LAM 853-011661-001

Описание

Описание продукта

Технические параметры

• Тип устройства: многоканальный модуль питания для чистых зон
• Входное напряжение: 200–240 В AC (50/60 Гц)
• Выходные напряжения:
  • 3.3 В DC, максимальный ток 5 А
  • 5 В DC, максимальный ток 8 А
  • 12 В DC, максимальный ток 3 А
• Уровень фильтрации EMI/EMC: соответствует стандарту CISPR 11 Class B
• Изоляция: galvanческая, 3000 В AC между входом и выходами
• Погрешность выходного напряжения: ±1%
• Типы защиты: от перегрузки, короткого замыкания, перегрева (автоматическое восстановление)
• Питание вспомогательных компонентов: встроенные LED-индикаторы (энергопотребление <0.5 Вт)
• Температурный диапазон эксплуатации: 18–25 °C (с стабильностью ±0.5 °C)
• Степень защиты: IP54 (защита от пыли и капель влаги)
• Габариты: ширина 60 мм, глубина 110 мм, высота 80 мм
• Сертификации: SEMI S2 (безопасность для операторов), ISO 14644-1 (чистые зоны), CE, UL
• Совместимость: с сенсорами LAM 853-002499-200, модулями сервоуправления LAM 853-011632-001, контроллерами обработочных машин LAM Versys

Преимущества и особенности

• Высокая стабильность параметров: LAM 853-011661-001 обеспечивает выходные напряжения с погрешностью ±1% и минимальными колебаниями, что критично для работы микросхем и сенсоров с нанометровым разрешением.
• Продвинутая защита от помех: Высокий уровень фильтрации EMI/EMC и galvanческая изоляция 3000 В предотвращают искажения сигналов от соседних электроприборов, особенно важно в плотно заполненных обработочных машинах.
• Антистатическая конструкция: Материал корпуса и электропроводка исключают статические разряды, что защищает чувствительные полупроводниковые компоненты от повреждений в чистых зонах.
• Многофункциональность: Несколько выходных каналов с разными напряжениями позволяют LAM 853-011661-001 питать различные компоненты машины, сокращая количество модулей и упрощая монтаж.
• Надежность в длительной эксплуатации: Защита от перегрузки и перегрева с автоматическим восстановлением снижает вероятность простоев, особенно важно для непрерывных производственных линий.

Примеры применения

• Оборудование для травления: Питание оптических сенсоров контроля толщины покрытий и энкодеров серводвигателей в системах плазменного травления.
• Машины для осаждения слоев: Электроснабжение микроконтроллеров и датчиков давления в вакуумных камерах при нанесении металлических покрытий на полупроводниковые пластинки.
• Лазерные обработчики: Питание систем синхронизации лазера и подвижных столиков, где стабильность напряжения гарантирует точность резки.
• Чистые зоны класа ISO 5: Интеграция в автоматизированные линии передачи пластинок, обеспечивая питание датчиков положения и приводов конвейеров.

Сравнение с конкурентами

• Более высоким уровнем изоляции (3000 В против 2000 В у KLA-Tencor), что важно для защиты чувствительных сенсоров от высоковольтных помех.
• Широким спектром выходных напряжений (3.3 В, 5 В, 12 В против двух каналов у ASML), что делает его универсальнее для питания разных компонентов.
• Лучшей совместимостью с оборудованием LAM (отсутствие адаптеров), сокращая время наладки и риск несовместимости.

Советы по выбору и предостережению

• Убедитесь, что LAM 853-011661-001 соответствует требуемым напряжениям (3.3 В, 5 В, 12 В) и токовым режимам ваших компонентов.
• Обеспечьте стабильные температурные условия: Изменения выше ±0.5 °C могут снизить стабильность выходных параметров — используйте точное кондиционирование воздуха в рабочей зоне.
• Регулярно проверяйте индикаторы состояния: Световые сигналы пом помогут своевременно выявить перегрузки или короткие замыкания, предотвращая повреждение подключенных устройств.
• Используйте только оригинальные кабели питания: Несертифицированные кабели могут снизить уровень фильтрации и изоляции, увеличивая риск искажений сигналов.

853-011661-001