Описание
LAM 810-802799-008 — это специализированный модуль безопасности для промышленных систем автоматизации от компании LAM Research, разработанный для защиты оборудования и персонала в критических зонах микроэлектронного производства. Он контролирует уровни токсичных газов, температуру и давление, обеспечивая своевременное срабатывание защитных механизмов при превышении критических порогов.
Описание продукта
LAM 810-802799-008 относится к серии безопасностных модулей LAM с многоуровневым контролем, сочетающих в себе сенсорные системы и логику аварийного отключения. Этот модуль оснащен 8 каналов для контроля токсичных газов (включая ClF₃, AsH₃, NH₃) с разрешением до 0,1 ppm, а также 4 канала для температуры и давления в зонах реакторов. Благодаря технологии “быстрого анализа” LAM 810-802799-008 обрабатывает сигналы за 10 мс, отправляя команды на остановку оборудования (например, модуля газового контроля LAM 810-495659-307 или контроллера LAM 810-800082-043) через протокол Safety over EtherCAT. Его корпус с защитой IP66 и антикоррозионным покрытием обеспечивает надежность в агрессивных средах, а встроенный резервный источник питания гарантирует работу даже при отключении сети. Дополнительная информация о спецификации вы можете найти на LAM 810-802799-008.
Параметры продукта
- Тип устройства: модуль безопасности с контролем токсичных газов, температуры и давления
- Количество каналов: 12 (8 газовых + 2 температурных + 2 давления)
- Поддерживаемые газы: ClF₃, AsH₃, NH₃, SF₆, O₂, HF (расширяется через калибровку)
- Разрешение газовых сенсоров: 0,1 ppm
- Диапазон температуры: -10–100 °C (погрешность ±0,5 °C)
- Диапазон давления: 0–10 бар (погрешность ±0,05% полного диапазона)
- Время отклика на аварию: ≤10 мс
- Тип защитных действий: аварийное закрытие клапанов, отключение генераторов плазмы, сигнализация
- Протоколы связи: Safety over EtherCAT, MODBUS TCP/IP (для мониторинга)
- Рабочее напряжение: 24 В DC (18–30 В) + резервная батарейка (до 4 часов автономности)
- Потребляемый ток: ≤300 мА
- Температурный диапазон эксплуатации: -20–70 °C
- Степень защиты: IP66
- Габариты: 200 мм × 150 мм × 90 мм
- Вес: около 2,5 кг
- Сертификация: SEMI S2, IEC 61508 (SIL 3), ATEX (для зон с взрывоопасностью)
- Гарантийный срок: 5 лет
Преимущества и особенности
- Высокая надежность: LAM 810-802799-008 использует дублированные сенсоры и независимые цепи обработки сигналов, что исключает ложные срабатывания и гарантирует защиту даже при отказе одного из компонентов — критично для работы с высокотоксичными газами.
- Молниеносное реагирование: Время отклика ≤10 мс позволяет предотвратить разлив газов или перегрев реакторов, минимизируя риск поражения персонала и повреждения оборудования.
- Интеграция с системами управления: Модуль работает в тесном взаимодействии с основными контроллерами, отправляя как аварийные сигналы, так и данные о тенденциях изменения параметров для прогнозирования возможных сбоев.
- Обширная диагностика: Встроенный логист хранит историю срабатываний и параметров за последние 100 дней, что упрощает анализ причин аварий и оптимизацию защитных настроек.
Примеры применения в областях
- Микроэлектроника: в зонах хранения и подачи токсичных газов (ClF₃, AsH₃) для контроля утечек и аварийного отключения систем при превышении безопасных уровней.
- Производство полупроводников: вблизи плазменных реакторов для защиты от перегрева и несанкционированного повышения давления в газовых трактах.
- Чистые комнаты класса 1: в системах вентиляции для контроля содержания кислорода и токсичных выбросов от технологических процессов.
- Нанотехнологические лаборатории: в экспериментальных зонах с редкими и опасными газами для обеспечения безопасности при исследованиях.
Сравнение с конкурентами
| Характеристика | LAM 810-802799-008 | Applied Materials 0020-99001 | Tokyo Electron SAF-6700 |
|---|---|---|---|
| Уровень безопасности (SIL) | SIL 3 | SIL 2 | SIL 3 |
| Время отклика | ≤10 мс | ≤50 мс | ≤20 мс |
| Гарантийный срок | 5 лет | 3 года | 4 года |
| Поддерживаемые газы | 12+ (расширяется) | 8 | 10 |
LAM 810-802799-008 выделяется быстрым откликом, длительной гарантией и широким спектром поддерживаемых газов, что делает его эталоном для самых рискованных зон производства.
Советы по выбору
- Определите спектр газов: Для работы с редкими или особенно токсичными газами (например, BCl₃) закажите заводскую калибровку LAM 810-802799-008 под конкретные вещества, чтобы обеспечить максимальную точность детекции.
- Оцените нужды в расширении: При большом количестве газовых трактов используйте несколько модулей в сети с общей системой координации, чтобы защитить все зоны без потери скорости реакции.
- Проверьте условия монтажа: Для зон с сильными вибрациями (например, рядом с насосами) используйте антивибрационные крепления, чтобы не искажать показания сенсоров.
Предостережения
- Настройку и калибровку LAM 810-802799-008 должен проводить только сертифицированный специалист LAM с допуском на работу с безопасностью классом SIL 3 — ошибки в настройках могут привести к неработоспособности защиты или ложным аварийным остановкам.
- Регулярно проверяйте и калибруйте газовые сенсоры (рекомендуется раз в 3 месяца) с использованием эталонных смесей — снижение чувствительности сенсоров увеличивает риск нераспознанных утечек.
- Не эксплуатируйте модуль в условиях, не соответствующих сертификации ATEX (для взрывоопасных зон), даже при внешней похожести условий — это может привести к неконтролируемым сбоям.
Для получения подробных руководств по эксплуатации и заказа посетите официальную страницу LAM 810-802799-008.
810-802799-008
