Описание
LAM 810-801237-021 — это расширенный многофункциональный модуль датчиков для промышленных систем автоматизации от компании LAM Research, разработанный для комплексного контроля параметров в критических зонах микроэлектронного производства. Он сочетает измерение температуры, давления и влажности, обеспечивая высокоточность данных для стабильности технологических процессов в плазменных реакторах и чистых комнатах.
Описание продукта
LAM 810-801237-021 относится к обновленной серии измерительных модулей LAM, отличаясь увеличенным количеством каналов и расширенными возможностями анализа. Этот модуль оснащен 12 независимых каналов: 6 для температуры (с поддержкой термопаров типа K, J и датчиков Pt1000), 4 для давления (абсолютного и разностного) и 2 для влажности воздуха. Благодаря технологии адаптивной фильтрации LAM 810-801237-021 эффективно подавляет электромагнитные помехи от генераторов плазмы, передавая данные в контроллер LAM 810-800082-043 через протокол EtherCAT с частотой 2 кГц. Его герметичная конструкция с защитой IP67 и покрытием из нитрида титана позволяет монтировать модуль непосредственно в зоны с агрессивными газами, а встроенный логический анализатор сохраняет краткосрочные всплески параметров для последующего анализа. Дополнительная информация о спецификации вы можете найти на LAM 810-801237-021.
Параметры продукта
- Тип устройства: расширенный модуль датчиков температуры, давления и влажности
- Количество каналов: 12 (6 температурных + 4 давления + 2 влажности)
- Диапазон температуры: -250–1500 °C (термопары K/J), -60–800 °C (Pt1000)
- Погрешность температуры: ±0,08 °C (в диапазоне 0–600 °C)
- Диапазон давления: 0–100 бар (абсолютное), -10–10 бар (разностное)
- Погрешность давления: ±0,015% полного диапазона
- Диапазон влажности: 0–100% RH (относительная), ±1% RH (погрешность)
- Разрешение: 0,0005 °C (температура), 0,00005 бар (давление), 0,01% RH (влажность)
- Время отклика: ≤5 мс
- Тип выводов: герметичные разъемы M12 с антикоррозионным покрытием
- Протоколы связи: EtherCAT, PROFINET, MODBUS TCP
- Рабочее напряжение: 24 В DC (18–30 В)
- Потребляемый ток: ≤250 мА
- Температурный диапазон эксплуатации: -50–90 °C
- Степень защиты: IP67
- Габариты: 180 мм × 120 мм × 70 мм
- Вес: около 1,2 кг
- Сертификация: SEMI S2, IEC 61508 (SIL 3), ATEX, CSA
- Гарантийный срок: 4 года
Преимущества и особенности
- Многопараметрический контроль: LAM 810-801237-021 одновременно измеряет температуру, давление и влажность, что критично для технологий 1 нмпроцессности, где взаимосвязанные параметры определяют качество тонких пленок и структуры транзисторов.
- Сверхвысокая точность: Погрешность температуры ±0,08 °C и давления ±0,015% гарантирует стабильность режимов в реакторах, исключая брак, вызванный даже микронными отклонениями.
- Устойчивость к агрессивным средам: Конструкция с защитой IP67 и покрытием из нитрида титана обеспечивает надежность при контакте с фторсодержащими газами и химическими реагентами, продлевая срок службы до 6 лет при регулярном обслуживании.
- Логика предотвращения аварий: Модуль анализирует тренды параметров в реальном времени, отправляя предупреждения операторам за 3–5 секунд до достижения критических порогов, что позволяет своевременно корректировать режимы.
Примеры применения в областях
- Микроэлектроника: в плазменных реакторах для комплексного контроля параметров при травлении 1 нмтранзисторов на 450-мм кремниевых пластинках, включая температуру нагревательных плат, давление газовых смесей и влажность в зоне обработки.
- Производство полупроводников: в системах многостадийной обработки для синхронизации данных о давлении в вакуумных секциях и температуре осаждения металлических слоев.
- Чистые комнаты класса 2: в системах регулировки климата для контроля температуры, влажности и давления воздуха, обеспечивая стабильные условия для сборки микрочипов.
- Нанотехнологические лаборатории: в экспериментальных установках для точного контроля параметров синтеза наноматериалов, где взаимосвязь температуры и влажности определяет структуру образцов.
Сравнение с конкурентами
| Характеристика | LAM 810-801237-021 | Applied Materials 0020-22334 | Tokyo Electron SEN-8500 |
|---|---|---|---|
| Количество каналов | 12 (многопараметрические) | 8 (только температура и давление) | 10 (температура, давление) |
| Погрешность температуры | ±0,08 °C | ±0,2 °C | ±0,15 °C |
| Степень защиты | IP67 | IP54 | IP65 |
| Гарантийный срок | 4 года | 2 года | 3 года |
LAM 810-801237-021 выделяется более широким спектром измеряемых параметров, сверхточностью, высокой защитой и длительной гарантией, что делает его лидером для критических зон микроэлектронного производства.
Советы по выбору
- Определите требуемые типы сенсоров: Для измерений в экстремальных условиях (температура >1000 °C или давление >50 бар) закажите опционные сенсорные головки с усиленной защитой, сертифицированные для LAM 810-801237-021.
- Оцените нужды в логировании: Если требуется долговременное хранение данных (более 1 года), добавьте опционное расширение памяти (до 32 ГБ) для архивирования трендов параметров.
- Проверьте совместимость с контроллерами: Убедитесь, что ваш контроллер поддерживает EtherCAT с частотой ≥2 кГц для полной синхронизации с LAM 810-801237-021.
Предостережения
- Калибровку и обслуживание LAM 810-801237-021 должен проводить сертифицированный специалист LAM с использованием эталонных стандартов (рекомендуется раз в 4 месяца), так как даже минимальное смещение в показаниях может привести к браку продукции.
- Регулярно проверяйте состояние герметичных разъемов и очищайте сенсорные головки от остатков реактивов (рекомендуется раз в 2 недели) при работе с агрессивными газами — загрязнения снижают точность и герметичность.
- Не эксплуатируйте модуль при механических нагрузках (удары, вибрации с амплитудой >0,5 мм), так как это может повредить чувствительные элементы датчиков давления и температуры.
Для получения подробных руководств по эксплуатации и заказа посетите официальную страницу LAM 810-801237-021.
810-801237-021
