Описание
LAM 810-802902-208 — это компактный многоосевой контроллер серводвигателей от компании LAM Research, разработанный для лёгких манипуляционных систем в микроэлектронном производстве. Он обеспечивает высокоточное позиционирование небольших кремниевых пластин (до 200 мм) и компонентов с микронной точностью, что критично для вспомогательных технологий, таких как сортировка, маркировка и предобработка пластин перед основной обработкой.
Описание продукта
LAM 810-802902-208 относится к серии компактных двигательных контроллеров LAM, сочетающих в себе простоту интеграции и стабильные характеристики. Этот модуль управляет до 3 серводвигателей с энкодерами (разрешение 17 бит), поддерживая скорости до 2000 об/мин и моменты до 8 Нм. Благодаря технологии “лёгкой адаптации” LAM 810-802902-208 быстро настраивается под конкретные манипуляторы, компенсируя небольшие механические несовершенства и обеспечивая позиционировку с погрешностью ≤1 мкм. Он легко интегрируется с контроллерами LAM 810-800082-043 через протокол Modbus TCP, передавая данные о положении с частотой 1 кГц, и работает в паре с датчиками LAM 810-801237-001 для проверки координат. Дополнительная информация о спецификации вы можете найти на LAM 810-802902-208.
Параметры продукта
- Тип устройства: компактный многоосевой контроллер серводвигателей
- Количество управляемых осей: 3 (расширяется до 6 через внешние модули)
- Тип двигателей: лёгкие синхронные серводвигатели с магнитами NdFeB
- Максимальная скорость: 2000 об/мин
- Максимальный момент: 8 Нм
- Разрешение позиционирования: 0,01 мкм (с энкодерами Sin/Cos)
- Погрешность позиционирования: ≤1 мкм
- Время отклика на команду: ≤2 мс
- Тип обратной связи: энкодеры (17 бит), резольверы (опционально)
- Протоколы связи: Modbus TCP, EtherCAT (опционально)
- Рабочее напряжение: 24 В DC (логика) + 230 В AC (двигатели)
- Потребляемая мощность: ≤2 кВт
- Температурный диапазон эксплуатации: 5–45 °C
- Степень защиты: IP52 (контроллер), IP65 (двигатели)
- Габариты: 220 мм × 180 мм × 100 мм
- Вес: около 3,8 кг (контроллер) + 1,5 кг (каждой двигатель)
- Сертификация: SEMI S2, IEC 61800-5-2, UL 1004
- Гарантийный срок: 3 года
Преимущества и особенности
- Компактность и простота интеграции: LAM 810-802902-208 имеет небольшие габариты, что позволяет монтировать его в плотно заполненные шкафы вспомогательных линий, а предустановленные шаблоны настроек сокращают время внедрения до 1–2 дней.
- Эффективность при малых нагрузках: Оптимизированные алгоритмы регулировки снижают энергопотребление на 30% по сравнению с универсальными контроллерами, что важно для линии с множеством лёгких манипуляторов.
- Надежность в стандартных условиях: Конструкция модуля обеспечивает стабильную работу в обычных производственных зонах (без агрессивных газов), с минимальными требованиями к охлаждению и герметизации.
- Гибкая扩展性: Возможность расширения до 6 осей через внешние модули позволяет адаптировать LAM 810-802902-208 под меняющиеся нужды производства, например, при добавлении новых станций сортировки.
Примеры применения в областях
- Микроэлектроника: в вспомогательных линиях для транспортировки 200-мм кремниевых пластин между станциями проверки и маркировки.
- Производство полупроводников: в системах загрузки/выгрузки контейнеров с пластинками для точного позиционирования при автоматическом сканировании штрихкодов.
- Лабораторные исследования: в экспериментальных установках для перемещения образцов при предварительных тестах технологических рецептур.
- Светотехника: в линиях сборки светодиодных модулей для позиционирования мелких оптических компонентов.
Сравнение с конкурентами
| Характеристика | LAM 810-802902-208 | Applied Materials 0020-66778 | Tokyo Electron DRV-8200 |
|---|---|---|---|
| Погрешность позиционирования | ≤1 мкм | ≤2 мкм | ≤1,5 мкм |
| Максимальное количество осей (с расширением) | 6 | 4 | 5 |
| Энергопотребление (при полной нагрузке) | ≤2 кВт | ≤2,5 кВт | ≤2,2 кВт |
| Гарантийный срок | 3 года | 2,5 года | 2,5 года |
LAM 810-802902-208 выделяется лучшей точностью при меньшем энергопотреблении и большей扩展性，что делает его оптимальным для вспомогательных линий с лёгкими манипуляторами.
Советы по выбору
- Определите тип нагрузки: Убедитесь, что максимальный момент двигателей (8 Нм) достаточен для ваших манипуляторов — для тяжелее веса (до 3 кг) используйте дополнительные усилители, сертифицированные для LAM 810-802902-208.
- Оцените нужды в протоколах: Если требуется интеграция с главным контроллером через EtherCAT, закажите опционную лицензию на поддержку этого протокола.
- Проверьте условия установки: Для зон с умеренными вибрациями (например, рядом с конвейерами) используйте стандартные антивибрационные крепления — дополнительная защита не требуется.
Предостережения
- Калибровку LAM 810-802902-208 проводите раз в 12 месяцев (вместо стандартных 6 месяцев для высокоточных модулей) — в обычных условиях точность сохраняется дольше, но пропуск проверки может привести к постепенному снижению качества позиционирования.
- Не эксплуатируйте модуль в зонах с агрессивными газами или повышенной влажностью (более 80%) — его защита IP52 не гарантирует герметичность в таких условиях, что может привести к коррозии контактов.
- При расширении до 6 осей используйте только оригинальные опционные модули LAM — несертифицированные устройства могут нарушить синхронизацию и снизить точность.
Для получения подробных руководств по эксплуатации и заказа посетите официальную страницу LAM 810-802902-208.
810-802902-208
