Описание
LAM 810-801237-001 — это высокоточный модуль датчиков температуры и давления для промышленных систем автоматизации от компании LAM Research, разработанный для контроля критических параметров в плазменных реакторах и чистых комнатах микроэлектронного производства. Он обеспечивает мгновенное измерение и передачу данных о температуре и давлении с микронным разрешением, что критично для стабильности технологических процессов при травлении и осаждении тонких пленок на кремниевых пластинках.
Описание продукта
LAM 810-801237-001 относится к серии многофункциональных измерительных модулей LAM, сочетающих в себе высокоточные сенсоры и цифровую обработку сигналов. Этот модуль оснащен 8 независимых каналов: 4 для измерения температуры (с использованием термопаров типа K и Pt1000) и 4 для контроля давления (абсолютного и разностного). Благодаря встроенному микропроцессору с высоким разрешением LAM 810-801237-001 обрабатывает сигналы в реальном времени, исключая электромагнитные помехи от генераторов плазмы, и передает данные в контроллеры LAM 810-800082-043 через протокол EtherCAT с частотой 1 кГц. Благодаря компактному корпусу с защитой от коррозии LAM 810-801237-001 может устанавливаться непосредственно в зоны реакторов, а герметичная конструкция (IP65) защищает сенсоры от агрессивных газов и пыли. Дополнительная информация о спецификации вы можете найти на LAM 810-801237-001.
Параметры продукта
- Тип устройства: многофункциональный модуль датчиков температуры и давления
- Количество каналов: 8 (4 температурных + 4 давления)
- Диапазон температуры: -200–1200 °C (термопары K), -50–600 °C (Pt1000)
- Погрешность температуры: ±0,1 °C (в диапазоне 0–500 °C)
- Диапазон давления: 0–10 бар (абсолютное), -1–1 бар (разностное)
- Погрешность давления: ±0,02% полного диапазона
- Разрешение: 0,001 °C (температура), 0,0001 бар (давление)
- Время отклика: ≤10 мс
- Тип выводов: герметичные разъемы M12
- Протоколы связи: EtherCAT, MODBUS RTU
- Рабочее напряжение: 24 В DC (18–30 В)
- Потребляемый ток: ≤200 мА
- Температурный диапазон эксплуатации: -40–85 °C
- Степень защиты: IP65
- Габариты: 160 мм × 100 мм × 60 мм
- Вес: около 800 г
- Сертификация: SEMI S2, IEC 61508 (SIL 2), ATEX (для зон с газами)
- Гарантийный срок: 3 года
Преимущества и особенности
- Сверхточность измерений: LAM 810-801237-001 обеспечивает разрешение до 0,001 °C и 0,0001 бар, что критично для технологий 1 нмпроцессности, где даже микронные изменения температуры или давления искажают структуру транзисторов.
- Иммунитет к помехам: Активная фильтрация сигналов и защита от электромагнитных полей позволяют модулю работать стабильно вблизи высоковольтных генераторов плазмы, не искажая данные.
- Герметичность: Конструкция с защитой IP65 и антикоррозионным покрытием обеспечивает надежность при контакте с агрессивными газами (например, фторсодержащими), что увеличивает срок службы до 5 лет при регулярном обслуживании.
- Интеграция с системами управления: Мгновенная передача данных через EtherCAT позволяет контроллерам мгновенно корректировать режимы реакторов, предотвращая брак за счет быстрого реагирования на отклонения параметров.
Примеры применения в областях
- Микроэлектроника: в плазменных реакторах для контроля температуры нагревательных плат и давления газовых смесей при травлении 1 нмтранзисторов на 450-мм пластинках.
- Производство полупроводников: в системах вакуумной обработки для измерения разностного давления между секциями реактора и предотвращения утечек.
- Чистые комнаты класса 3: в системах вентиляции для контроля температуры и давления воздуха, обеспечивая стабильные условия для обработки чувствительных компонентов.
- Нанотехнологические центры: в экспериментальных установках для точного контроля параметров синтеза наноструктур.
Сравнение с конкурентами
| Характеристика | LAM 810-801237-001 | Applied Materials 0020-11223 | Tokyo Electron SEN-7400 |
|---|---|---|---|
| Погрешность температуры | ±0,1 °C | ±0,3 °C | ±0,2 °C |
| Погрешность давления | ±0,02% | ±0,05% | ±0,03% |
| Степень защиты | IP65 | IP54 | IP65 |
| Гарантийный срок | 3 года | 2 года | 2,5 года |
LAM 810-801237-001 выделяется более высокой точностью измерений, надежностью в агрессивных условиях и длительной гарантией, что делает его предпочтительным для критических зон производства.
Советы по выбору
- Определите тип сенсоров: Для измерений в агрессивных средах (например, с фторными газами) выберите опционные термопары с покрытием из нитрида титана, совместимые с LAM 810-801237-001.
- Оцените нужды в расширении: При необходимости более 8 каналов используйте опционные модули расширения, сертифицированные LAM, чтобы сохранить точность и синхронизацию данных.
- Проверьте условия монтажа: Для установки в зонах с вибрациями (например, рядом с насосами) используйте демпфирующие крепления, чтобы не искажать показания давления.
Предостережения
- Калибровку LAM 810-801237-001 должен проводить сертифицированный специалист с использованием эталонных датчиков LAM (рекомендуется раз в 6 месяцев), так как смещение в показаниях может привести к браку продукции.
- Регулярно проверяйте герметичность разъемов и очищайте сенсоры от остатков газов (рекомендуется раз в месяц), особенно при работе с коррозионными средами — загрязнения снижают точность.
- Не эксплуатируйте модуль за пределами заявленного температурного диапазона, так как это повреждает электронику и сенсорные элементы.
Для получения подробных руководств по эксплуатации и заказа посетите официальную страницу LAM 810-801237-001.
810-801237-001
