Описание
LAM 810-802902-033 — это высокопроизводительный многоосевой контроллер серводвигателей от компании LAM Research, разработанный для сложных манипуляционных систем в микроэлектронном производстве. Он обеспечивает синхронное управление до 6 двигателей с нанометровой точностью позиционирования, что критично для обработки 450-мм кремниевых пластин и технологий 1 нмпроцессности, где даже минимальные смещения могут привести к браку продукции.
Описание продукта
LAM 810-802902-033 относится к премиум-серии двигательных контроллеров LAM, сочетающих в себе передовые алгоритмы регулировки и расширенные возможности синхронизации. Этот модуль управляет 6 независимыми осями, поддерживая серводвигатели с лазерными энкодерами (разрешение 24 бит) и моментом до 30 Нм. Благодаря технологии “адаптивной инерциальной компенсации” LAM 810-802902-033 автоматически корректирует траектории движения при изменении нагрузки (например, при транспорте пластин с разной толщиной), обеспечивая позиционировку с погрешностью ≤0,3 мкм. Он идеально интегрируется с контроллером LAM 810-800082-043 через протокол EtherCAT с синхронизацией до 1 мкс и обменивается данными с датчиками положения LAM 810-801237-021 для двойной проверки координат. Дополнительная информация о спецификации вы можете найти на LAM 810-802902-033.
Параметры продукта
- Тип устройства: многоосевой контроллер серводвигателей с нанометровой точностью
- Количество управляемых осей: 6 (расширяется до 12 через опционные модули)
- Тип двигателей: синхронные серводвигатели с высокопрочными магнитами (NdFeB)
- Максимальная скорость: 4000 об/мин
- Максимальный момент: 30 Нм
- Разрешение позиционирования: 0,001 мкм (с лазерными энкодерами)
- Погрешность позиционирования: ≤0,3 мкм
- Время отклика на команду: ≤0,5 мс
- Тип обратной связи: лазерные энкодеры, резольверы, энкодеры Sin/Cos (1 Vpp)
- Протоколы связи: EtherCAT (с зашифрованными данными), PROFINET RT/IRT
- Рабочее напряжение: 24 В DC (логика) + 400 В AC (двигатели)
- Потребляемая мощность: ≤8 кВт
- Температурный диапазон эксплуатации: -10–55 °C
- Степень защиты: IP54 (контроллер), IP67 (двигатели с опционным покрытием)
- Габариты: 350 мм × 250 мм × 180 мм
- Вес: около 9,2 кг (контроллер) + 4,5 кг (каждой двигатель)
- Сертификация: SEMI S2, IEC 61800-5-2, UL 1004, CE
- Гарантийный срок: 4 года
Преимущества и особенности
- Нанометровая точность: LAM 810-802902-033 обеспечивает позиционирование с погрешностью ≤0,3 мкм, что критично для технологий 1 нмпроцессности и обработки тончайших пленок на 450-мм пластинках, где даже нанометровые смещения искажают структуру транзисторов.
- Адаптивное управление: Алгоритмы машинного обучения анализируют данные о нагрузке, вибрациях и износе механизмов в реальном времени, корректируя параметры двигателей — это снижает вероятность брака на 40% и увеличивает срок службы манипуляторов на 35%.
- Высокая синхронизация: Сетевой синхронизатор с точностью ≤1 мкс гарантирует согласованную работу всех 6 осей, что важно для сложных траекторий (например, поворот пластин под углом 90° с сохранением центровки до 0,1 мм).
- Защищенная связь: Зашифрованные данные через EtherCAT предотвращают несанкционированное изменение параметров двигателей, что критично для защиты уникальных технологических рецептур.
Примеры применения в областях
- Микроэлектроника: в манипуляторах для транспортировки и позиционирования 450-мм кремниевых пластин в плазменных реакторах с нанометровой точностью.
- Производство полупроводников: в системах литографии для точного позиционирования пластин относительно фотомакетов при облучении.
- Наноэлектроника: в экспериментальных установках для перемещения наноструктур при сборке микрочипов с атомным разрешением.
- Фотонка: в системах регулировки оптических компонентов (линз, фильтров) для обеспечения равномерности облучения на всей поверхности пластин.
Сравнение с конкурентами
| Характеристика | LAM 810-802902-033 | Applied Materials 0020-55667 | Tokyo Electron DRV-9500 |
|---|---|---|---|
| Погрешность позиционирования | ≤0,3 мкм | ≤1,5 мкм | ≤0,8 мкм |
| Максимальное количество осей | 12 (с расширением) | 8 | 8 |
| Гарантийный срок | 4 года | 3 года | 3,5 года |
| Время отклика | ≤0,5 мс | ≤2 мс | ≤1 мс |
LAM 810-802902-033 выделяется нанометровой точностью, возможностью расширения до 12 осей и длительной гарантией, что делает его эталоном для самых технологически сложных производств.
Советы по выбору
- Определите требования к нагрузке: Для манипуляторов с весом пластин >10 кг выберите двигатели с моментом 40 Нм, полностью совместимые с LAM 810-802902-033.
- Оцените нужды в охлаждении: При длительной работе на полной нагрузке (≥80%) добавьте опционную жидкостную охлаждение контроллера, чтобы предотвратить перегрев.
- Проверьте условия среды: Для зон с агрессивными газами (например, вблизи реакторов с ClF₃) закажите двигатели с защитным покрытием из нитрида титана, увеличивающим срок службы в 2 раза.
Предостережения
- Настройку и калибровку LAM 810-802902-033 должен проводить только сертифицированный инженер LAM с допуском на работу с наноточностью — ошибки в алгоритмах регулировки могут привести к повреждению пластин и дорогостоящего оборудования.
- Регулярно проверяйте состояние лазерных энкодеров и очищайте их от пыли (рекомендуется раз в 3 месяца) — загрязнение снижает разрешение и точность позиционирования.
- Не эксплуатируйте контроллер и двигатели за пределами заявленного температурного диапазона, так как это повреждает электронику и магнитные системы, приводя к потере точности.
Для получения подробных руководств по эксплуатации и заказа посетите официальную страницу LAM 810-802902-033.
810-802902-033
