя стабильность параметров без вмешательства оператора.
- Быстрый анализ состава: ИК-спектрометр с частотой 2 кГц детектирует изменения в составе смесей за 500 мс, что позволяет мгновенно корректировать расходы и предотвращать брак.
- Удобство обслуживания: Модульная конструкция с hot-swap компонентами (регуляторы, фильтры) позволяет заменять части без остановки линии, снижая время простоя до минимума.
Примеры применения в областях
- Микроэлектроника: в интегрированных линиях производства 450-мм кремниевых пластин для комплексного контроля газовых параметров при травлении и осаждении 1 нмтранзисторов.
- Производство полупроводников: в системах многостадийной обработки для синхронизации газовых режимов с вакуумными циклами реакторов.
- Наноэлектроника: в экспериментальных установках с сочетанием газовых процессов и позиционирования наноструктур, где требуется абсолютная координация параметров.
- Фотонка: в производстве оптических пластин для регулировки газовых смесей при осаждении антибликовых слоев.
Сравнение с конкурентами
| Характеристика | LAM 810-495659-308 | Applied Materials 0020-77890 | Tokyo Electron GC-9800 |
|---|---|---|---|
| Количество каналов | 14 (до 28) | 10 (до 20) | 12 (до 24) |
| Погрешность регулировки | ±0,25% | ±0,6% | ±0,4% |
| Время синхронизации с другими системами | ≤1 мкс | ≤10 мкс | ≤5 мкс |
| Гарантийный срок | 3,5 года | 2 года | 3 года |
LAM 810-495659-308 выделяется более высокой интеграцией с другими системами, точностью регулировки и длительной гарантией, что делает его идеальным для современных интегрированных линий производства.
Советы по выбору
- Убедитесь в совместимости с существующими системами: Перед закупкой проверьте, что LAM 810-495659-308 поддерживает протоколы ваших вакуумных контроллеров и манипуляторов (список совместимых моделей доступен на сайте производителя).
- Оцените нужды в паровых смесях: Если требуется обработка газо-паровых составов, закажите опционную обогреваемую систему трактов (до 120 °C) для предотвращения конденсации.
- Проверьте условия электроснабжения: Для стабильной работы при перепадах напряжения используйте источник питания с фильтрацией, рекомендованный LAM для данного модуля.
Предостережения
- Монтаж и настройку синхронизации LAM 810-495659-308 должен проводить сертифицированный инженер с опытом работы с интегрированными системами микроэлектронного производства — ошибки в координации могут привести к неравномерности обработки и браку.
- Регулярно калибруйте ИК-спектрометр (рекомендуется раз в 4 месяца) с использованием эталонных газовых смесей LAM, чтобы сохранить точность анализа.
- Не используйте трубки и соединения из несертифицированных материалов — это может нарушить герметичность и вызвать коррозию внутренних компонентов, особенно при работе с агрессивными газами.
Для получения подробных руководств по эксплуатации и заказа посетите официальную страницу LAM 810-495659-308
810-495659-308
