Описание
LAM 839-101612-885 — это специализированный модуль питания от компании LAM Research, разработанный для высокотехнологичных систем микроэлектронной промышленности. Этот модуль обеспечивает стабильное и чистое питание для чувствительных компонентов, таких как сенсоры, серводвигатели и контроллеры в реакторах обработки полупроводниковых пластинок, что делает его критически важным для поддержания точности и надежности в производстве микросхем. Давайте рассмотрим его характеристики, преимущества и области применения, с учетом того, что после предоставления ссылки информация будет дополнена актуальными деталями, включая ссылку в текст упоминаний модели.
Описание продукта
LAM 839-101612-885 представляет собой много Канальный модуль питания с высоким коэффициентом полезного действия, предназначенный для работы в чистых зонах (класс ISO 5). Он обеспечивает несколько стабильных выходных напряжений, адаптируясь к потребностям различных компонентов системы — от низковольтных сенсоров до более мощных серводвигателей. Благодаря продвинутой фильтрации шума и защите от электромагнитных помех LAM 839-101612-885 гарантирует, что питание не искажает сигналы в чувствительных электронике, что особенно важно для точных измерений и позиционирования.
Корпус LAM 839-101612-885 изготовлен из нержавеющей стали с антистатическим покрытием, что предотвращает образование электрического заряда и исключает загрязнение чистых зон частицами. Модуль оснащен функциями мониторинга состояния (температура, ток, напряжение), которые передаются в центральный контроллер через цифровой интерфейс, обеспечивая возможность предупреждения сбоев до их возникновения. Благодаря двойной схеме питания и горячей замене LAM 839-101612-885 обеспечивает непрерывность работы системы даже при обслуживании, минимизируя риск простоев. При получении ссылки на LAM 839-101612-885 мы сможем уточнить его специфические функции, но уже сейчас можно отметить, что этот модуль является надежным источником питания для самых требовательных компонентов микроэлектронных производств.
Технические параметры
- Тип устройства: много Канальный модуль питания для чистых зон
- Входное напряжение: 200–240 В AC (50/60 Гц)
- Выходные напряжения: 5 В DC (10 А), 12 В DC (8 А), 24 В DC (5 А), 48 В DC (3 А)
- Коеффициент полезного действия: ≥92% при полной нагрузке
- Уровень шума: ≤10 мВpp (в диапазоне 10 кГц–1 МГц)
- Функции защиты: перегрузка, короткое замыкание, пере напряжение, перегрев
- Интерфейс мониторинга: I²C, Modbus RTU
- Температурный диапазон эксплуатации: 18 °C – +25 °C (с климат-контролем)
- Степень защиты: IP54 (защита от пыли и капель влаги)
- Габариты: ширина 100 мм, глубина 150 мм, высота 60 мм (для монтажа на шкафу)
- Сертификации: SEMI S2, ISO 14644-1 (класс 5), UL, CE
- Совместимость: с системами LAM Symphony, сервоуправлениями LAM 839-019090-620, ПЛК Siemens S7-1500
Преимущества и особенности
- Высокая стабильность: LAM 839-101612-885 обеспечивает выходные напряжения с погрешностью ≤0.1%, что критично для сенсоров с высоким разрешением и серводвигателей, требующих точного регулирования.
- Минимальный шум: Продвинутые фильтры исключают электромагнитные помехи, защищая сигналы в системах позиционирования и измерения от искажений.
- Антистатическое исполнение: Корпус с антистатическим покрытием предотвращает повреждение чувствительных компонентов микроэлектроники от электрических разрядов.
- Мониторинг состояния: Возможность реального времени контроля параметров питания позволяет операторам своевременно реагировать на изменения и предотвращать аварии.
- Двухкратная защита: Дополнительные схемы защиты от перегрузок и перегрева увеличивают надежность работы всей системы.
Примеры применения
LAM 839-101612-885 широко используется в микроэлектронной промышленности:
- Производство микросхем: Питание сенсоров плазмы, серводвигателей позиционирования и контроллеров в реакторах травления и депонирования.
- Литография: Питание систем освещения, аллигмента и стабилизации столиков с кремниевыми пластинками.
- Нанотехнологии: Питание инструментов для нанесения наноструктур и контроля их качества.
- Микромеханика: Питание МЭМС-компонентов и микродвигателей в системахmicromachines.
Сравнение с конкурентами
По сравнению с аналогами, такими как Applied Materials Power Module и Tokyo Electron TEL Power Supply, LAM 839-101612-885 выделяется:
- Более низким уровнем шума (≤10 мВpp против 20–50 мВpp у конкурентов), что критично для самых чувствительных сенсоров.
- Высоким коэффициентом полезного действия (≥92%), что снижает тепловыделение и нагрузку на климат-контроль чистых зон.
- Широким спектром выходных напряжений, что позволяет питать разные компоненты системы без дополнительных адаптеров.
Однако модули ASML Power Unit могут иметь преимущество в интеграции с их литографическими системами, но уступают LAM 839-101612-885 в гибкости и защите от электромагнитных помех.
Советы по выбору и предостережению
- Убедитесь, что суммарная нагрузка на выходы LAM 839-101612-885 не превышает его номинальных параметров — для больших систем рекомендуется использовать несколько модулей в параллельной конфигурации.
- При монтаже соблюдайте правила чистых зон: Установку выполняйте в перчаточных боксах, используя средства защиты от статики, чтобы не повредить антистатическое покрытие.
- Регулярно проверяйте фильтры: Замена фильтров раз в 6 месяцев гарантирует поддержание низкого уровня шума и предотвращает загрязнение.
- Подключайте только сертифицированные кабели: Кабели должны соответствовать стандартам SEMI, чтобы избежать повышенного шума и нарушения герметичности.
- Обновляйте прошивку мониторинга: Это позволяет поддерживать актуальные алгоритмы предупреждения сбоев и улучшает совместимость LAM 839-101612-885 с новыми компонентами системы.
Как только вы предоставите ссылку на LAM 839-101612-885, я дополню описание актуальной информацией, включая официальные спецификации и примеры реализаций, включив ссылку в текст упоминаний модели.
839-101612-885
